论文目录 | |
摘要 | 第1-5
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ABSTRACT | 第5-11
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1 绪论 | 第11-19
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· 引言 | 第11-12
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· TiO_2 的晶体结构及性质 | 第12-13
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· 杂质掺入对TiO_2 气敏性质的影响 | 第13-14
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· 掺杂金属氧化物的TiO_2 薄膜 | 第13
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· 贵金属掺杂修饰的TiO_2 薄膜 | 第13
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· 部分还原TiO_2 薄膜(TiO_(2-x)) | 第13-14
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· 金红石型TiO_2 的薄膜表面 | 第14-15
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· 锐钛矿型TiO_2 的薄膜表面 | 第15-16
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· TiO_2 气敏传感器的传感原理 | 第16-17
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· 本论文研究的主要内容 | 第17-18
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· 本章小结 | 第18-19
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2 TiO_2 气敏传感薄膜的制备与特性研究 | 第19-60
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· 实验方法 | 第19-36
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· 反应溅射法制备TiO_2 薄膜 | 第19-21
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· 化学气象沉积法制备TiO_2 薄膜 | 第21-22
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· 溶胶-凝胶法制备TiO_2 薄膜 | 第22-24
页 |
· 真空蒸发镀膜 | 第24-26
页 |
· X 射线光电子能谱(XPS)分析CVD 法制备的气敏薄膜 | 第26-29
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· 扫描电镜 | 第29-31
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· 透射电镜 | 第31-32
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· X 射线衍射分析 | 第32-35
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· 气敏效应的检测装置 | 第35-36
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· 反应射频溅射制备W/TiO_2 薄膜气敏效应研究 | 第36-41
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· 薄膜制备 | 第36-37
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· 薄膜形貌分析 | 第37
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· 气敏测试与分析 | 第37-41
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· 结论 | 第41
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· 超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2 薄膜的气敏特性研究 | 第41-45
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· 薄膜制备 | 第41-43
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· 气敏测试 | 第43-45
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· 结论 | 第45
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· 火焰喷雾热分解法制备TiO_2 薄膜的气敏特性研究 | 第45-50
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· 样品制备 | 第45-47
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· 样品形貌分析 | 第47
页 |
· 气敏特性 | 第47-50
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· 结论 | 第50
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· 溶胶-凝胶和旋涂法制备TiO_2--KTaO_3 薄膜的气敏特性研究 | 第50-55
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· 薄膜样品的制备 | 第51-52
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· 样品结构分析 | 第52-53
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· 湿敏检测系统 | 第53-54
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· 样品测试 | 第54-55
页 |
· 结论 | 第55
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· 电子束蒸发制备TiO_2-WO_3 复合气敏传感薄膜的性质研究 | 第55-58
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· 实验方法与测试 | 第55-57
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· 气敏效应测试 | 第57-58
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· 结论 | 第58
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· 本章小结 | 第58-60
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3 TiO_2 的表面性质和表面过程及杂质对TiO_2 性质的影响 | 第60-79
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· 金属氧化物的表面电子性质 | 第60-65
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· 表面态 | 第60-61
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· 表面空间电荷层的形成 | 第61-62
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· 表面空间电荷层中电场、电荷密度和电容的计算(一维处理) | 第62-63
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· 薄膜表面的气—气、气—固反应 | 第63-64
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· 空间电荷层厚度和Weisz 限制 | 第64-65
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· 表面的化学性质 | 第65-69
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· 吸附 | 第65-68
页 |
· 表面晶格氧和吸附氧 | 第68-69
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· 催化和其它表面反应过程 | 第69-70
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· 均匀反应和不均匀反应 | 第69
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· 氧化物的催化剂活性金属 | 第69-70
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· 离子交换 | 第70
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· 金属氧化物点缺陷理论化 | 第70-74
页 |
· 金属氧化物的点缺陷及其K-V 符号 | 第70-72
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· 质量作用定律与点缺陷理论 | 第72-73
页 |
· K-V 图与材料电性能的关系 | 第73-74
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· 金属氧化物半导体和金属氧化物固体电解质 | 第74
页 |
· TiO_2 的气敏机理 | 第74-77
页 |
· 氧敏元件的技术特性及其影响 | 第77
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· 本章小结 | 第77-79
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4 TiO_2 气敏特性的第一性原理研究 | 第79-131
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· 密度泛函理论的简述 | 第79-92
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· 三个基本近似 | 第80-84
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· Hohenberg-Kohn 定理 | 第84-85
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· Kohn-Sham 方程 | 第85-86
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· 自洽计算 | 第86
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· 局域密度近似和广义梯度近似 | 第86-88
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· 赝势法 | 第88-91
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· CASTEP 软件包功能特点 | 第91-92
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· 金红石型TiO_2 的空位缺陷研究 | 第92-97
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· 计算方法 | 第93-94
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· 结果分析 | 第94-96
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· 结论 | 第96-97
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· 锐钛矿型TiO_2 空位缺陷性质研究 | 第97-106
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· 计算方法 | 第97-98
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· 计算结果与分析 | 第98-106
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· N、C、S 等非金属元素掺杂对锐钛矿TiO_2 晶体性质影响的理论研究 | 第106-117
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· 理论模型与计算方法 | 第106-107
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· 计算结果与分析 | 第107-116
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· 结论 | 第116-117
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· Si 掺杂对金红石TiO_2 晶体性质影响的理论研究 | 第117-120
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· 计算方法 | 第117-118
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· 计算结果 | 第118-120
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· 结论 | 第120
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· 金红石型纳米TiO_2(110)表面原子结构和电子结构 | 第120-124
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· 模型构建与模拟方法 | 第121-122
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· 金红石型纳米TiO_2(110)表面原子结构性质 | 第122-123
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· 金红石型纳米TiO_2(110)表面电子结构性质 | 第123-124
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· 结论 | 第124
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· 氢气在金红石型TiO_2(110)薄膜面吸附的第一性原理研究 | 第124-129
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· 计算方法 | 第125
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· 计算结果 | 第125-128
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· 结论 | 第128-129
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· 本章小结 | 第129-131
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5 结论与展望 | 第131-135
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· 主要结论 | 第131-133
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· 展望 | 第133-135
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致谢 | 第135-136
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参考文献 | 第136-148
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附录 | 第148-149
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A.博士期间发表的论文 | 第148-149
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B.博士期间参与的科研项目 | 第149页 |