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基于光线追迹和特征函数的非球面干涉检测系统建模及应用研究

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基于光线追迹和特征函数的非球面干涉检测系统建模及应用研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-16页
第1章 引言第16-38页
  1.1 研究背景第16-18页
  1.2 国内外研究现状与发展趋势第18-32页
    1.2.1 非球面面形检测方法概述第18-25页
    1.2.2 光线追迹和特征函数在干涉面形检测系统建模中的应用第25-32页
  1.3 基于光线追迹和特征函数的建模方法及分类第32-35页
  1.4 研究内容第35-38页
第2章 光线追迹和特征函数理论基础第38-58页
  2.1 光线追迹第38-44页
    2.1.1 非偏振光线追迹第39-40页
    2.1.2 偏振光线追迹第40-41页
    2.1.3 序列光线追迹第41-42页
    2.1.4 非序列光线追迹第42-44页
  2.2 特征函数第44-50页
    2.2.1 光学系统特征函数定义第44-45页
    2.2.2 旋转对称折射面、反射面以及CGH衍射面低阶角特征函数第45-48页
    2.2.3 四阶角特征函数与四阶波像差的关系第48-49页
    2.2.4 旋转对称光学系统特征函数高阶展开式第49-50页
  2.3 适用范围第50-55页
  2.4 计算全息片等效光线模型第55-57页
  2.5 小结第57-58页
第3章 基于序列非偏振追迹的建模第58-86页
  3.1 FIZEAU干涉仪模型第58-64页
    3.1.1 建模思路第58-60页
    3.1.2 干涉仪在理想状态下检测误差以及频谱展宽和环境稳定性影响第60-64页
    3.1.4 小结第64页
  3.2 计算全息片补偿器畸变标定模型第64-71页
    3.2.1 畸变曲线获取思路第65-67页
    3.2.2 仿真与实测畸变曲线比较及畸变引入面形误差讨论第67-71页
    3.2.3 小结第71页
  3.3 变形镜补偿器模型第71-86页
    3.3.1 补偿器基本原理第71-76页
    3.3.2 补偿器建模思路第76-79页
    3.3.3 补偿器可测范围及变形镜位置公差分析第79-84页
    3.3.4 小结第84-86页
第4章 基于非序列偏振追迹的CGH补偿器杂散光面形误差建模第86-98页
  4.1 补偿器结构及杂散光命名规则第87-90页
  4.2 杂散光面形误差非序列偏振追迹建模思路第90-93页
  4.3 杂散光面形误差仿真和实验比较第93-97页
  4.4 小结第97-98页
第5章 基于低阶特征函数的CGH补偿器杂散光光线像差建模第98-114页
  5.1 补偿器结构第99-100页
  5.2 CGH补偿器中杂散光特征函数及波像差第100-105页
  5.3 在级数展开下杂散光波像差定性讨论第105-107页
  5.4 CGH补偿器杂散光猫眼平面光线像差建模思路第107-108页
  5.5 系统设计分析第108-113页
  5.6 小结第113-114页
第6章 基于高阶特征函数FIZEAU干涉仪回程误差建模第114-124页
  6.1 FIZEAU干涉仪中回程误差求解等效成像模型第115-118页
  6.2 FIZEAU干涉仪倾斜加载回程误差建模思路第118-119页
  6.3 特征函数和光线追迹求解回程误差比较第119-122页
  6.4 小结第122-124页
第7章 全文总结及展望第124-128页
  7.1 全文总结第124-125页
  7.2 主要创新点第125-126页
  7.3 研究展望第126-128页
参考文献第128-136页
致谢第136-138页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第138页

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