红外双色滤光片的研制及其低温光谱研究

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红外双色滤光片的研制及其低温光谱研究

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红外双色滤光片的研制及其低温光谱研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-8页
ABSTRACT	第8-12页
1 引言	第12-25页
1.1 双色或多色滤光器件	第13-18页
1.1.1 轮转滤光片组件	第13-14页
1.1.2 集成多个通道的阵列滤光片	第14-16页
1.1.3 可调制的滤光器件	第16-17页
1.1.4 多色或双色干涉滤光片	第17-18页
1.2 双色探测器和双色滤光片组合的红外探测技术	第18-22页
1.2.1 双色探测技术的应用	第18-19页
1.2.2 红外双色探测器	第19-21页
1.2.3 红外双色滤光片	第21-22页
1.3 本论文工作概述	第22-25页
1.3.1 本论文工作的意义	第22-23页
1.3.2 本论文主要内容	第23-25页
2 双色滤光片的设计	第25-44页
2.1 自动优化设计	第25-26页
2.2 缓冲层和组合膜系设计	第26-28页
2.3 F-P膜系为基础的设计	第28-34页
2.3.1 波峰的多次重复	第28-31页
2.3.2 厚间隔层的F-P膜系	第31-32页
2.3.3 分形结构的F-P膜系	第32-34页
2.4 基于组合F-P膜系的双色滤光片设计	第34-42页
2.4.1 基础F-P膜系的确定	第35-37页
2.4.2 双色滤光片的设计	第37-39页
2.4.3 通道带宽的调整	第39-40页
2.4.4 通道间距离分析	第40-42页
2.5 小结	第42-44页
3 双色滤光片的制备	第44-73页
3.1 薄膜沉积设备介绍	第44-45页
3.2 研制工艺	第45-51页
3.2.1 膜层沉积工艺	第45-47页
3.2.2 工艺要求	第47-49页
3.2.3 工艺流程	第49-51页
3.3 膜层的光学特性	第51-57页
3.3.1 光学常数测试方法	第51-52页
3.3.2 光学常数测试结果	第52-54页
3.3.3 膜层光能损耗	第54-57页
3.4 膜厚监控方法	第57-64页
3.4.1 膜厚的晶振控制	第58-60页
3.4.2 膜厚的光学监控	第60-62页
3.4.3 其它监控方法	第62-64页
3.5 双色滤光片工艺实现	第64-71页
3.5.1 用于实际监控的膜系设计	第64-65页
3.5.2 确定监控方法	第65页
3.5.3 监控策略分析	第65-68页
3.5.4 监控实施和实际的膜层沉积效果	第68-71页
3.6 小结	第71-73页
4 膜厚误差分析	第73-97页
4.1 误差来源	第73-77页
4.1.1 厚度误差	第73-75页
4.1.2 光学常数误差	第75-77页
4.2 监控误差导致膜厚误差的机理	第77-79页
4.3 误差对设计膜系的光谱性能影响	第79-87页
4.3.1 随机误差光谱影响	第79-84页
4.3.2 不同膜层对膜系整体光谱的影响	第84-87页
4.4 双色滤光膜系的误差分析	第87-95页
4.5 小结	第95-97页
5 滤光片低温光谱研究	第97-113页
5.1 温度对膜层材料物理特性影响	第98-100页
5.2 光学常数温度特性测试方法	第100页
5.3 低温光谱测试设备	第100-102页
5.4 单层膜低温光谱测试	第102-105页
5.5 膜层材料的低温光学常数拟合	第105-109页
5.6 双色滤光片低温光谱模拟	第109-111页
5.7 小结	第111-113页
6 总结与展望	第113-117页
6.1 总结	第113-115页
6.1.1 研究过程	第113-114页
6.1.2 主要结果	第114-115页
6.1.3 主要创新点	第115页
6.2 展望	第115-117页
参考文献	第117-124页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果	第124页

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