论文目录 | |
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-14页 |
第1章 绪论 | 第14-27页 |
1.1 AlN 的晶体结构 | 第14-15页 |
1.2 AlN 薄膜的制备技术 | 第15-17页 |
· 反应磁控溅射法 | 第15页 |
· 分子束外延法 | 第15-16页 |
· 化学气相沉积(CVD) | 第16页 |
· 离子束辅助沉积法(IBAD) | 第16页 |
· 脉冲激光沉积法(PLD) | 第16-17页 |
1.3 AlN 薄膜的性质 | 第17-21页 |
1.3.1 AlN 薄膜的电学性能 | 第17-18页 |
1.3.2 AlN 薄膜的光学性能 | 第18-19页 |
1.3.3 AlN 薄膜的机械性能 | 第19页 |
1.3.4 AlN 薄膜的压电性能 | 第19-21页 |
1.4 AlN 薄膜的应用 | 第21-24页 |
· 绝缘埋层材料 | 第21-22页 |
· 场发射材料 | 第22页 |
· 发光材料 | 第22页 |
· 传感器材料 | 第22页 |
· 声表面波器件用压电材料 | 第22-24页 |
1.5 (002)取向 AlN 薄膜的研究现状 | 第24-26页 |
· 本文的研究背景和内容 | 第26-27页 |
第2章 AlN 薄膜制备及分析测试方法 | 第27-34页 |
· 薄膜制备装置 | 第27-29页 |
· 薄膜样品的制备 | 第29-31页 |
· 衬底的选择及预处理过程 | 第29-30页 |
2.2.2 AlN 薄膜及过渡层的制备方法及工艺条件 | 第30-31页 |
2.3 AlN 薄膜表征方法 | 第31-32页 |
2.3.1 X 射线衍射分析 | 第31页 |
2.3.2 X 射线光电子能谱分析 | 第31页 |
· 扫描电子显微镜分析 | 第31-32页 |
· 光学显微镜 | 第32页 |
2.4 AlN 薄膜性能测试 | 第32-34页 |
· 薄膜厚度的测量 | 第32页 |
· 薄膜粘结强度测试 | 第32页 |
· 薄膜表面粗糙度测试 | 第32-34页 |
第3章 AlN 薄膜制备工艺方法研究 | 第34-52页 |
3.1 制备方法对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第34-38页 |
3.1.1 反应磁控溅射制备 AlN 薄膜的(002)取向度 | 第34-36页 |
3.1.2 离子束辅助沉积制备 AlN 薄膜的(002)取向度 | 第36-37页 |
3.1.3 离子束溅射方法制备 AlN 薄膜的结构分析 | 第37-38页 |
3.2 制备方法对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第38-43页 |
3.2.1 反应磁控溅射制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第38-40页 |
3.2.2 离子束辅助沉积制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第40-41页 |
3.2.3 离子束溅射制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第41-43页 |
3.3 制备方法对 AlN 薄膜沉积速率和化学计量比的影响 | 第43-49页 |
3.3.1 制备方法对 AlN 薄膜沉积速率的影响 | 第43-44页 |
3.3.2 制备方法对 AlN 薄膜化学计量比的影响 | 第44-49页 |
3.4 制备方法对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第49-50页 |
· 小结 | 第50-52页 |
第4章 异质过渡层对 AlN 薄膜(002)取向结构、表面形貌和粘接性能的影响 | 第52-74页 |
4.1 异质过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第52-61页 |
4.1.1 金属过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第52-56页 |
4.1.2 无机非金属过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第56-61页 |
4.2 异质过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第61-69页 |
4.2.1 金属过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第61-64页 |
4.2.2 无机非金属过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第64-69页 |
4.3 异质过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第69-73页 |
4.3.1 金属过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第69-72页 |
4.3.2 无机非金属过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第72-73页 |
· 小结 | 第73-74页 |
第5章 同质过渡层诱导生长高(002)取向度 AlN 薄膜 | 第74-88页 |
5.1 诱导生长对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第74-80页 |
5.1.1 靶基距对诱导生长 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第74-76页 |
5.1.2 衬底温度对诱导生长 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第76-78页 |
5.1.3 高(002)取向度 AlN 薄膜诱导生长机制分析 | 第78-80页 |
5.2 诱导生长的 AlN 薄膜表面形貌分析 | 第80-82页 |
5.3 诱导生长的 AlN 薄膜粘接性能研究 | 第82-87页 |
· 小结 | 第87-88页 |
结论 | 第88-89页 |
参考文献 | 第89-99页 |
致谢 | 第99-100页 |
附录 A 攻读硕士期间的研究成果 | 第100
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