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飞秒激光在半导体和聚合物材料上的超分辨纳米加工研究
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飞秒激光在半导体和聚合物材料上的超分辨纳米加工研究
论文目录
摘要
第1-7页
ABSTRACT
第7-11页
插图和附表清单
第11-16页
第一章 绪论
第16-41页
· 引言
第16页
· 飞秒激光的进展及应用
第16-19页
· 飞秒激光加工技术
第19-21页
· 飞秒激光加工发展及应用
第21-33页
· 光学超分辨加工
第33-34页
· 论文的主要内容
第34-35页
参考文献
第35-41页
第二章 基于激光诱导表面周期结构实现飞秒激光超分辨加工ZnO纳米结构
第41-62页
· 引言
第41页
· 实验研究背景
第41-44页
· 实验装置
第44-47页
· 实验结果
第47-57页
· 本章总结
第57-58页
参考文献
第58-62页
第三章 基于受激辐射方法实现聚合物超分辨加工
第62-93页
· 引言
第62-63页
· 实验研究背景
第63-71页
· 光刻胶
第71-73页
· 实验装置
第73-83页
· 实验结果
第83-88页
· 本章总结
第88-89页
参考文献
第89-93页
第四章 总结与展望
第93-95页
· 研究成果总结及创新点
第93页
· 下一步开展的工作
第93-95页
作者简历及在学期间发表的论文
第95-97页
致谢
第97页
本篇论文共
97
页,
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。
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