热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究

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热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究

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热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-11页
第一章绪论	第11-30页
· 光伏发电是一种可再生能源	第11-12页
· 光伏技术的发展	第12-14页
· 光伏技术与薄膜太阳能电池	第14-27页
· 光伏发电原理	第14-15页
· 光伏材料	第15-16页
· 硅太阳能电池	第16-21页
· 硅基薄膜太阳电池新进展	第21-27页
参考文献	第27-30页
第二章热丝化学气相沉积技术极其在太阳能电池中的应用	第30-50页
2.1.热丝化学气相沉积的发展	第30-31页
· 热丝化学气相沉积原理	第31-39页
· 气体与热丝的反应	第32-33页
· 基元与硅烷的反应	第33-34页
· 基元之间的相互反应	第34-35页
· 生长薄膜表面反应	第35-39页
· HWCVD在光伏工业上的优势	第39-40页
· 热丝的选择及其寿命	第40-42页
· HWCVD的近期研究工作	第42-43页
· HWCVD制备太阳能电池	第43页
· 本论文研究目的和研究内容	第43-45页
· 研究目的	第43-44页
· 研究内容和创新点	第44-45页
参考文献	第45-50页
第三章实验仪器与测试方法	第50-59页
· 实验仪器HWCVD	第50页
· 热丝预处理	第50-51页
3.3.衬底的选择与处理	第51-52页
· 薄膜的表征方法	第52-58页
· X射线衍射(XRD)	第52-53页
· 傅立叶变换红外(FT-IR)光谱	第53-54页
· 拉曼光谱(Raman)	第54页
· 紫外-可见(UV-VIS)分光光度计	第54-55页
· 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)	第55-56页
· 纳米划痕仪(Nano Scratch Testing)	第56-58页
参考文献	第58-59页
第四章硅烷浓度、衬底距离对薄膜生长的影响	第59-68页
· 薄膜的制备与测试条件	第60页
· 硅烷浓度对薄膜生长及结晶性的影响	第60-63页
· 研究热丝到衬底的距离对薄膜生长和结晶性的影响	第63-65页
· 结论	第65-67页
参考文献	第67-68页
第五章氢基元概率分布模型	第68-85页
· 薄膜制备	第69-70页
5.2. 实验结果及分析	第70-80页
· Raman散射光谱研究	第70-72页
· XRD光谱研究	第72-73页
· 温度场的模拟	第73-76页
5.2.4.H基元的概率分布模型	第76-78页
5.2.5.总结	第78-80页
参考文献	第80-85页
第六章衬底温度对薄膜生长及性质的影响	第85-98页
· 制备条件	第86页
6.2.实验结果及分析	第86-96页
· Raman散射光谱研究	第86-88页
· FTIR光谱研究	第88-90页
· SEM	第90-92页
· 紫外-可见光谱的研究	第92-93页
· 电学性质	第93-94页
· 总结	第94-96页
参考文献	第96-98页
第七章衬底对薄膜生长及性质的影响	第98-109页
· 实验细节	第98-99页
· 实验结果及分析	第99-107页
· XRD	第99页
· Raman	第99-101页
· SEM	第101-102页
· 划痕实验	第102-105页
· FTIR光谱研究	第105页
· 总结	第105-107页
参考文献	第107-109页
第八章总结与展望	第109-113页
· 本论文的主要结论	第109-111页
· 下一步工作展望	第111-113页
致谢	第113-114页
在读期间的研究成果	第114-115 页

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