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基于电阻测量的高通量实验方法开发与应用
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基于电阻测量的高通量实验方法开发与应用
论文目录
摘要
第1-7页
ABSTRACT
第7-12页
第一章 绪论
第12-24页
1.1 材料研发困境
第12-13页
1.2 组合材料学的出现和发展
第13-15页
1.3 材料的高通量制备
第15-17页
1.3.1 分立模板方法
第15-16页
1.3.2 连续模板方法
第16页
1.3.3 无模板共沉积方法
第16-17页
1.4 高通量表征测试
第17-22页
1.4.1 高通量成分测试和结构表征
第17-18页
1.4.2 高通量电磁学性质表征
第18-19页
1.4.3 高通量光学性质测试
第19页
1.4.4 高通量力学测试
第19-21页
1.4.5 高通量电化学测试
第21-22页
1.5 电阻测试的优势
第22页
1.6 论文组织架构
第22-24页
第二章 高通量扫描四探针电阻测试系统设计
第24-32页
2.1 两探针与四探针电阻测量原理比较
第24-25页
2.2 四探针电阻率测量方法及薄膜方块电阻的计算
第25-28页
2.3 高通量扫描四探针电阻测试系统构成
第28-29页
2.4 电阻扫描测试方法
第29-31页
2.5 本章小结
第31-32页
第三章 高通量扫描四探针技术应用: 快速筛选金属玻璃
第32-45页
3.1 金属玻璃概述
第32-33页
3.2 金属玻璃的制备工艺
第33页
3.3 金属玻璃的性能和应用
第33-34页
3.4 玻璃形成能力概述
第34-35页
3.5 高通量电阻测量方法应用于金属玻璃的筛选
第35-43页
3.5.1 实验方法
第35-36页
3.5.2 结果与讨论
第36-43页
3.6 本章小结
第43-45页
第四章 高通量扫描四探针技术应用:玻璃形成能力的筛选
第45-61页
4.1 玻璃形成能力实验判据
第45-48页
4.2 实验方法
第48-52页
4.2.1 样品制备、成分测试及电阻测试
第48-49页
4.2.2 高真空热处理
第49-51页
4.2.3 并行扫描纳米量热技术
第51-52页
4.3 结果与讨论
第52-60页
4.4 本章小结
第60-61页
第五章 变温电阻传感器设计、制备及应用
第61-85页
5.1 电阻随温度变化关系在材料研究中的应用
第61-62页
5.2 变温电阻传感器的几何形状设计和器件结构设计
第62-63页
5.2.1 传感器几何形状设计
第62页
5.2.2 器件结构设计及材料选择
第62-63页
5.3 温度特性仿真计算
第63-66页
5.4 测试系统
第66-67页
5.5 制备工艺
第67-70页
5.5.1 基底清洗
第67页
5.5.2 涂胶
第67-68页
5.5.3 光刻及显影
第68页
5.5.4 样品沉积及剥离
第68-69页
5.5.5 氮化硅保护层沉积
第69-70页
5.6 温度标定
第70-73页
5.7 变温电阻传感器的应用
第73-83页
5.8 局限性
第83页
5.9 本章小结
第83-85页
第六章 合金前体制备高结晶度铜锡硫薄膜
第85-93页
6.1 铜锡硫化合物的研究现状概述
第85页
6.2 实验与表征方法
第85-86页
6.2.1 样品制备
第85-86页
6.2.2 表征
第86页
6.3 结果与讨论
第86-92页
6.4 本章小结
第92-93页
第七章 结论与展望
第93-95页
7.1 本课题所取得的成果
第93-94页
7.2 本课题所开发的技术和方法的应用扩展及后续工作展望
第94-95页
致谢
第95-96页
参考文献
第96-108页
附录
第108-112页
攻读博士学位期间取得的成果
第112-113页
本篇论文共
113
页,
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。
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