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应用于锗硅集成光电芯片的波导垂直耦合结构的研究
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应用于锗硅集成光电芯片的波导垂直耦合结构的研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
1 绪论
第9-17页
1.1 研究背景及意义
第9-12页
1.2 国内外研究现状
第12-15页
1.3 本文主要研究内容
第15-17页
2 层间耦合结构的基本理论及性能仿真
第17-25页
2.1 层间耦合结构的建模理论
第17-19页
2.2 层间耦合结构的数值仿真
第19-24页
2.3 本章小结
第24-25页
3 Ge-SOI层间耦合结构的设计
第25-38页
3.1 Ge-SOI层间耦合结构中的模式分析
第25-27页
3.2 Ge-SOI层间耦合结构的设计
第27-30页
3.3 Ge-SOI层间耦合结构的仿真
第30-31页
3.4 Ge-SOI层间耦合结构的实验
第31-37页
3.5 本章小结
第37-38页
4 基于SiGe材料偏振无关的层间耦合结构的设计
第38-52页
4.1 引言
第38页
4.2 基于SiGe材料层间耦合结构的模式分析
第38-40页
4.3 基于SiGe材料层间耦合结构的设计
第40-44页
4.4 基于SiGe材料层间耦合结构的性能仿真
第44-46页
4.5 基于SiGe材料层间耦合结构的容差分析
第46-51页
4.6 本章小结
第51-52页
5 总结与展望
第52-54页
5.1 总结
第52-53页
5.2 展望
第53-54页
致谢
第54-55页
参考文献
第55-59页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录
第59页
本篇论文共
59
页,
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。
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