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硅基铁电薄膜太赫兹信号移相器研制
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硅基铁电薄膜太赫兹信号移相器研制
论文目录
摘要
第11-13页
Abstract
第13-15页
第一章 绪论
第15-39页
1.1 研究背景
第15-19页
1.2 太赫兹相控阵雷达及其信号预处理
第19-28页
1.2.1 太赫兹波段电磁波特性
第19-23页
1.2.2 相控阵雷达
第23-25页
1.2.3 移相器
第25-28页
1.3 BST铁电薄膜移相器研究现状
第28-35页
1.3.1 均匀共面波导型移相器
第30-32页
1.3.2 分布电容型移相器
第32-33页
1.3.3 反射型移相器
第33页
1.3.4 伪传输线型移相器
第33-35页
1.4 太赫兹铁电薄膜移相器研制面临的挑战
第35-36页
1.5 本文主要工作
第36-37页
1.6 本文结构
第37-39页
第二章 BST薄膜的制备与表征
第39-65页
2.1 BST薄膜制与表征研究现状
第39-41页
2.2 BST薄膜制备研究
第41-50页
2.2.1 BST靶材组分选择
第41-42页
2.2.2 PLD参数确定方法
第42-43页
2.2.3 BST薄膜制备
第43-47页
2.2.4 高温后退火改性研究
第47-50页
2.3 BST/hrSi高频特性表征
第50-64页
2.3.1 CPW制备与测试
第50-52页
2.3.2 传播常数测量
第52-54页
2.3.3 薄膜介电常数提取
第54-64页
2.4 本章小结
第64-65页
第三章 左手传输线型BST薄膜移相器研究
第65-89页
3.1 左手传输线型BST薄膜移相器研究现状
第65-68页
3.2 左手传输线原理分析
第68-70页
3.3 左手传输线型移相器结构设计与仿真
第70-79页
3.3.1 HFSS-MatLab-API仿真平台
第70-71页
3.3.2 左手传输线移相器基本结构优化
第71-76页
3.3.3 周期电感左手移相器
第76-79页
3.4 低损耗左手移相器结构研究
第79-83页
3.4.1 Cr偏置电压线左手移相器设计与仿真
第79-82页
3.4.2 图形化BST左手移相器设计与仿真
第82-83页
3.5 左手传输线移相器制备与测试
第83-86页
3.6 本章小结
第86-89页
第四章 分布电容BST薄膜移相器研究
第89-107页
4.1 分布电容型薄膜移相器研究现状
第89-94页
4.2 分布电容移相器设计与仿真
第94-97页
4.3 分布电容移相器低损耗设计
第97-100页
4.3.1 Cr电容连接线分布型移相器
第98-99页
4.3.2 图形化BST分布型移相器
第99-100页
4.4 分布电容移相器制备与测试
第100-105页
4.5 本章小节
第105-107页
第五章 石墨烯电极移相器探索
第107-117页
5.1 石墨烯微波传输线研究现状
第107-110页
5.2 石墨烯制备与表征
第110-113页
5.3 移相器石墨烯电极设计与制备
第113-116页
5.4 本章小结
第116-117页
第六章 结束语
第117-121页
6.1 论文工作总结
第117-119页
6.2 课题研究展望
第119-121页
致谢
第121-123页
参考文献
第123-133页
作者在学期间取得的学术成果
第133-134页
本篇论文共
134
页,
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。
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