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 地震仪器指标体系研究与mems仪器设计[本文84页]  面向mems产品概念设计的多模式实例检[本文142页]  基于cmos-mems技术的带电路输出的pzt[本文69页]
 射频mems可重构单片电路研究[本文139页]  mems固体化学微推进阵列的设计、制作[本文71页]  声表面波mems器件研究[本文74页]
 典型引信mems微弹簧可靠性研究[本文80页]  旋转弹载免驱动三轴mems陀螺研究[本文77页]  面向加速度检测的mems微环谐振腔传感[本文71页]
 基于压电-磁电复合技术的振动能量拾取[本文72页]  基于mems悬臂梁压阻桥式传感器的检测[本文86页]  mems热电堆红外探测器的结构设计及制[本文73页]
 激光扫描显示mems微镜研究[本文84页]  基于mems惯性传感器的跌倒检测与预警[本文60页]  用于esi的mems空气放大器的设计、模拟[本文62页]
 基于mems工艺的微型磁通门传感器研究[本文55页]  基于mems的汽车运动信息采集与分析系[本文71页]  基于mems和ibed的硅基钽酸锂薄膜红外[本文70页]
 面向精化的表面微加工mems建模及可制[本文67页]  基于分形粗糙表面的mems摩擦学研究[本文83页]  mems微尺度有序增强复合材料的制备及[本文66页]
 基于mems惯性传感器的微小型航姿参考[本文78页]  基于mems技术的视觉假体多通道刺激微[本文79页]  基于mems工艺的pcr微流控系统的研制[本文109页]
 基于相移显微干涉和面内补偿的mems离[本文82页]  光刻胶黏附力对mems工艺影响的研究[本文47页]  动态下mems酒杯式谐振器性能研究[本文67页]
 基于mems传感器的无线传感网络研究[本文77页]  基于新型mems传感器的地震波采集系统[本文90页]  mems加速度计温度场及残余应力模型研[本文78页]
 多个mems加速度计融合的数字倾角仪[本文55页]  一维硫属化合物纳米材料的可控合成及[本文131页]  用于气体检测的mems电容式红外光强探[本文49页]
 仿真人体环境中rf mems电感耦合特性实[本文64页]  基于机器人及军用导航系统的mems陀螺[本文87页]  基于mems传感器的动作捕捉系统开发设[本文76页]
 基于rf mems技术的ka波段可重构天线设[本文113页]  基于电磁带隙的rf mems可切换滤波器研[本文102页]  mems汽车传感器设计关键技术的研究[本文155页]
 mems-imu误差分析补偿与实验研究[本文152页]  mems数字检波器采集系统技术研究[本文107页]  基于mems陀螺的惯性测量单元的标定与[本文79页]
 基于rf mems开关的可重构功率放大器研[本文54页]  rf mems开关及其在移相器中的应用研究[本文63页]  基于mems技术的低阈值电压静电型微继[本文64页]
 mems多层模材料参数在线提取方法的研[本文68页]  mems材料力学性能测试装置研究[本文93页]  用于高场不对称波形离子迁移谱仪的me[本文118页]
 基于mems技术的光学读出非制冷红外成[本文127页]  基于相移干涉的mems变形镜平面度测试[本文76页]  基于pzt厚膜的mems超声换能器[本文62页]
 mems电容传感器信号处理asic研究与设[本文71页]  多学科设计优化及在mems设计中应用的[本文128页]  不同衬底条件对mems压阻传感器性能影[本文53页]
 mems射流陀螺的研究与工艺实现[本文72页]  基于pzt厚膜的mems微变形镜[本文141页]  基于mems的光学读出热成像技术的研究[本文134页]
 基于电磁带隙技术的rf mems滤波器研究[本文73页]  mems可调激光器和光开关的研究[本文60页]  多模移动终端射频前端中rf mems开关的[本文60页]
 mems静电驱动结构运动特性控制方法[本文71页]  新型集成方式rf mems开关[本文80页]  mems表面结构三维测量评定研究[本文67页]
 基于mems加速度传感器和无线传感网络[本文78页]  热激励微悬臂梁谐振式mems气体传感器[本文95页]  rf mems开关器件研究[本文102页]
 rf mems压控电容理论优化和工艺研究[本文111页]  硅基mems二维生物微探针阵列技术研究[本文78页]  分形及pbg理论用于mems可重构天线研究[本文152页]
 高q值rf-mems平面电感的研究[本文83页]  mems集成室温红外探测器研究[本文167页]  pmnt铁电薄/厚膜及其mems致冷器制备工[本文112页]
 基于mems技术的微型气相色谱系统的研[本文56页]  基于mems技术的微阀和微泵的设计与研[本文141页]  基于mems技术的自吸微泵的研制[本文108页]
 基于mems技术的微型安培免疫传感芯片[本文95页]  mems电场传感器的设计与工艺研究[本文76页]  基于mems技术的压电微喷的研制[本文99页]
 基于mems技术的微型泵的研究[本文91页]  基于mems技术的微型电场传感器设计及[本文60页]  基于mems技术的pcr芯片的研究[本文103页]
 mems高g值加速度计设计技术研究[本文85页]  mems封装用静电键合微晶玻璃的研究[本文58页]  基于mems的压电超声技术的研究[本文105页]
 应用于微纳米颗粒的mems超声分离装置[本文86页]  mems复合式振动能量采集器的设计及模[本文99页]  mems器件的可靠性研究与测试系统的开[本文97页]
 基于mems的振动能量采集及其器件设计[本文110页]  阵列激励电极式rf mems电容开关的设计[本文82页]  基于义齿压力检测的mems电容式压力传[本文77页]
 基于mems技术的氧气微传感器机理研究[本文78页]  用于光纤通信的mems光开关[本文98页]  基于mems的微机械射频开关的研究和设[本文105页]
 基于光学干涉相位检测的mems陀螺信号[本文87页]  基于风致振动机理的mems微型风力发电[本文58页]  power mems燃气涡轮发电机的实验研究[本文67页]
 基于led照明的mems光栅光调制器的光学[本文134页]  power mems准气体动力循环发动机的原[本文76页]  mems光栅光调制器阵列及投影显示系统[本文134页]
 射频mems开关的制作工艺研究及其直流[本文56页]  氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频[本文55页]  低驱动电压的rf mems开关的设计与模拟[本文59页]
 power mems氢气微燃烧过程的数值模拟[本文74页]  基于mems的微型振动式发电机系统的研[本文77页]  基于mems细胞电融合芯片及其外围驱动[本文64页]
 基于mems光栅光调制器的机电特性及控[本文102页]  基于mems光栅平动式光调制器结构参数[本文74页]  面向显示基于mems光栅光调制器光学分[本文188页]
 基于mems的电子耳蜗电极的设计和研究[本文69页]  基于mems的消化道无线内窥镜的研究[本文156页]  静电驱动mems微波开关设计与仿真[本文87页]
 mems层叠式微带贴片天线的建模、分析[本文64页]  rf-mems天线理论、建模仿真及特性研究[本文132页]  一类mems方程解的存在性与分歧性质[本文30页]
 基于mems技术的三相栅式位移传感器关[本文94页]  硅基梳齿式mems电容式加速度计的失效[本文83页]  一种基于mems的光电倾角传感器的设计[本文75页]
 基于埋置mems空气隙的柔性凸点结构设[本文85页]  基于表面张力作用的mems自组装及其精[本文83页]  基于mems的微型icp光谱激发源研究[本文61页]
 mems光纤加速度传感器理论研究[本文74页]  mems-imu/卫星组合导航技术研究与试验[本文97页]  mems中非线性微分方程变分解的存在性[本文30页]
 基于mems加速度传感器的西瓜成熟度无[本文67页]  基于mems加速度传感器的手势语识别系[本文61页]  基于mems惯性器件的小型姿态测量系统[本文73页]
 纳米级mems定位平台的驱动与控制方法[本文81页]  基于mems的航姿系统的设计与实现[本文70页]  船用mems航姿测量系统算法研究与实现[本文107页]
 基于mems的捷联航姿系统初始对准技术[本文93页]  基于mems航位推算系统的设计与实现[本文75页]  基于mems的导航系统设计与实现[本文75页]
 一种低频三维mems矢量水听器的研制[本文70页]  mems惯性器件的数据采集与误差分析技[本文83页]  基于dsp的mems陀螺信号采集与处理系统[本文84页]
 基于嵌入式的mems加速度传感器测控仿[本文78页]  用于mems的pzt压电厚膜及硅基压电悬臂[本文132页]  基于mems惯性传感器的定位定向装置研[本文74页]
 基于mems的捷联惯性导航系统的研究[本文78页]  基于mems的卫星天线伺服控制系统研究[本文90页]  mems扭转微镜的力学特性分析[本文78页]
 基于mems器件的捷联姿态测量系统技术[本文90页]  基于mems的矢量水听器的研究[本文63页]  mems器件用pzt薄膜的制备及性能研究[本文69页]
 基于mems技术新型压电微驱动器的研制[本文119页]  rf mems开关及移相器的分析与设计[本文73页]  mems惯性测量单元自动校准算法研究与[本文57页]
 基于视觉/mems的mav的位姿估计[本文73页]  捷联惯性导航系统mems传感器误差补偿[本文54页]  1.55微米激光mems扫描外差干涉仪研究[本文61页]
 面向mems麦克风自动贴片的视觉系统研[本文78页]  复合式mems微夹持器研究[本文67页]  开关型mems移相器的建模与仿真研究[本文81页]
 基于mems微位移传感器的纳米定位工作[本文75页]  ka波段硅基分布式mems传输线移相器射[本文127页]  mems sins/磁强计组合导航系统设计[本文74页]
 基于mems和dsp技术的低成本小型惯性测[本文63页]  基于mems技术的交流电渗流微泵的研究[本文59页]  mems兼容压电厚膜驱动技术[本文121页]
 mems可重构多频pifa天线研究[本文55页]  一种集成3-d mems力传感器的微夹持器[本文67页]  基于mems技术的直流电渗流微泵的研究[本文58页]
 mems器件的系统动力学建模与分析[本文66页]  面向mems自动引线键合的显微视觉系统[本文70页]  电容式rf mems开关设计与性能研究[本文70页]
 新型栅结构双向mems惯性传感器研究[本文79页]  mems可重构天线的研究与设计[本文71页]  基于mems技术的离子图象和细胞传感器[本文90页]
 基于mems的光学调制器设计和工艺研究[本文81页]  一种基于mems的单晶硅纳米线制造技术[本文74页]  基于机器微视觉的mems平面微运动测试[本文70页]
 应用于mems中多孔硅显微结构及绝热性[本文69页]  利用相移显微干涉术和频闪成像技术研[本文90页]  利用mems光开关实现高性能光互连网络[本文93页]
 mems平面微运动测量的若干关键技术研[本文139页]  基于mems的gps/dr车载组合导航系统及[本文69页]  mems中多孔硅基本特性及绝热性能研究[本文118页]
 基于光流技术的mems平面微运动特性的[本文72页]  单刀双掷的rf mems开关的设计与研究[本文77页]  面向mems非制冷红外探测器的多孔硅绝[本文71页]
 一种用于车载导航系统的mems陀螺性能[本文61页]  mems薄膜基片中的工艺残余应力实验分[本文63页]  mems压阻式微接触测头测试校准系统的[本文80页]
 面向mems的多孔硅基温度传感器研究[本文73页]  mems中多孔硅的原电池法制备及绝热性[本文65页]  基于mems的压阻悬臂梁式生物传感器设[本文63页]
 mems微热敏器件中多孔硅绝热性能研究[本文76页]  mems压阻式三维微触觉测头及其在纳米[本文147页]  mems微结构平面运动测量方法的研究[本文133页]
 微电子机械系统(mems)中介孔硅材料[本文136页]  基于mems传感器技术的数字式倾角仪的[本文70页]  基于mems技术的硅微神经电极阵列的设[本文80页]
 基于mems技术的新型氧化钒测辐射热计[本文70页]  mems力学特性测试及可靠性分析中若干[本文141页]  mems薄膜元器件在力—热耦合作用下的[本文75页]
 mems压阻式三维微触觉力传感器的研究[本文103页]  mems中多孔硅的电学与光学特性研究[本文60页]  多晶硅纳米薄膜mems力敏结构研究[本文73页]
 并联接触式射频mems开关的研究[本文71页]  微型集成天线及射频mems技术研究[本文81页]  硅基微波mems移相器的优化设计与性能[本文78页]
 射频/微波mems接触式开关的研究[本文78页]  用fdtd方法分析近场测量的s波段单脊波[本文54页]  基于电磁效应的振动源能量获取mems微[本文60页]
 基于mems技术的微型高频(100-300兆赫[本文182页]  基于表面等离子体共振效应的新型mems[本文88页]  基于宏模型技术的mems系统级仿真研究[本文126页]
 mems引信保险装置的制作及铸层结合强[本文62页]  一种结合温差式和风速计式的新结构me[本文73页]  mems加速度计用于地震测量的可行性研[本文117页]
 mems金属/电介质光子晶体的强透射特性[本文139页]  mems热辐射红外光源的研究[本文43页]  新型压阻式mems温度传感器的理论研究[本文59页]
 mems红外光声气体传感系统的研究[本文105页]  mems硅微麦克风的偏置电路及前置放大[本文60页]  基于dsp的mems惯性陀螺组件信号处理技[本文73页]
 高q光学环形微腔mems加工工艺及热处理[本文54页]  mems-imu/gps组合导航系统关键技术研[本文86页]  基于红外白光干涉技术的mems器件形貌[本文70页]
 基于mems热电堆的表面高温测试技术研[本文75页]  风洞试验用mems传感器阵列控制及数据[本文88页]  mems器件深槽侧壁形貌测试方法研究[本文82页]
 基于mems的平面环形微腔与锥形光纤耦[本文71页]  硅微mems仿生矢量水声传感器研究[本文127页]  mems高g值加速度传感器研究[本文82页]
 基于隧道效应的力平衡式mems陀螺仪设[本文106页]  mems仿生矢量水声传感器设计及其工艺[本文93页]  mems应力测试研究[本文85页]
 mems红外瓦斯传感检测系统的研究[本文116页]  硅基mems三维结构湿法腐蚀技术研究[本文54页]  rf mems 微波功率传感器的设计与分析[本文82页]
 mems湿法腐蚀工艺的研究[本文48页]  面向精化的表面微加工mems几何和工艺[本文61页]  基于mems技术的硅脉象传感与检测系统[本文205页]
 采用mems技术研制硅脉象传感器[本文83页]  采用mems技术研制硅气体流速传感器[本文63页]  mems微电容传感器检测电路的研制[本文59页]
 基于mems技术制作mosfet压力传感器研[本文74页]  mems引信安全与解除保险装置的结构设[本文76页]  mems引信安全发火装置关键部件设计与[本文89页]
 玻璃浆料在mems圆片级气密封装中的应[本文65页]  mems微结构力学性能的尺度效应研究[本文71页]  mems热控百叶窗仿真与实验研究[本文61页]
 基于mems技术的微型电源的研究[本文62页]  mems安全系统基本问题研究[本文95页]  基于mems技术的引信隔爆机构的结构设[本文82页]
 mems引信安全系统的微驱动器研究[本文90页]  mems微结构动力学特性研究[本文65页]  基于mems陀螺的自动驾驶仪设计[本文64页]
 毫米波mems开关和mems移相器的研究[本文68页]  基于mems含能推进器性能研究[本文79页]  毫米波mems天线阵列基础技术研究[本文63页]
 mems引信的微装配技术研究[本文88页]  基于mems的光纤加速度计的研究[本文70页]  mems电容式加速度传感器单片集成接口[本文79页]
 硅四层键合mems电容式加速度传感器研[本文61页]  mems三维堆叠模块化封装研究[本文64页]  单片集成mems红外传感器中的低噪声cm[本文70页]
 mems谐振式微悬臂梁生物传感器的接口[本文81页]  基于mems的光学电流传感器与微纳安检[本文153页]  高性能mems射频无源器件与三维硅微机[本文144页]
 mems电容式加速度传感器检测电路减噪[本文80页]  基于mems技术的磁珠微芯片的模拟及工[本文79页]  基于mems技术的fabry-perot腔长可调滤[本文74页]
 mems圆片级芯片尺寸封装研究[本文64页]  mems电容式加速度传感器相关检测技术[本文73页]  cu/sn等温凝固键合技术在mems圆片级气[本文76页]
 基于mems技术制作的硅纳米线及其性质[本文107页]  基于mems技术的角度可调谐光滤波器研[本文64页]  实现微型质子交换膜燃料电池的mems技[本文65页]
 
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