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准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究
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准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
Abstract第4-9 页
第1章 绪论第9-26 页
　　· 纳米技术与微机电系统第9-15 页
　　　　· 纳米技术第9-13 页
　　　　· 微机电系统第13-15 页
　　· MEMS的特征及其关键问题第15-18 页
　　　　· MEMS的特征第15-16 页
　　　　· MEMS的关键问题第16-18 页
　　· 微观摩擦与表面形貌第18-24 页
　　　　· 微观摩擦与宏观摩擦第18-20 页
　　　　· 微观摩擦与表面形貌第20-24 页
　　· 本文研究的主要内容与创新点第24-26 页
第2章 准分子激光微细加工技术研究第26-45 页
　　· 微细加工技术概述第26-31 页
　　　　· 微细加工技术第26-29 页
　　　　· 激光加工技术第29-31 页
　　· 准分子激光加工技术第31-36 页
　　　　· 准分子激光加工的应用第32-34 页
　　　　· 准分子激光加工的原理第34-36 页
　　· 准分子激光加工系统第36-39 页
　　· 准分子激光加工实验第39-42 页
　　· 影响准分子激光加工表面形貌的主要因素第42-44 页
　　　　· 光斑内的能量分布第42-43 页
　　　　· 激光的多次照射第43 页
　　　　· 工件材料第43-44 页
　　· 准分子激光的其它加工第44 页
　　本章小结第44-45 页
第3章 准分子激光加工表面形貌测试与数据处理方法第45-74 页
　　· 表面形貌测试技术第45-47 页
　　· 表面形貌表征方法第47-50 页
　　· 表面形貌测试及其统计参数计算第50-55 页
　　　　· 表面形貌图像测试第50-51 页
　　　　· 表面形貌轮廓测试第51-52 页
　　　　· 表面形貌统计参数计算第52-55 页
　　· 表面形貌图像三维数字化处理第55-66 页
　　　　· 图像数字化处理技术第55-60 页
　　　　· 表面形貌图像三维数字化处理第60-66 页
　　· 典型结果第66-73 页
　　本章小结第73-74 页
第4章 准分子激光加工表面形貌特征与工艺的相关性第74-94 页
　　· 概述第74-75 页
　　· 准分子激光加工表面微观形貌特征第75-87 页
　　　　· 不同激光扫描速度的表面形貌特征第76-79 页
　　　　· 不同激光器放大电压的表面形貌特征第79-80 页
　　　　· 不同激光脉冲频率的表面形貌特征第80-82 页
　　　　· 不同激光脉冲个数的表面形貌特征第82-85 页
　　　　· 不同激光扫描次数的表面形貌特征第85-86 页
　　　　· 不同材料的表面微观形貌特征第86-87 页
　　· 准分子激光工艺参数与表面微观形貌的相关性第87-93 页
　　　　· 激光扫描速度与表面形貌的相关性第87-90 页
　　　　· 激光扫描次数与表面形貌的相关性第90-91 页
　　　　· 激光脉冲频率与表面形貌的相关性第91-92 页
　　　　· 激光器放大电压与表面形貌的相关性第92-93 页
　　本章小结第93-94 页
第5章 微摩擦测试装置设计与测试系统分析第94-104 页
　　· 微摩擦试验的特点第94-95 页
　　· 微摩擦测试装置的总体构成第95-96 页
　　· 微力测试系统设计第96-101 页
　　　　· 测力传感元件设计第96-100 页
　　　　· 曲线标定分析第100-101 页
　　　　· 测力加载方式分析第101 页
　　· 测力程序设计第101-102 页
　　本章小结第102-104 页
第6章 结论与展望第104-106 页
参考文献第106-113 页
致谢第113-114 页
学习期间参加的课题和发表的论文第114-116 页

本篇论文共116页，点击这进入下载页面。
 
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