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扫描电子显微学中二次电子产生的Monte Carlo模拟

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扫描电子显微学中二次电子产生的Monte Carlo模拟
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第1章 绪论第12-28页
  · 扫描电子显微镜的原理与发展历程第12-14页
    · 扫描电子显微镜的原理第12-13页
    · 扫描电子显微镜的发展历程第13-14页
  · 电子与固体的相互作用第14-20页
    · 电子与固体相互作用概述第14-16页
    · 二次电子产生的理论发展第16-20页
  · 二次电子相关的实验现象第20-28页
    · 二次电子的掺杂衬度第22-23页
    · 二次电子的自旋极化第23-28页
第2章 电子散射理论及Monte Carlo模拟的实现第28-54页
  · 电子固体相互作用的Monte Carlo模拟概述第28-29页
  · 弹性散射的理论描述第29-32页
  · 非弹性散射的理论描述第32-41页
    · Full Penn方法第34-35页
    · 单极近似第35-36页
    · 能量损失函数的比较第36-37页
    · 非弹性平均自由程及阻止本领第37-41页
  · 二次电子级联的处理第41-42页
  · 电子从固体表面的出射第42-43页
  · Monte Carlo模拟的具体步骤第43-48页
  · 三维复杂结构的构建及修正第48-52页
    · 实体结构几何法第49页
    · 有限元三角形网格法第49-50页
    · 引入三维构件的相关修正第50-52页
  · 并行化Monte Carlo模拟的实现第52-54页
第3章 SEM中二次电子产额和能谱的模拟第54-70页
  · 二次电子产额的相关实验和理论第54-57页
  · 二次电子产额及能谱的模拟第57-63页
  · 二次电子产额与角度的关系第63-64页
  · 二次电子的出射分布第64-69页
  · 小结第69-70页
第4章 分辨率测量方法中所使用的二次电子图像的模拟第70-86页
  · 二次电子图像的分辨率测量方法第70-71页
  · Au/C体系的模拟图像第71-78页
  · 模拟图像由衬度梯度法得到的分辨率与间隔法的比较第78-82页
  · 复杂样品结构的产生及模拟第82-84页
  · 小结第84-86页
第5章 半导体掺杂衬度的模拟第86-94页
  · 半导体材料掺杂衬度的产生机理第86-90页
  · Monte Carlo模拟的结果及讨论第90-91页
  · 小结第91-94页
第6章 二次电子自旋极化的模拟第94-102页
  · 二次电子自旋极化的相关理论第94-97页
  · Monte Carlo模拟中自旋相关的修正第97-99页
  · 模拟结果与实验的对比第99-101页
  · 小结第101-102页
第7章 二次电子符合实验的模拟第102-108页
  · 二次电子产生的符合实验第102-103页
  · 反射式符合实验的Monte Carlo模拟第103-107页
  · 小结第107-108页
第8章 总结第108-112页
参考文献第112-125页
致谢第125-126页
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果第126-128页

本篇论文共128页,点击这进入下载页面
 
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