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区域表面结构非接触测量与特征评定方法研究
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区域表面结构非接触测量与特征评定方法研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
1 绪论
第9-23页
· 课题研究的意义
第9-10页
· 区域表面结构测量方法分析
第10-16页
· 区域表面结构评定方法分析
第16-21页
· 本文的主要研究工作、创新及课题来源
第21-23页
2 区域表面结构测量与评定的基本概念
第23-32页
· 几何特征的基本概念
第23-24页
· 表面结构的特征表征
第24-28页
· 特征表征的命名参数
第28页
· 区域表面结构非接触测量方法
第28-31页
· 本章小结
第31-32页
3 区域表面结构非接触测量方法的研究
第32-81页
· 复合光学显微系统
第32-34页
· 区域表面结构非接触测量原理
第34-40页
· 二维光学显微图像测量影响因素分析
第40-57页
· 三维光学显微干涉测量影响因素分析
第57-73页
· 基于精密定位的子孔径无缝拼接测量
第73-80页
· 本章小结
第80-81页
4 区域表面结构非接触测量系统的研制
第81-93页
· 测量系统的总体设计
第81-84页
· 光学成像与图像采集系统
第84-86页
· 三维精密位移系统
第86-91页
· 计算机处理系统
第91-92页
· 本章小结
第92-93页
5 三维精密位移系统的设计与分析
第93-115页
· 三维精密位移系统结构设计
第93-96页
· 压电陶瓷微位移器
第96-99页
· 计量系统原理与实验测试
第99-104页
· 精密位移系统特性分析与性能测试
第104-110页
· 位移系统的定位方法与定位策略
第110-113页
· 本章小结
第113-115页
6 表面结构特征的Motif评定
第115-132页
· 表面结构特征分析的作用
第115-116页
· 表面结构的Motif评定方法
第116-118页
· 表面结构的描述与分割
第118-124页
· 表面结构分割区域的合并
第124-128页
· 3D-Motif评定方法扩展
第128-131页
· 本章小结
第131-132页
7 实验与应用
第132-138页
· 二维图像测量检定
第132-133页
· 三维图像测量检定
第133-135页
· 应用
第135-137页
· 本章小结
第137-138页
8 总结与展望
第138-140页
· 全文总结
第138页
· 展望及今后工作的建议
第138-140页
致谢
第140-141页
参考文献
第141-150页
附录1 攻读博士学位期间科研成果目录
第150-151页
附录2 网上检索EI收录发表文章
第151-152页
附录3 科技查新报告
第152-154 页
本篇论文共
154
页,
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