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GaN基半导体异质结构中的应力相关效应

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GaN基半导体异质结构中的应力相关效应
论文目录
 
摘要第1-6 页
Abstract第6-16 页
第一章 序论第16-20 页
  · GaN 基半导体研究的根本性问题第16-17 页
  · 研究手段发展的基础性问题第17-18 页
  · 论文构架第18-20 页
第二章 晶体生长方法和表征第20-38 页
  · III 族氮化物生长方法第20-28 页
    · 金属有机物汽相外延(MOVPE)第20-22 页
    · 侧向外延GaN 的制备第22-28 页
    · AlGaN/GaN 异质结构的制备第28 页
  · 表征方法第28-38 页
    · 扫描电子显微镜(SEM)第29-30 页
    · 透射电子显微镜(TEM)第30-32 页
    · 俄歇电子能谱(AES)第32-34 页
    · X 射线衍射(XRD)第34-35 页
    · 拉曼散射谱(Raman)第35-36 页
    · 阴极荧光谱(CL)第36-38 页
第三章 计算模拟方法第38-60 页
  · 密度泛函理论的电子结构计算第38-49 页
    · 密度泛函理论第38-42 页
    · 混合基赝势计算方法第42-47 页
    · 力与结构优化第47-49 页
  · 计算模拟的应力模型第49-53 页
    · 体材料模型和表面材料模型第49-52 页
    · 异质结构模型第52-53 页
    · 应力场的构建第53 页
  · GaN 和AlN 材料基本性质的计算第53-60 页
    · GaN 和AlN 体材料的基本性质第54-56 页
    · GaN 和AlN 表面系统的基本性质第56-60 页
第四章 俄歇谱广义位移概念及其微纳区测量技术的建立第60-83 页
  · 引言第60-61 页
  · 俄歇电子理论第61-68 页
    · 俄歇电子跃迁过程和表述第61-62 页
    · 俄歇电子能量的表达第62-63 页
    · 价电子态对俄歇电子能量的影响第63-64 页
    · 价电子能带俄歇谱的理论表述及其简化第64-66 页
    · 价电子能带俄歇谱中的电子信息第66-68 页
  · 俄歇谱广义位移概念及其微观物理意义第68-73 页
    · 广义位移概念及其意义第68-69 页
    · 俄歇峰位对应微观变化实例第69-71 页
    · 俄歇峰形对应微观变化实例第71-73 页
  · 纳米区域应力测量技术的建立第73-77 页
    · 应力测量技术的发展第73-74 页
    · 俄歇谱位移与微观应力的对应关系第74-75 页
    · 俄歇谱位移量的测量第75-76 页
    · 样品和测试环境第76-77 页
  · 远场非接触性纳米区域电学测量技术的建立第77-81 页
    · 电学测量技术的发展第77-79 页
    · 局域电荷及电场的俄歇谱信息第79-80 页
    · 局域电荷浓度及电场的测量第80 页
    · 样品和测试环境第80-81 页
  · 结论第81-83 页
第五章 GaN 中的应力场转变及带边发光增强效应第83-104 页
  · 引言第83-84 页
  · 侧向外延GaN 中应力场的释放机制第84-89 页
    · 表面形貌和应力分布第84-86 页
    · 剖面应力演化分布的精确测量第86-88 页
    · 应力场释放机制第88-89 页
  · 位错集体有序行为及纵向应力场转变第89-94 页
    · 侧向外延区位错的有序拐弯第89-91 页
    · 位错半环集体攀移及纵向应力场第91-93 页
    · 纵向应力场与光谱蓝移第93-94 页
  · 带边发光增强效应第94-101 页
    · 侧向区的高亮紫外发光第94-96 页
    · 纵向应力场的带边发光增强效应第96-99 页
    · 横向位错阵列的极化场碎断效应第99-101 页
  · 结论第101-104 页
第六章 GaN/AlGaN/GaN 异质界面的压电极化效应第104-122 页
  · 引言第104-105 页
  · III 族氮化物异质结构的压电极化效应第105-110 页
    · III 族氮化物的压电极化第105-107 页
    · AlGaN/GaN 异质结的压电极化第107-109 页
    · 压电极化的光学和电学效应第109-110 页
  · GaN/AlGaN/GaN 异质界面极化场的表征第110-116 页
    · 界面层的组分扩散深度第110-112 页
    · 界面的极化电荷薄层第112-114 页
    · 极化电场分布第114-115 页
    · 缓变界面的能带弯曲第115-116 页
  · GaN/AlGaN 的能带结构计算第116-119 页
    · GaN/AlGaN/GaN 异质结层晶的能带弯曲第117-118 页
    · AlGaN/GaN/AlGaN 量子阱的能带弯曲第118-119 页
  · 结论第119-122 页
第七章 应力控制下 AlGaN 体系异质界面的结构相变第122-138 页
  · 引言第122-123 页
  · AlGaN/GaN 应变异质界面的结构相变第123-132 页
    · 异质界面模型与结构转变能第123-124 页
    · AlGaN 薄膜相变的临界厚度第124-127 页
    · 次近邻键相互作用和Al-N 键共价化效应第127-128 页
    · 相变势垒第128-129 页
    · 相变对AlGaN/GaN 压电极化场的影响第129-130 页
    · AlGaN/GaN 样品异质界面相变的观测第130-132 页
  · AlGaN/AlN 应变异质界面的结构相变第132-135 页
    · AlGaN 异质界面层的结构转变第133-134 页
    · 相变结构稳定的应力范围第134-135 页
  · 结论第135-138 页
第八章 总结与展望第138-142 页
参考文献第142-167 页
  第一章第142-143 页
  第二章第143-148 页
  第三章第148-152 页
  第四章第152-156 页
  第五章第156-159 页
  第六章第159-163 页
  第七章第163-167 页
附录 博士期间发表的论文及成果第167-169 页
致谢第169页

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