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微机电系统中的声学推进器和探测器

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微机电系统中的声学推进器和探测器
论文目录
 
摘要第1-8页
Abstract第8-12页
第一章 绪论第12-21页
  · 微机电系统的定义及发展概况第12-14页
  · 微机电系统的特点与分类第14-18页
    · 微机电系统的主要特点第14页
    · 微机电系统的工艺及分类第14-18页
  · 微机电系统的主要应用范围及趋势第18-19页
  · 本文结构及内容第19-20页
  · 本章参考文献第20-21页
第二章 MEMS水下方向可控的微型自聚焦压电推进器的设计与制作第21-45页
  · MEMS推进器第21-22页
  · 自聚焦压电声学推进器的工作原理第22-36页
    · 压电效应和压电材料第22-25页
    · 压电声学推进器的工作原理第25-29页
    · 自聚焦效应第29-34页
    · 模拟与仿真第34-36页
  · 水下自聚焦方向可控声学驱动器的制作和测试第36-42页
    · 水下驱动器的制作流程第36-38页
    · 测试方法与结果讨论第38-42页
  · 本章小结第42页
  · 本章参考文献第42-45页
第三章 MEMS薄膜体声学谐振器工作原理第45-60页
  · 压电驱动声波谐振器第45-46页
  · 薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Wave Resonator,FBAR)第46-53页
    · FBAR的背景知识第46-50页
    · FBAR的几种结构以及FABR压电材料的选择第50-52页
    · FBAR的应用第52-53页
  · FBAR探测器的背景知识第53-57页
  · 本章小结第57-58页
  · 本章参考文献第58-60页
第四章 基于薄膜体声学谐振器的红外线探测器的设计与制作第60-78页
  · 红外线探测器的背景知识以及历史发展第60-62页
    · 红外线的发现第60-61页
    · 红外线的用途第61-62页
  · 红外探测传感器第62-68页
    · 红外线探测器的历史发展和分类第62-65页
    · 表征红外探测器的基本参数第65-67页
    · MEMS领域红外探测器的研究现状第67-68页
  · 基于薄膜体声学振荡器的红外线探测器的原理、设计、制作及测试第68-75页
    · FBAR红外探测器原理简述第68-70页
    · FBAR红外探测器的制作流拌第70-72页
    · FBAR红外探测器的检测及结果讨论第72-75页
  · 本章小结第75-76页
  · 本章参考文献第76-78页
第五章 基于薄膜体声学谐振器的臭氧探测器第78-93页
  · 臭氧的发现及臭氧探测器的历史发展第78-81页
  · FBAR臭氧探测器的组装过程和实验条件第81-85页
  · 实验结果与讨论第85-90页
  · 本章小结第90页
  · 本章参考文献第90-93页
第六章 成果与展望第93-95页
  · 论文的主要内容第93-94页
  · 论文的创新点第94页
  · 论文的不足之处和将来的工作第94-95页
作者攻博期间发表的主要学术论文第95-98页
致谢第98页

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