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Czochralski法晶体生长建模与控制研究
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Czochralski法晶体生长建模与控制研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-8 页
1 前言第8-13 页
　　· 课题背景第8-9 页
　　　　· 研究目的第8 页
　　　　· 晶体生长概念和基本原理第8-9 页
　　· 国内外研究现状第9-12 页
　　　　· CZ法晶体生长过程建模研究近况第10-11 页
　　　　· CZ法控制系统研究近况第11-12 页
　　· 本文主要研究内容第12-13 页
2 CZ法晶体生长过程数学建模第13-32 页
　　· CZ法晶体生长温度状态方程的建立第13-24 页
　　　　· CZ法晶体生长过程的辐射换热分析第13-17 页
　　　　· CZ法晶体生长过程的传导换热分析第17 页
　　　　· 温度状态方程的建立第17-24 页
　　· CZ法晶体生长几何状态方程的建立第24-26 页
　　· 模型仿真步骤第26-27 页
　　· 仿真结果及分析第27-30 页
　　· 小节第30-32 页
3 CZ法晶体生长过程非线性动态特性研究第32-41 页
　　· 扰动法非线性晶体生长过程数值模拟第32-36 页
　　　　· CZ法晶体生长数值模拟意义和研究进展第32-33 页
　　　　· CZ法晶体生长过程的简化分析第33-34 页
　　　　· 熔液温度δ不变，提拉速度εp变化下的晶体生长第34-35 页
　　　　· 提拉速度εp不变，熔液温度δ变化下的晶体生长第35-36 页
　　· 扰动法仿真试验结果和分析第36-39 页
　　　　· 熔液温度δ不变，拉速εp变化下的等径生长第36-37 页
　　　　· 拉速εp不变，熔液温度δ变化下的等径生长第37-39 页
　　· 小节第39-41 页
4 CZ法晶体生长过程先进 PID控制第41-51 页
　　· 控制对象传递函数第41-42 页
　　· 基于神经网络整定的 PID控制第42-47 页
　　　　· 基于 BP神经网络整定的 PID控制第42-45 页
　　　　· 基于 RBF神经网络整定的 PID控制第45-47 页
　　· 基于遗传算法整定的 PID控制第47-50 页
　　· 小节第50-51 页
5 CZ法晶体生长称重电路的设计第51-59 页
　　· 高精度称重系统组成第51-52 页
　　· 称重数据采集系统电路设计第52-55 页
　　　　· 电源设计第52-53 页
　　　　· ADC通道设计第53-54 页
　　　　· ADuC824与直径调节系统的通讯第54-55 页
　　· 系统软件设计第55-58 页
　　　　· 数据采集系统软件设计第55-57 页
　　　　· PC机和 ADuC824串口通讯第57-58 页
　　· 小节第58-59 页
6 结语第59-61 页
致谢第61-62 页
参考文献第62-65 页
附录1 坩埚-熔液-环境间辐射换热速率第65-66 页
附录2 称重系统电路图第66-67 页
附录3 TCOMM组件简介第67-68 页
附录4 上位机通信程序第68-70 页
研究生期间论文发表情况第70 页

本篇论文共70页，点击这进入下载页面。
 
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