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蓝宝石衬底的双面行星磨削加工机理研究
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蓝宝石衬底的双面行星磨削加工机理研究
论文目录
摘要
第1-7页
abstract
第7-8页
第1章 绪论
第13-29页
1.1 研究背景及意义
第13-14页
1.2 蓝宝石的材料特性
第14-15页
1.3 蓝宝石衬底研磨技术的研究现状
第15-24页
1.3.1 固结磨料研磨研究
第16-18页
1.3.2 双面研磨的表面均匀性研究
第18-19页
1.3.3 研磨的材料去除机理研究
第19-21页
1.3.4 脆性材料加工损伤研究
第21-23页
1.3.5 材料各向异性对磨削特性影响的研究
第23-24页
1.4 存在问题、研究思路和主要研究内容
第24-29页
1.4.1 存在问题
第24-25页
1.4.2 研究思路
第25-26页
1.4.3 论文组成部分及主要研究内容
第26-29页
第2章 实验内容与实验条件
第29-41页
2.1 双面行星磨削机床简介
第29-31页
2.1.1 机床结构及组成
第29页
2.1.2 金刚石磨盘
第29-31页
2.2 磨削质量的评价指标
第31-34页
2.2.1 表面粗糙度
第31-32页
2.2.2 面型精度
第32页
2.2.3 表面形貌
第32-33页
2.2.4 表面凹坑深度
第33页
2.2.5 材料去除率
第33-34页
2.3 磨削均匀性模拟实验验证
第34-35页
2.3.1 磨削验证实验设计
第34-35页
2.3.2 实验与模拟的对照参数获取
第35页
2.4 双面行星磨削工艺评价
第35-36页
2.4.1 磨盘磨损实验
第35页
2.4.2 磨削参数影响的实验设计
第35-36页
2.5 蓝宝石各向异性对磨削特性影响
第36-37页
2.5.1 各向异性磨削实验设计
第36-37页
2.5.2 磨屑的检测与分析方法
第37页
2.6 亚表层损伤检测方法
第37-41页
2.6.1 聚焦离子束法
第38页
2.6.2 截面显微法
第38-39页
2.6.3 逐层抛光法
第39-41页
第3章 基于磨粒轨迹仿真的表面均匀性控制模型
第41-63页
3.1 单颗磨粒磨粒轨迹仿真
第41-49页
3.1.1 运动学分析
第41-42页
3.1.2 衬底表面的磨粒轨迹模型
第42-45页
3.1.3 系统周期的确定
第45-46页
3.1.4 轨迹仿真实现
第46页
3.1.5 加工时间对磨粒轨迹的影响
第46-48页
3.1.6 磨粒位置对磨粒轨迹的影响
第48-49页
3.2 多颗磨粒的磨粒轨迹仿真
第49-52页
3.2.1 衬底上下表面的磨粒轨迹
第49页
3.2.2 磨粒轨迹分布均匀性评价方式
第49-51页
3.2.3 磨粒轨迹仿真实现
第51-52页
3.3 表面均匀性的影响因素分析
第52-57页
3.3.1 加工时间对磨削均匀性的影响
第52-53页
3.3.2 磨盘转速对磨削均匀性的影响
第53-55页
3.3.3 衬底位置对磨削均匀性的影响
第55-57页
3.4 多颗磨粒磨削均匀性模拟实验验证结果
第57-61页
3.4.1 表面粗糙度
第58-60页
3.4.2 厚度偏差
第60-61页
3.5 本章小结
第61-63页
第4章 基于轨迹长度的材料去除率模型
第63-85页
4.1 模型建立思路
第63页
4.2 单位面积有效磨粒数
第63-69页
4.2.1 单位面积磨粒总数估算
第64页
4.2.2 单位面积有效磨粒数估算算法
第64-66页
4.2.3 单位面积的有效磨粒数
第66-69页
4.3 衬底有效承压面积
第69-70页
4.4 单颗磨粒理论承受压力
第70页
4.5 单颗磨粒压入深度
第70-71页
4.6 基于轨迹长度的材料去除率
第71-78页
4.6.1 单颗磨粒在衬底上的轨迹长度
第72-73页
4.6.2 多颗磨粒在衬底上的轨迹总长度
第73-75页
4.6.3 轨迹总长度
第71-76页
4.6.4 沟槽重复率
第76-78页
4.7 模拟和实验结果对比
第78-80页
4.8 模拟结果分析
第80-82页
4.8.1 衬底上下表面差异
第80-81页
4.8.2 加工参数的影响
第81-82页
4.9 本章小结
第82-85页
第5章 双面行星磨削加工过程研究
第85-117页
5.1 双面行星磨削加工过程
第85-89页
5.1.1 弯曲度和翘曲度变化过程
第85-87页
5.1.2 厚度偏差和表面粗糙度变化过程
第87-89页
5.2 磨削参数对加工效果的影响
第89-100页
5.2.1 磨削压力的影响
第89-94页
5.2.2 磨盘转速的影响
第94-97页
5.2.3 磨盘状态的影响
第97-100页
5.3 两种加工方式的材料去除机理
第100-104页
5.3.1 研磨效果对比
第100-103页
5.3.2 材料去除机理
第103-104页
5.4 两种加工方式的裂纹形成机制
第104-114页
5.4.1 表面轮廓及亚表层损伤
第105-110页
5.4.2 三种检测方法下的亚表层损伤差异
第110-112页
5.4.3 亚表层裂纹形成机制
第112-114页
5.5 本章小结
第114-117页
第6章 蓝宝石各向异性对磨削特性影响
第117-137页
6.1 四个晶面的磨削性能差异
第117-131页
6.1.1 材料去除率
第117-119页
6.1.2 表面粗糙度
第119-121页
6.1.3 表面形貌
第121-125页
6.1.4 表面凹坑深度
第125-128页
6.1.5 磨屑形态及尺寸
第128-131页
6.2 四个晶面的材料去除机理
第131-135页
6.2.1 材料特性对材料去除难易程度的影响
第131-133页
6.2.2 材料特性对材料去除方式的影响
第133-135页
6.3 本章小结
第135-137页
第7章 结论与展望
第137-139页
7.1 结论
第137-138页
7.2 展望
第138-139页
参考文献
第139-149页
致谢
第149-151页
个人简历、在校期间发表的学术论文和研究成果
第151页
本篇论文共
151
页,
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。
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