飞秒激光氮重掺硅材料的性质及其应用

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飞秒激光氮重掺硅材料的性质及其应用

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飞秒激光氮重掺硅材料的性质及其应用

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-14页
第一章绪论	第14-28页
· 脉冲激光重掺杂技术	第14-15页
· 脉冲激光与硅材料的相互作用过程	第15-18页
· 纳秒激光与硅片的相互作用	第16页
· 皮秒激光与硅片的相互作用	第16-17页
· 飞秒激光与硅片的相互作用	第17-18页
· 飞秒激光重掺杂硅的性质及应用	第18-21页
· 氮重掺硅材料	第21-23页
参考文献	第23-28页
第二章激光重掺杂材料的制备与测量	第28-36页
· 引言	第28页
· 样品的准备	第28-29页
· 飞秒激光掺杂系统	第29-31页
· 飞秒激光系统	第29页
· 掺杂系统	第29-31页
· 飞秒激光氮重掺材料制备流程	第31-32页
· 样品的测量装置	第32-35页
· 样品的微结构测量	第32页
· 样品的光学性质测量	第32-35页
参考文献	第35-36页
第三章氮重掺硅材料的结构特性研究	第36-58页
· 引言	第36-37页
· 三氟化氮气体环境下制备得到的氮重掺硅材料	第37-49页
· 微观形貌研究	第37-40页
· 氮原子的掺杂浓度及分布情况	第40-43页
· 材料表面的结构特征研究	第43-48页
· 氮在掺杂层中的原子结构研究	第48-49页
· 氮气环境下制备得到的氮重掺硅材料	第49-53页
· 微观形貌研究	第49-50页
· 氮原子的掺杂浓度及分布情况	第50-52页
· 材料表面的结构特征研究	第52-53页
· 氮在掺杂层中的原子结构研究	第53页
· 小结	第53-55页
参考文献	第55-58页
第四章氮重掺硅材料的光学特性研究	第58-82页
· 引言	第58-59页
· 三氟化氮气体中氮重掺硅材料的光学特性	第59-69页
· 可见-近红外波段的光学特性	第59-64页
· 中红外波段的光学特性	第64-69页
· 氮气环境中氮重掺硅材料的光学特性	第69-77页
· 可见-近红外波段的光学特性	第69-74页
· 中红外波段的光学特性	第74-77页
· 小结	第77-79页
参考文献	第79-82页
第五章光电器件应用方面的初步探索	第82-99页
· 引言	第82页
· 光电器件应用的可行性分析	第82-85页
· 原型器件的制备	第85-89页
· 样品的选择	第85-87页
· 制备流程	第87-89页
· 电学方面的测试	第89-96页
· Ⅰ-Ⅴ测试	第89-94页
· 光谱响应测试	第94-96页
· 小结	第96-98页
参考文献	第98-99页
第六章结论和展望	第99-102页
· 论文工作总结	第99-100页
· 以后进一步研究的工作	第100-102页
攻读博士期间发表的论文	第102-103页
致谢	第103-105页

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