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柔性结构超精密多输入多输出运动系统建模与控制研究
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柔性结构超精密多输入多输出运动系统建模与控制研究
论文目录
摘要
第1-4页
abstract
第4-9页
主要符号对照表
第9-11页
第1章 绪论
第11-31页
1.1 研究背景
第11-17页
1.1.1 柔性结构问题概述
第13-15页
1.1.2 多输入多输出问题概述
第15-17页
1.2 相关研究现状和文献综述
第17-27页
1.2.1 柔性结构硅片台研究现状及其柔性问题解决途径
第17-18页
1.2.2 柔性结构硅片台建模研究
第18-22页
1.2.3 柔性结构硅片台控制研究
第22-27页
1.3 论文研究内容
第27-31页
1.3.1 研究问题的提出
第27-29页
1.3.2 论文研究思路及内容
第29-31页
第2章 柔性结构MIMO运动系统建模研究
第31-55页
2.1 本章引言
第31-32页
2.2 理论模型
第32-39页
2.2.1 连续模型
第32页
2.2.2 离散模型
第32-33页
2.2.3 模态模型
第33-38页
2.2.4 MIMO模态状态空间模型
第38-39页
2.3 频域辨识方法
第39-45页
2.3.1 频域辨识问题描述
第39-40页
2.3.2 闭环频域模型辨识
第40-41页
2.3.3 整体参数曲线拟合
第41-42页
2.3.4 模态分析
第42-45页
2.4 时域辨识方法
第45-54页
2.4.1 时域辨识问题描述
第46-47页
2.4.2 子空间辨识方法
第47-49页
2.4.3 闭环子空间辨识
第49-52页
2.4.4 模态分析
第52-54页
2.5 本章小结
第54-55页
第3章 柔性结构MIMO运动系统控制研究
第55-84页
3.1 本章引言
第55-56页
3.2 解耦SISO控制与直接MIMO控制
第56-60页
3.2.1 硅片台系统的解耦SISO控制
第56-58页
3.2.2 硅片台系统的直接MIMO控制
第58-59页
3.2.3 解耦SISO控制与直接MIMO控制关系
第59-60页
3.3 全状态反馈控制研究
第60-68页
3.3.1 全状态反馈控制的控制结构
第61页
3.3.2 卡尔曼滤波器/全状态估计器的实现
第61-62页
3.3.3 具有积分状态量的误差状态空间模型
第62-63页
3.3.4 全状态反馈控制器综合方法
第63-68页
3.4 鲁棒控制研究
第68-82页
3.4.1 不确定性建模
第68-74页
3.4.2 权函数矩阵设计
第74-79页
3.4.3 鲁棒控制器综合方法
第79-82页
3.5 本章小结
第82-84页
第4章 建模和控制综合性能与优化
第84-107页
4.1 本章引言
第84页
4.2 建模综合分析和优化
第84-97页
4.2.1 柔性结构MIMO运动系统建模综合
第84-91页
4.2.2 柔性结构MIMO运动系统辨识综合
第91-94页
4.2.3 闭环子空间辨识条件下输入信号优化方法
第94-97页
4.3 控制综合性能及稳定性
第97-104页
4.3.1 控制系统目标及性能
第97-99页
4.3.2 稳定性分析
第99-101页
4.3.3 鲁棒性能和鲁棒稳定性分析
第101-104页
4.4 建模和控制方法综合优化
第104-106页
4.4.1 建模与控制总体优化问题描述
第104页
4.4.2 总体优化目的和指标
第104-105页
4.4.3 总体优化方法
第105-106页
4.5 本章小结
第106-107页
第5章 仿真与实验验证
第107-133页
5.1 本章引言
第107页
5.2 硅片台机械结构和控制系统
第107-110页
5.3 建模方法仿真与实验研究
第110-122页
5.3.1 理论模型仿真分析
第110-115页
5.3.2 辨识实验验证
第115-119页
5.3.3 优化输入信号仿真
第119-122页
5.4 控制算法实验研究
第122-132页
5.4.1 全状态反馈控制实验验证
第122-127页
5.4.2 鲁棒控制实验验证
第127-132页
5.5 本章小结
第132-133页
第6章 结论与展望
第133-138页
6.1 研究内容总结
第133-136页
6.2 论文主要创新点
第136页
6.3 后期研究展望
第136-138页
参考文献
第138-144页
致谢
第144-146页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果
第146-147页
本篇论文共
147
页,
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