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基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法
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基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-9 页
1 概论
第9-26 页
· 表面形貌及其意义
第9-10 页
· 表面测量技术发展概况
第10-23 页
· 本文的主要研究内容及创新
第23-25 页
· 课题来源
第25-26 页
2 微恒力位移传感器的研制
第26-49 页
· 电感传感器存在的问题
第26-28 页
· 微恒力位移传感器的整体设计
第28-33 页
· 传感器的力控制机构
第33-37 页
· 测量力的控制
第37-45 页
· 微恒力传感器的动态特性及其测试与控制
第45-48 页
· 本章小结
第48-49 页
3 基于微恒力位移传感器的轮廓测量系统
第49-73 页
· 轮廓测量系统的整体设计
第49-50 页
· LSPM 系统硬件结构设计
第50-59 页
· 软件设计
第59-61 页
· 系统误差分析与精度验证及应用
第61-71 页
· 本章小结
第71-73 页
4 表面形貌的 Motif 评定方法
第73-93 页
· 表面形貌的二维Motif评定
第73-84 页
· 表面形貌的三维Motif评定
第84-92 页
· 本章总结
第92-93 页
5 全文总结及展望
第93-96 页
· 全文总结
第93-94 页
· 展望及今后工作的建议
第94-96 页
致谢
第96-97 页
参考文献
第97-104 页
附录一 攻读博士学位期间发表的论文与取得的科研成果
第104-105 页
附录二 国家发明专利材料
第105-109 页
附录三 基于微恒力传感器的表面形貌测量系统照片
第109-111 页
附录四 测量实例和Motif评定结果
第111-112 页
本篇论文共
112
页,
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