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扫描电子显微学中二次电子产生的Monte Carlo模拟
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扫描电子显微学中二次电子产生的Monte Carlo模拟
论文目录
摘要
第1-7页
ABSTRACT
第7-12页
第1章 绪论
第12-28页
· 扫描电子显微镜的原理与发展历程
第12-14页
· 扫描电子显微镜的原理
第12-13页
· 扫描电子显微镜的发展历程
第13-14页
· 电子与固体的相互作用
第14-20页
· 电子与固体相互作用概述
第14-16页
· 二次电子产生的理论发展
第16-20页
· 二次电子相关的实验现象
第20-28页
· 二次电子的掺杂衬度
第22-23页
· 二次电子的自旋极化
第23-28页
第2章 电子散射理论及Monte Carlo模拟的实现
第28-54页
· 电子固体相互作用的Monte Carlo模拟概述
第28-29页
· 弹性散射的理论描述
第29-32页
· 非弹性散射的理论描述
第32-41页
· Full Penn方法
第34-35页
· 单极近似
第35-36页
· 能量损失函数的比较
第36-37页
· 非弹性平均自由程及阻止本领
第37-41页
· 二次电子级联的处理
第41-42页
· 电子从固体表面的出射
第42-43页
· Monte Carlo模拟的具体步骤
第43-48页
· 三维复杂结构的构建及修正
第48-52页
· 实体结构几何法
第49页
· 有限元三角形网格法
第49-50页
· 引入三维构件的相关修正
第50-52页
· 并行化Monte Carlo模拟的实现
第52-54页
第3章 SEM中二次电子产额和能谱的模拟
第54-70页
· 二次电子产额的相关实验和理论
第54-57页
· 二次电子产额及能谱的模拟
第57-63页
· 二次电子产额与角度的关系
第63-64页
· 二次电子的出射分布
第64-69页
· 小结
第69-70页
第4章 分辨率测量方法中所使用的二次电子图像的模拟
第70-86页
· 二次电子图像的分辨率测量方法
第70-71页
· Au/C体系的模拟图像
第71-78页
· 模拟图像由衬度梯度法得到的分辨率与间隔法的比较
第78-82页
· 复杂样品结构的产生及模拟
第82-84页
· 小结
第84-86页
第5章 半导体掺杂衬度的模拟
第86-94页
· 半导体材料掺杂衬度的产生机理
第86-90页
· Monte Carlo模拟的结果及讨论
第90-91页
· 小结
第91-94页
第6章 二次电子自旋极化的模拟
第94-102页
· 二次电子自旋极化的相关理论
第94-97页
· Monte Carlo模拟中自旋相关的修正
第97-99页
· 模拟结果与实验的对比
第99-101页
· 小结
第101-102页
第7章 二次电子符合实验的模拟
第102-108页
· 二次电子产生的符合实验
第102-103页
· 反射式符合实验的Monte Carlo模拟
第103-107页
· 小结
第107-108页
第8章 总结
第108-112页
参考文献
第112-125页
致谢
第125-126页
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果
第126-128页
本篇论文共
128
页,
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