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MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究
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MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-10页
第1章 绪论
第10-24页
· 课题研究背景和选题意义
第10-11页
· MEMS-IMU 概述和误差研究现状
第11-16页
· MEMS-IMU 概述
第11-14页
· MEMS-IMU 误差研究现状
第14-16页
· 微加速度计概述和误差研究现状
第16-19页
· 微加速度计概述
第16页
· 微加速度计误差研究现状
第16-19页
· 微陀螺概述和误差研究现状
第19-22页
· 微陀螺概述
第19-20页
· 微陀螺误差研究现状
第20-22页
· 本文的研究目和研究内容
第22-24页
· 研究目的
第22页
· 研究内容
第22-24页
第2章 MEMS-IMU 原理与误差分析
第24-38页
· MEMS-IMU 工作原理与设计
第24-28页
· 支撑结构设计与仿真
第26-27页
· 基于 FPGA 的控制电路设计
第27-28页
· MEMS-IMU 误差分析
第28-37页
· MEMS-IMU 应用条件
第29-30页
· MEMS 惯性传感器误差分析与测试
第30-33页
· MEMS-IMU 集成误差分析与测试
第33-35页
· MEMS-IMU 在应用条件下的误差评估
第35-37页
· 本章小结
第37-38页
第3章 基于统计参数法的 MEMS 惯性传感器误差分析
第38-78页
· 微结构误差统计参数法
第38-51页
· 体硅工艺过程产生的微结构误差分析
第38-42页
· 基于体硅工艺的微结构尺寸误差模型
第42-47页
· 微结构误差统计参数法
第47-51页
· 电容式梳齿微加速度计误差机理分析
第51-62页
· 原理与制造工艺
第51-55页
· 温度变化产生的误差
第55-56页
· 误差作用机理研究
第56-62页
· 电容式梳齿线振动微陀螺误差机理分析
第62-75页
· 原理与制造工艺
第62-67页
· 误差源分析
第67-71页
· 误差作用机理研究
第71-75页
· 本章小结
第75-78页
第4章 MEMS 传感器误差有限元建模仿真与测试
第78-108页
· MEMS 惯性传感器有限元建模与仿真方法
第78-79页
· 微加速度计建模仿真与测试
第79-96页
· 微加速度计表芯建模
第79-82页
· 温度漂移有限元仿真
第82-84页
· 微加速度计启动漂移建模
第84-86页
· 启动漂移有限元仿真
第86-87页
· 微加速度计测试
第87-96页
· 微陀螺建模仿真与测试
第96-106页
· 微陀螺表芯建模
第96-97页
· 微陀螺有限元仿真
第97-104页
· 微陀螺测试
第104-106页
· 本章小结
第106-108页
第5章 MEMS-IMU 实验研究
第108-140页
· MEMS-IMU 误差建模
第108-110页
· MEMS-IMU 整机标定补偿方法
第110-122页
· MEMS-IMU 整体标定方法
第110-122页
· MEMS-IMU 补偿方法
第122页
· MEMS-IMU 定位解算算法
第122-127页
· 磁场组合横滚角速率测量方法
第127-131页
· 飞行实验研究
第131-138页
· 温度补偿效果
第132-133页
· 加速度灵敏度误差分析
第133-135页
· 磁场组合姿态解算效果
第135-138页
· 本章小结
第138-140页
第6章 结论
第140-142页
· 论文主要研究工作
第140-141页
· 论文主要创新点
第141-142页
参考文献
第142-149页
致谢
第149-151页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果
第151-152页
本篇论文共
152
页,
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。
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