微机电系统中磁控溅射Ti-Ni合金薄膜的基础研究

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微机电系统中磁控溅射Ti-Ni合金薄膜的基础研究

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微机电系统中磁控溅射Ti-Ni合金薄膜的基础研究

论文目录
摘要	第1-10 页
ABSTRACT	第10-13 页
第一章绪论	第13-42 页
· 引言	第13 页
· 微机电系统中Ti-Ni合金薄膜的应用概况	第13-19 页
· 微机电系统的特点和发展概况	第13-15 页
· Ti-Ni合金薄膜在微机电系统中的应用	第15-19 页
· Ti-Ni合金薄膜的制备技术	第19-22 页
· 靶材	第19-20 页
· Ar气气压	第20-21 页
· 基底	第21 页
· 阴阳电极间距离	第21-22 页
· 表面处理工序	第22 页
· 热处理	第22 页
· Ti-Ni合金薄膜的晶化行为	第22-24 页
· Ti-Ni合金薄膜的相变特征	第24-26 页
· 相变温度	第24-26 页
· R相变	第26 页
· Ti-Ni合金薄膜的性能表征	第26-34 页
· 形状记忆效应和伪弹性	第27-29 页
· 延伸率和屈服强度	第29-30 页
· 显微硬度和弹性模量	第30-32 页
· 加工性能	第32 页
· 防腐耐磨性能	第32-33 页
· 表面形貌和膜基结合强度	第33-34 页
· 本论文选题背景和研究内容	第34-36 页
参考文献	第36-42 页
第二章 Ti-Ni合金薄膜的制备及检测方法	第42-50 页
· 引言	第42 页
· 制备工艺	第42-44 页
· 靶材熔炼	第42 页
· 基底准备	第42-43 页
· 薄膜溅射	第43 页
· 热处理	第43-44 页
· 检测方法	第44-46 页
· 厚度测量	第44 页
· 成分分析	第44-45 页
· 形貌观察	第45 页
· 结构分析	第45-46 页
· 性能表征	第46 页
· 磁控溅射Ti-Ni合金薄膜的成分调节	第46-48 页
· 本章小结	第48 页
参考文献	第48-50 页
第三章非晶态Ti-Ni合金薄膜的晶化行为	第50-65 页
· 引言	第50-51 页
· 实验方法	第51 页
· Ti-Ni合金薄膜的非等温晶化行为	第51-55 页
· 近等原子比Ti-Ni合金薄膜的等温晶化行为	第55-62 页
· 原位X射线衍射分析	第55-58 页
· 等温晶化动力学	第58-62 页
· 本章小结	第62-63 页
参考文献	第63-65 页
第四章热处理对Ti-Ni合金薄膜结构及相变行为的影响	第65-90 页
· 引言	第65 页
· 试验方法	第65 页
· 热处理对Ti-Ni合金薄膜结构的影响	第65-72 页
· 热处理过程中Ti-Ni合金薄膜结构的演变	第66-68 页
· 热处理过程中Ni_4Ti_3 相的析出行为	第68-72 页
· 热处理对Ti-Ni合金薄膜相变行为的影响	第72-87 页
· 热处理温度对Ti-Ni合金薄膜相变特征温度的影响	第72-78 页
· Ti-Ni合金薄膜的R相变分析	第78-87 页
· 本章小结	第87 页
参考文献	第87-90 页
第五章 Ti-Ni合金薄膜的表面形貌及膜基结合强度	第90-108 页
· 引言	第90 页
· 试验方法	第90-91 页
· Ti-Ni合金薄膜表面粗糙度的测定	第91-96 页
· 晶化过程中Ti-Ni合金薄膜表面形貌的演变机理	第96-101 页
· Ti-Ni合金薄膜不同相的表面形貌	第101-103 页
· Ti-Ni合金薄膜与Si(100)基底的界面结合强度	第103-105 页
· 本章小结	第105-106 页
参考文献	第106-108 页
第六章 Ti-Ni合金薄膜的纳米压入行为	第108-128 页
· 引言	第108 页
· 试验方法	第108-109 页
· Ti-Ni合金薄膜纳米压入行为的分析	第109-112 页
· Ti-Ni合金薄膜的纳米力学性能测定方法	第109-111 页
· Ti-Ni合金薄膜的纳米伪弹性分析方法	第111-112 页
· Ti-Ni合金薄膜不同相的纳米力学性能	第112-123 页
· Ti-Ni合金薄膜不同相的纳米伪弹性	第123-125 页
· 本章小结	第125-126 页
参考文献	第126-128 页
第七章 Ti-Ni合金薄膜的高温氧化行为	第128-138 页
· 引言	第128 页
· 实验方法	第128-129 页
· Ti-Ni合金薄膜的等温氧化动力学	第129-130 页
· Ti-Ni合金薄膜的氧化膜结构分析	第130-134 页
· 氧化Ti-Ni合金薄膜的表面形貌考察	第134-136 页
· 本章小结	第136-137 页
参考文献	第137-138 页
第八章主要结论及创新点	第138-141 页
· 主要结论	第138-139 页
· 创新点	第139-141 页
致谢	第141-142 页
攻读博士学位期间发表的学术论文	第142 页

本篇论文共142页，点击这进入下载页面。

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