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基于光频双曲色散超材料的深亚波长成像原理和方法研究

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基于光频双曲色散超材料的深亚波长成像原理和方法研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-16页
第1章 绪论第16-40页
  1.1 引言第16页
  1.2 衍射极限第16-19页
  1.3 超透镜及光刻成像的研究现状及进展第19-23页
    1.3.1 平面超透镜(Superlens)第19-22页
    1.3.2 曲面超透镜(Hyperlens)第22-23页
  1.4 表面显微成像的研究现状和进展第23-33页
    1.4.1 全内反射荧光显微技术第25-29页
    1.4.2 表面等离子体显微术第29-33页
  1.5 负折射率材料成像研究现状和进展第33-37页
  1.6 论文研究内容及章节安排第37-40页
第2章 表面等离子体基础第40-58页
  2.1 表面等离子体存在的基本条件第40-42页
  2.2 表面等离子体的基本电磁特性第42-47页
    2.2.1 金属材料的Drude模型第42-44页
    2.2.2 表面等离子体的色散模型及特征参数第44-47页
  2.3 金属-介质交替薄膜材料的等效介质理论分析第47-50页
  2.4 表面等离子体激发方式第50-53页
    2.4.1 棱镜耦合激发第50-51页
    2.4.2 光栅耦合激发第51-52页
    2.4.3 表面缺陷激发第52-53页
    2.4.4 其他激发方式第53页
  2.5 电磁场计算方法第53-56页
    2.5.1 时域有限差分法第54-55页
    2.5.2 有限元法第55-56页
  2.6 本章小结第56-58页
第3章 基于光频超衍射材料的近场增强成像方法研究第58-72页
  3.1 应用于光刻成像的BPI结构设计第59-66页
    3.1.1 BPI激发结构设计原理第60-64页
    3.1.2 BPI照明下表面等离子体腔超透镜的成像仿真第64-66页
  3.2 应用于显微成像的SP激发结构设计第66-70页
    3.2.1 Ag层增强表征实验原理分析第66-68页
    3.2.2 实验装置第68-69页
    3.2.3 实验结果与讨论第69-70页
  3.3 本章小结第70-72页
第4章 均匀深亚波长穿透深度的SP表面显微结构设计及分析第72-100页
  4.1 设计原理第73-75页
  4.2 单一穿透深度SP表面显微照明结构设计第75-77页
  4.3 穿透深度可调的SP表面显微照明结构设计第77-93页
    4.3.1 结构设计及分析第77-80页
    4.3.2 宽频带性能第80-83页
    4.3.3 金属/介质膜层厚度的影响第83-84页
    4.3.4 样本折射率影响第84-85页
    4.3.5 BPP照明下的纳米颗粒成像第85-86页
    4.3.6 BPP照明结构和图形制备第86-89页
    4.3.7 超短照明深度的表面显微成像实验第89-93页
  4.4 近场倏逝波穿透深度的双层荧光染料光谱远场检测方法原理及分析第93-98页
    4.4.1 理论模型及分析第94-96页
    4.4.2 初步实验及结果分析第96-98页
    4.4.3 目前存在的不足及后期工作改进第98页
  4.5 本章小结第98-100页
第5章 基于光频负折射材料的SP近场光刻成像第100-120页
  5.1 原理结构第100-101页
  5.2 单线条成像理论分析第101-107页
    5.2.1 空气距、半宽、强度随金属-介质对厚度的变化情况第102-103页
    5.2.2 空气距、半宽、强度随介质占空比的变化情况第103-104页
    5.2.3 空气距、半宽、强度随物像关系的变化情况第104-105页
    5.2.4 空气距、半宽、强度随浸没环境的变化情况第105页
    5.2.5 空气距随金属-介质对数目的变化情况第105-106页
    5.2.6 空气距随介质介电常数的变化情况第106-107页
  5.3 密集线条成像理论分析第107-115页
    5.3.1 金属/介质单元厚度对光刻性能的影响第107-108页
    5.3.2 金属/介质单元中介质占空比对光刻性能的影响第108-109页
    5.3.3 金属/介质单元膜层对数对光刻性能的影响第109-110页
    5.3.4 入射光偏振对光刻性能的影响第110-111页
    5.3.5 理论光刻结果与分析第111-112页
    5.3.6 周期光栅二维成像模拟第112-115页
  5.4 二维环状图形成像模拟第115-116页
  5.5 结构制备第116-118页
  5.6 曝光结果及分析第118-119页
  5.7 本章小结第119-120页
第6章 结束语第120-122页
  6.1 论文的主要创新点第120-121页
  6.2 存在问题及后期工作展望第121-122页
参考文献第122-134页
致谢第134-136页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第136-137页

本篇论文共137页,点击这进入下载页面
 
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