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十米激光滚珠丝杠综合行程误差动态测量系统设计与精度分析

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十米激光滚珠丝杠综合行程误差动态测量系统设计与精度分析
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-8页
1 绪论第8-16页
  · 引言第8页
  · 丝杠测量方法发展第8-11页
    · 静态测量法第9页
    · 动态测量法第9-11页
  · 丝杠测量仪国内外研究现状第11-14页
  · 课题来源及研究背景意义第14页
    · 课题来源第14页
    · 课题研究背景意义第14页
  · 论文研究的内容第14-16页
2 测量仪总体方案设计第16-28页
  · 仪器基本测量原理第16页
  · 系统布局第16-19页
    · 机械部分第17-18页
    · 电气系统部分第18-19页
  · 雷尼绍激光测长系统第19-24页
    · 激光干涉测量法原理第19-20页
    · 激光系统组成第20-23页
    · RCU10系统设置与特性第23-24页
    · 激光系统布局第24页
  · 雷尼绍圆光栅测角系统第24-26页
  · 主轴伺服电机控制系统第26页
  · 本章小结第26-28页
3 测量仪机械系统设计第28-55页
  · 概述第28-29页
  · 头架设计第29-33页
    · 头架体壳设计第29页
    · 带传动设计第29-31页
    · 齿轮传动设计第31-32页
    · 主轴密珠轴承设计第32-33页
  · 导轨设计第33-36页
    · 导轨截面形状设计第34-35页
    · 导轨材料选取第35页
    · 导轨技术要求第35-36页
  · 测量台设计与刚度校核第36-46页
    · 测量架径向移动结构设计第36-38页
    · 测量头设计第38-39页
    · 测量台轴向移动结构设计第39页
    · 测量台刚度校核第39-45页
    · 测量台结构优化第45-46页
  · 床身设计与刚度校核第46-52页
    · 床身设计第46-47页
    · 床身刚度校核第47-50页
    · 床身结构优化第50-52页
  · 尾架设计第52-54页
    · 尾架体壳设计第52页
    · 尾架主轴部件设计第52-54页
  · 本章小结第54-55页
4 测量仪总体精度分析第55-70页
  · 影响丝杠行程误差的测量精度的主要误差来源第55-56页
    · 与丝杠长度无关的误差第55页
    · 与丝杠长度有关的误差第55-56页
  · 测量仪总体精度分配第56-57页
  · 测量仪总体精度分析第57-64页
    · 测量仪拨盘旋转精度引起的行程测量误差第57-58页
    · 丝杠的径向跳动第58页
    · 头尾架顶尖高度差引起的误差第58-59页
    · 测量台运动平稳性对丝杠行程测量精度的影响第59页
    · 阿贝误差第59-60页
    · 导轨不等高带来的误差第60页
    · 丝杠误差第60-61页
    · 丝杠由于温度变化引起的测量误差第61页
    · 丝杠垂直调整误差第61页
    · 测量系统误差第61-63页
    · 温度传感器稳定性引起的误差第63-64页
    · 测头磨损量引起的误差第64页
  · 误差合成第64页
  · 丝杠测量仪的总体精度计算实例第64-69页
  · 本章小结第69-70页
5 测控系统设计与测量数据分析第70-83页
  · 系统功能第70页
  · 测量系统流程设计第70-71页
  · 控制系统功能设计第71页
  · 操作界面简介第71-74页
  · 丝杠动态测量仪检定规程第74-75页
    · 技术要求第74-75页
    · 检定条件第75页
  · 测量仪测量精度检验第75-82页
    · 梯形丝杠检定测量仪测量精度第75-79页
    · 滚珠丝杠测量第79-82页
  · 本章小结第82-83页
6 总结第83-85页
  · 论文总结第83-84页
  · 展望第84-85页
致谢第85-86页
参考文献第86-89页
附录第89页

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