RF MEMS 微波功率传感器的设计与分析

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RF MEMS 微波功率传感器的设计与分析

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RF MEMS 微波功率传感器的设计与分析

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
目录	第7-9页
第一章绪论	第9-15页
· 微波功率传感器的种类	第9-12页
· 微波功率传感器的应用	第12页
· RF MEMS微波功率传感器	第12-13页
· 本论文的组织结构	第13-14页
· 本章小结	第14-15页
第二章 RF/微波基础理论	第15-36页
· RF/微波的频带	第15-16页
· 电磁场理论	第16-19页
· 麦克斯韦方程组	第16-17页
· 波动方程	第17-18页
· 电磁场的边界条件	第18-19页
· RF/微波波段电磁波的传输	第19-20页
· 传输线的特征阻抗	第20-23页
· 传输线的工作状态及功率问题	第23-25页
· 传输线的三种工作状态	第23-24页
· 传输线上的功率问题	第24-25页
· 共面波导简介	第25-32页
· 共面波导的结构和性能	第25-27页
· 共面波导的电磁波传播模式	第27-32页
· 共面波导的电磁场分布	第32-35页
· 本章小结	第35-36页
第三章 RF MEMS微波功率传感器的基本单元分析	第36-47页
· 共面波导单元	第36-40页
· 共面波导的损耗	第36-37页
· 减小损耗的方法	第37-38页
· 损耗情况的软件仿真	第38-40页
· 终端电阻单元	第40-43页
· 终端电阻材料的选择	第40-41页
· 终端电阻的匹配结构	第41-43页
· 热电堆单元	第43-46页
· 热电偶测温原理(SEEBECK效应)	第44页
· 热电偶的性能	第44-46页
· 本章小结	第46-47页
第四章 RF MEMS功率传感器的模型分析与优化	第47-71页
· 共面波导的分析设计	第47-54页
· 自由空间中单位长度的电容的分析	第48-50页
· 单层衬底上的共面波导单位长度的电容	第50-51页
· 薄绝缘层的单位电容	第51-52页
· 共面波导的特征阻抗和尺寸	第52-54页
· 共面波导与信号线的连接	第54页
· 终端电阻的热学模型分析	第54-59页
· 终端电阻吸收效率的分析	第55-56页
· 终端电阻总热阻的分析	第56-57页
· 终端电阻的尺寸	第57-58页
· 终端电阻的稳态温度与响应时间	第58-59页
· 热电堆模型分析	第59-68页
· 热电堆材料的选择	第59-61页
· 热电堆的热学模型分析	第61-68页
· 传感器的工作频带	第68-69页
· 频带的下限	第68页
· 频带的上限	第68-69页
· 传感器的性能指标	第69-70页
· 本章总结	第70-71页
第五章 RF MEMS微波功率传感器的工艺	第71-76页
· GaAs基微机械加工工艺简介	第71-73页
· 体微机械加工技术	第71-72页
· 表面微机械加工技术	第72-73页
· 传感器的制作工艺	第73-75页
· 共面波导的制备工艺	第73-74页
· 终端电阻的制备工艺	第74页
· GaAs衬底的刻蚀	第74-75页
· 热电堆的制备工艺	第75页
· 本章小结	第75-76页
第六章总结与展望	第76-78页
· 论文工作与总结	第76页
· 对进一步研究工作的展望	第76-78页
致谢	第78-79页
参考文献	第79-82页
附录	第82 页

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