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柔性结构超精密多输入多输出运动系统建模与控制研究

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柔性结构超精密多输入多输出运动系统建模与控制研究
论文目录
 
摘要第1-4页
abstract第4-9页
主要符号对照表第9-11页
第1章 绪论第11-31页
  1.1 研究背景第11-17页
    1.1.1 柔性结构问题概述第13-15页
    1.1.2 多输入多输出问题概述第15-17页
  1.2 相关研究现状和文献综述第17-27页
    1.2.1 柔性结构硅片台研究现状及其柔性问题解决途径第17-18页
    1.2.2 柔性结构硅片台建模研究第18-22页
    1.2.3 柔性结构硅片台控制研究第22-27页
  1.3 论文研究内容第27-31页
    1.3.1 研究问题的提出第27-29页
    1.3.2 论文研究思路及内容第29-31页
第2章 柔性结构MIMO运动系统建模研究第31-55页
  2.1 本章引言第31-32页
  2.2 理论模型第32-39页
    2.2.1 连续模型第32页
    2.2.2 离散模型第32-33页
    2.2.3 模态模型第33-38页
    2.2.4 MIMO模态状态空间模型第38-39页
  2.3 频域辨识方法第39-45页
    2.3.1 频域辨识问题描述第39-40页
    2.3.2 闭环频域模型辨识第40-41页
    2.3.3 整体参数曲线拟合第41-42页
    2.3.4 模态分析第42-45页
  2.4 时域辨识方法第45-54页
    2.4.1 时域辨识问题描述第46-47页
    2.4.2 子空间辨识方法第47-49页
    2.4.3 闭环子空间辨识第49-52页
    2.4.4 模态分析第52-54页
  2.5 本章小结第54-55页
第3章 柔性结构MIMO运动系统控制研究第55-84页
  3.1 本章引言第55-56页
  3.2 解耦SISO控制与直接MIMO控制第56-60页
    3.2.1 硅片台系统的解耦SISO控制第56-58页
    3.2.2 硅片台系统的直接MIMO控制第58-59页
    3.2.3 解耦SISO控制与直接MIMO控制关系第59-60页
  3.3 全状态反馈控制研究第60-68页
    3.3.1 全状态反馈控制的控制结构第61页
    3.3.2 卡尔曼滤波器/全状态估计器的实现第61-62页
    3.3.3 具有积分状态量的误差状态空间模型第62-63页
    3.3.4 全状态反馈控制器综合方法第63-68页
  3.4 鲁棒控制研究第68-82页
    3.4.1 不确定性建模第68-74页
    3.4.2 权函数矩阵设计第74-79页
    3.4.3 鲁棒控制器综合方法第79-82页
  3.5 本章小结第82-84页
第4章 建模和控制综合性能与优化第84-107页
  4.1 本章引言第84页
  4.2 建模综合分析和优化第84-97页
    4.2.1 柔性结构MIMO运动系统建模综合第84-91页
    4.2.2 柔性结构MIMO运动系统辨识综合第91-94页
    4.2.3 闭环子空间辨识条件下输入信号优化方法第94-97页
  4.3 控制综合性能及稳定性第97-104页
    4.3.1 控制系统目标及性能第97-99页
    4.3.2 稳定性分析第99-101页
    4.3.3 鲁棒性能和鲁棒稳定性分析第101-104页
  4.4 建模和控制方法综合优化第104-106页
    4.4.1 建模与控制总体优化问题描述第104页
    4.4.2 总体优化目的和指标第104-105页
    4.4.3 总体优化方法第105-106页
  4.5 本章小结第106-107页
第5章 仿真与实验验证第107-133页
  5.1 本章引言第107页
  5.2 硅片台机械结构和控制系统第107-110页
  5.3 建模方法仿真与实验研究第110-122页
    5.3.1 理论模型仿真分析第110-115页
    5.3.2 辨识实验验证第115-119页
    5.3.3 优化输入信号仿真第119-122页
  5.4 控制算法实验研究第122-132页
    5.4.1 全状态反馈控制实验验证第122-127页
    5.4.2 鲁棒控制实验验证第127-132页
  5.5 本章小结第132-133页
第6章 结论与展望第133-138页
  6.1 研究内容总结第133-136页
  6.2 论文主要创新点第136页
  6.3 后期研究展望第136-138页
参考文献第138-144页
致谢第144-146页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第146-147页

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