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基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法

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基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-9 页
1 概论第9-26 页
  · 表面形貌及其意义第9-10 页
  · 表面测量技术发展概况第10-23 页
  · 本文的主要研究内容及创新第23-25 页
  · 课题来源第25-26 页
2 微恒力位移传感器的研制第26-49 页
  · 电感传感器存在的问题第26-28 页
  · 微恒力位移传感器的整体设计第28-33 页
  · 传感器的力控制机构第33-37 页
  · 测量力的控制第37-45 页
  · 微恒力传感器的动态特性及其测试与控制第45-48 页
  · 本章小结第48-49 页
3 基于微恒力位移传感器的轮廓测量系统第49-73 页
  · 轮廓测量系统的整体设计第49-50 页
  · LSPM 系统硬件结构设计第50-59 页
  · 软件设计第59-61 页
  · 系统误差分析与精度验证及应用第61-71 页
  · 本章小结第71-73 页
4 表面形貌的 Motif 评定方法第73-93 页
  · 表面形貌的二维Motif评定第73-84 页
  · 表面形貌的三维Motif评定第84-92 页
  · 本章总结第92-93 页
5 全文总结及展望第93-96 页
  · 全文总结第93-94 页
  · 展望及今后工作的建议第94-96 页
致谢第96-97 页
参考文献第97-104 页
附录一 攻读博士学位期间发表的论文与取得的科研成果第104-105 页
附录二 国家发明专利材料第105-109 页
附录三 基于微恒力传感器的表面形貌测量系统照片第109-111 页
附录四 测量实例和Motif评定结果第111-112 页

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