CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究

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CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究

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CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究

论文目录
内容提要	第1-5页
中文摘要	第5-7页
Abstract	第7-13页
第一章绪论	第13-23页
· 金刚石的结构特征、性质及应用	第13-18页
· 金刚石的晶体结构	第13-14页
· 金刚石的分类	第14页
· 金刚石的性质及应用	第14-18页
· 金刚石（膜）的发展历史	第18-20页
· CVD 金刚石的主要制备方法	第20-22页
1 热灯丝 CVD 法	第20-21页
2 微波等离子体 CVD 法	第21页
3 直流等离子体喷射 CVD 法	第21-22页
· 论文的选题及主要研究内容	第22-23页
第二章实验设备及表征方法	第23-29页
· 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置	第23-24页
· 本论文采用的 MPCVD 装置介绍	第23页
· MPCVD 法制备曲面金刚石膜的工艺	第23-24页
· MPCVD 法制备大尺寸单晶金刚石的工艺	第24页
· 射频磁控溅射系统	第24-26页
· 高压反应釜	第26页
· CVD 金刚石的表征技术	第26-29页
1、光学显微镜	第26页
2、扫描电子显微镜	第26-27页
3、激光拉曼光谱	第27页
4、X 射线衍射谱	第27页
5、光致发光光谱	第27-28页
6、原子力显微镜	第28-29页
第三章 CVD 曲面金刚石自支撑膜的生长及性质	第29-45页
· 各因素对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响	第29-40页
1、碳源浓度对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响	第29-30页
2、微波功率对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响	第30页
3、压强对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响	第30-31页
4、衬底材料对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响	第31-40页
· 光学级 CVD 曲面金刚石自支撑膜的制备	第40-43页
· 本章小结	第43-45页
第四章曲面金刚石膜生长 ZnO 纳米棒及 TiO2纳米管	第45-57页
· 实验过程	第46-48页
· CVD 曲面金刚石膜的制备	第46页
· 水热法制备 ZnO 纳米棒阵列	第46-47页
· 液相沉积法制备 TiO2	第47页
· 样品表征	第47-48页
· 实验结论与分析	第48-52页
· ZnO 纳米棒的形貌及结构	第48-49页
· TiO_2纳米管的形貌及结构	第49-51页
· CVD 曲面金刚石膜上制备 TiO2纳米管的反应机制	第51-52页
· TiO_2纳米管/CVD 曲面金刚石膜光催化性能的研究	第52-55页
· 本章小结	第55-57页
第五章 CVD 单晶金刚石的生长及应用	第57-71页
· N_2/O_2对 CVD 单晶金刚石生长的影响	第57-60页
· CO_2对 CVD 单晶金刚石生长的影响	第60-63页
· N_2O 对 CVD 单晶金刚石生长的影响	第63-66页
· 高温低压氢等离子体退火对 CVD 单晶金刚石的影响	第66-67页
· 大尺寸 CVD 单晶金刚石的获得及应用实例	第67-69页
· 高质量 CVD 单晶金刚石的生长	第67-68页
· CVD 单晶金刚石的应用	第68-69页
· 本章小结	第69-71页
第六章全文总结	第71-73页
参考文献	第73-83页
作者简介	第83-85页
攻读博士期间发表论文及专利	第85-87页
致谢	第87 页

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