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MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究

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MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第1章 绪论第10-24页
  · 课题研究背景和选题意义第10-11页
  · MEMS-IMU 概述和误差研究现状第11-16页
    · MEMS-IMU 概述第11-14页
    · MEMS-IMU 误差研究现状第14-16页
  · 微加速度计概述和误差研究现状第16-19页
    · 微加速度计概述第16页
    · 微加速度计误差研究现状第16-19页
  · 微陀螺概述和误差研究现状第19-22页
    · 微陀螺概述第19-20页
    · 微陀螺误差研究现状第20-22页
  · 本文的研究目和研究内容第22-24页
    · 研究目的第22页
    · 研究内容第22-24页
第2章 MEMS-IMU 原理与误差分析第24-38页
  · MEMS-IMU 工作原理与设计第24-28页
    · 支撑结构设计与仿真第26-27页
    · 基于 FPGA 的控制电路设计第27-28页
  · MEMS-IMU 误差分析第28-37页
    · MEMS-IMU 应用条件第29-30页
    · MEMS 惯性传感器误差分析与测试第30-33页
    · MEMS-IMU 集成误差分析与测试第33-35页
    · MEMS-IMU 在应用条件下的误差评估第35-37页
  · 本章小结第37-38页
第3章 基于统计参数法的 MEMS 惯性传感器误差分析第38-78页
  · 微结构误差统计参数法第38-51页
    · 体硅工艺过程产生的微结构误差分析第38-42页
    · 基于体硅工艺的微结构尺寸误差模型第42-47页
    · 微结构误差统计参数法第47-51页
  · 电容式梳齿微加速度计误差机理分析第51-62页
    · 原理与制造工艺第51-55页
    · 温度变化产生的误差第55-56页
    · 误差作用机理研究第56-62页
  · 电容式梳齿线振动微陀螺误差机理分析第62-75页
    · 原理与制造工艺第62-67页
    · 误差源分析第67-71页
    · 误差作用机理研究第71-75页
  · 本章小结第75-78页
第4章 MEMS 传感器误差有限元建模仿真与测试第78-108页
  · MEMS 惯性传感器有限元建模与仿真方法第78-79页
  · 微加速度计建模仿真与测试第79-96页
    · 微加速度计表芯建模第79-82页
    · 温度漂移有限元仿真第82-84页
    · 微加速度计启动漂移建模第84-86页
    · 启动漂移有限元仿真第86-87页
    · 微加速度计测试第87-96页
  · 微陀螺建模仿真与测试第96-106页
    · 微陀螺表芯建模第96-97页
    · 微陀螺有限元仿真第97-104页
    · 微陀螺测试第104-106页
  · 本章小结第106-108页
第5章 MEMS-IMU 实验研究第108-140页
  · MEMS-IMU 误差建模第108-110页
  · MEMS-IMU 整机标定补偿方法第110-122页
    · MEMS-IMU 整体标定方法第110-122页
    · MEMS-IMU 补偿方法第122页
  · MEMS-IMU 定位解算算法第122-127页
  · 磁场组合横滚角速率测量方法第127-131页
  · 飞行实验研究第131-138页
    · 温度补偿效果第132-133页
    · 加速度灵敏度误差分析第133-135页
    · 磁场组合姿态解算效果第135-138页
  · 本章小结第138-140页
第6章 结论第140-142页
  · 论文主要研究工作第140-141页
  · 论文主要创新点第141-142页
参考文献第142-149页
致谢第149-151页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第151-152页

本篇论文共152页,点击这进入下载页面
 
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