X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究

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X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究

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X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究

论文目录
致谢	第1-7 页
摘要	第7-8 页
Abstract	第8-9 页
图题	第9-12 页
表题	第12-15 页
第一章绪论	第15-35 页
· 引言	第15 页
· 同步辐射装置及光束线工程技术进展	第15-20 页
· 同步辐射光源发展概况	第16-18 页
· X射线束线传输技术发展	第18-20 页
· 惯性约束聚变衍射光学元件研制进展	第20-29 页
· 大口径衍射光学元件概况	第21-26 页
· 离子束刻蚀技术发展	第26-29 页
· 小结	第29-30 页
参考文献	第30-35 页
第二章 X射线光束线仪器若干关键技术研究	第35-78 页
· 概述	第35-41 页
· X射线束线光学元件热载效应	第41-57 页
· 双晶单色器热效应测试分析	第41-50 页
· 大面积X射线前置镜热载影响	第50-56 页
· 相关问题讨论	第56-57 页
· X射线束线仪器关键结构研究	第57-72 页
· 双晶单色器联动机构	第57-66 页
· 聚焦镜压弯调整机构	第66-72 页
· 相关问题讨论	第72 页
· 小结	第72-74 页
参考文献	第74-78 页
第三章条形射频源离子束刻蚀设备研制	第78-115 页
· 概述	第78-83 页
· 离子束刻蚀设备	第78-79 页
· 低能宽束离子源	第79-81 页
· 大面积刻蚀方法	第81-83 页
· 条形射频离子源技术	第83-87 页
· 工作原理及应用	第83-84 页
· 条形源离子光学系统	第84-87 页
· 矩形引出束流密度分布与测量	第87 页
· KZ-400离子束刻蚀装置	第87-111 页
· 概况	第87-90 页
· 6cm×66cm条形射频离子源	第90-93 页
· 关键部件研制	第93-108 页
· 真空室及真空系统	第93-97 页
· 工作台及线形运动系统	第97-104 页
· 离子束流密度扫描探测系统	第104-108 页
· 刻蚀装置性能	第108-111 页
· 小结	第111-112 页
参考文献	第112-115 页
第四章结论	第115-127 页
· 总结	第115-117 页
· 展望	第117-124 页
参考文献	第124-127 页
附录1:攻读博士学位期间文章报告	第127-128 页
附录2:攻读博士学位期间项目课题	第128页

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