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深纳米CMOS技术寄生效应及其波动性的精准模型与参数提取研究
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深纳米CMOS技术寄生效应及其波动性的精准模型与参数提取研究
论文目录
 
摘要第1-9页
Abstract第9-15页
第一章 绪论第15-30页
　　· 研究背景第15-17页
　　· 发展动态分析第17-22页
　　　　· 国际研究现状第17-21页
　　　　· 国内研究现状第21-22页
　　· 论文的选题与意义第22-24页
　　· 本文研究内容与结构第24页
　　本章参考文献第24-30页
第二章 深纳米CMOS工艺寄生效应及其波动性分析第30-52页
　　· MOS器件寄生效应分析第30-38页
　　　　· 栅围寄生电容第30-36页
　　　　· 栅围寄生电阻第36-38页
　　· 多层互连寄生效应分析第38-41页
　　　　· 互连线寄生电容第38-40页
　　　　· 互连线寄生电阻第40-41页
　　· 多层互连的工艺波动对寄生效应的影响第41-47页
　　　　· 铜互连工艺流程第41-42页
　　　　· 光刻工艺引入波动分析第42-43页
　　　　· 刻蚀工艺引入波动分析第43-44页
　　　　· 淀积工艺引入波动分析第44-45页
　　　　· CMP工艺引入波动分析第45-47页
　　· 工艺寄生效应模型建立方法分析第47-49页
　　本章小结第49页
　　本章参考文献第49-52页
第三章 MOSFET栅围寄生电容版图布局效应模型研究第52-64页
　　· 栅围寄生电容的建模分类与流程分析第52-54页
　　· 版图布局效应模型测试结构设计第54-57页
　　　　· Gate-poly测试结构第54-56页
　　　　· Field-poly去嵌结构第56-57页
　　· C_f的版图布局效应模型建立第57-62页
　　　　· 电学数据分析第57-59页
　　　　· 模型提取与验证第59-62页
　　本章小结第62-63页
　　本章参考文献第63-64页
第四章 栅电阻非线性效应模型研究第64-77页
　　· 棚电阻的建模方法与流程分析第64-66页
　　· 多晶硅栅电阻测试结构设计第66-67页
　　· 多晶硅栅非线性效应建模第67-74页
　　　　· 温度与偏压特性建模第67-72页
　　　　· 栅电阻的寄生电容提取第72-74页
　　本章小结第74-75页
　　本章参考文献第75-77页
第五章 多层互连寄生效应测试结构设计与参数提取第77-103页
　　· 多层互连寄生效应影响及建模流程分析第77-79页
　　· CBCM测试技术第79-85页
　　　　· 传统CBCM结构第79-81页
　　　　· CIEF CBCM结构第81-82页
　　　　· CIEF CBCM驱动电路设计第82-85页
　　· 互连线寄生参数测试结构设计第85-92页
　　　　· 互连线寄生电容测试结构第86-90页
　　　　· 互连线寄生电阻测试结构第90-92页
　　· 测试结构的寄生参数提取第92-101页
　　　　· 寄生参数的提取流程第92-96页
　　　　· 基础典型ITF文件分析第96-99页
　　　　· 基础典型ITF文件提取的寄生参数分析第99-101页
　　本章小结第101页
　　本章参考文献第101-103页
第六章 与互连工艺波动相关的ITF文件建立第103-124页
　　· 互连寄生效应局部工艺波动分析第103-108页
　　· 典型ITF文件的完善第108-117页
　　　　· 互连工艺波动模块分析第108-111页
　　　　· 局部工艺波动相关的典型ITF文件建立第111-117页
　　· 互连寄生效应全局工艺波动分析第117-121页
　　· 角ITF文件的完善第121-123页
　　本章小结第123页
　　本章参考文献第123-124页
第七章 总结与展望第124-127页
　　· 总结第124-125页
　　· 展望第125-127页
附录 缩略词及专业词汇描述第127-129页
攻读学位期间发表论文、专利及参与项目情况第129-131页
致谢第131页

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