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基于FeSi_2薄膜的异质结的制备与特性研究

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基于FeSi_2薄膜的异质结的制备与特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-18页
  · 研究背景第12-13页
  · -FeSi2异质结的研究现状第13-16页
  · 论文的主要研究内容及论文结构安排第16-18页
第二章 a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的制备与特性研究第18-40页
  · 引言第18页
  · -FeSi2薄膜第18-26页
    · -FeSi2薄膜的制备第18-19页
    · -FeSi2薄膜的特性第19-26页
  · a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结第26-39页
    · a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的制备第26-28页
    · a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的特性第28-39页
  · 本章小结第39-40页
第三章 基于III-V族元素掺杂 -FeSi2的双异质结的制备与特性研究第40-73页
  · 引言第40-41页
  · 基于Al掺杂 -FeSi2的双异质结第41-56页
    · Al掺杂 -FeSi2薄膜的制备第41-42页
    · Al掺杂 -FeSi2薄膜的特性第42-53页
    · 基于Al掺杂 -FeSi2的双异质结的特性第53-56页
  · 基于B掺杂和P掺杂 -FeSi2的双异质结第56-71页
    · B掺杂 -FeSi2薄膜和P掺杂 -FeSi2薄膜的制备第56-57页
    · B掺杂 -FeSi2薄膜和P掺杂 -FeSi2薄膜的特性第57-69页
    · 基于B掺杂和P掺杂 -FeSi2的双异质结的特性第69-71页
  · 本章小结第71-73页
第四章 非晶FeSi2异质结的制备与特性研究第73-91页
  · 引言第73-74页
  · a-FeSi2薄膜第74-82页
    · a-FeSi2薄膜的制备第74-75页
    · a-FeSi2薄膜的特性第75-82页
  · a-FeSi2/c-Si异质结第82-85页
    · a-FeSi2/c-Si异质结的制备第82-83页
    · a-FeSi2/c-Si异质结的特性第83-85页
  · a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结第85-90页
    · a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结的制备第85-86页
    · a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结的特性第86-90页
  · 本章小结第90-91页
结论第91-93页
参考文献第93-104页
攻读博士学位期间取得的研究成果第104-105页
致谢第105-106页
附件第106页

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