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扫描电子显微镜中二次电子成像机制和分辨率的Monte Carlo模拟

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扫描电子显微镜中二次电子成像机制和分辨率的Monte Carlo模拟
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第一章 绪论第12-30页
  · 扫描电子显微镜简介第12-14页
    · 扫描电子显微镜的原理第12-14页
    · 扫描电子显微镜的发展和应用第14页
  · 电子与固体相互作用第14-18页
    · 电子非相干散射的Monte Carlo模拟方法第15-16页
    · 电子相干散射的量子力学方法第16-18页
  · 二次电子成像第18-30页
    · 二次电子产生机制的研究第18-21页
    · 二次电子图像分辨率和锐度研究第21-23页
    · 原子级分辨二次电子像第23-26页
    · 入射电子束形状对二次电子成像质量的影响第26-30页
第二章 电子散射的Monte Carlo模拟方法第30-50页
  · 经典Monte Carlo模型第30-41页
    · 电子非相干散射理论第30-35页
    · 经典Monte Carlo模型的建立第35-38页
    · 样品三维复杂结构的构建第38-41页
  · 量子Monte Carlo模型第41-50页
    · 玻姆力学的发展第41-42页
    · 玻姆力学的理论基础第42-44页
    · 玻姆力学的应用第44-50页
第三章 原子级分辨二次电子像的量子Monte Carlo模拟第50-70页
  · 背景介绍第50-52页
  · 量子Monte Carlo方法第52-57页
    · 玻姆量子轨迹理论第52-53页
    · 内壳层激发的类氢原子模型第53-55页
    · 沿量子轨迹激发电子的抽样第55-56页
    · 级联过程的传统Monte Carlo抽样第56-57页
  · 结果和讨论第57-67页
    · 玻姆量子轨迹第57-60页
    · 二次电子的产生和出射第60-62页
    · 原子级分辨二次电子成像模拟第62-67页
  · 本章小结第67-70页
第四章 评价二次电子图像锐度测量方法的Monte Carlo模拟第70-84页
  · 背景介绍第70-72页
  · 理论模型第72-73页
  · 二次电子图像锐度测量方法第73页
  · 结果和讨论第73-83页
  · 本章小结第83-84页
第五章 入射电子束形状对二次电子成像影响的模拟第84-98页
  · 电子光学系统第84-86页
  · 几何光学第86-90页
  · 波动光学第90-96页
  · 本章小结第96-98页
第六章 介电函数对二次电子产额和能谱影响的模拟第98-108页
  · 背景介绍第98-99页
  · MELF-GOS模型第99页
  · 结果与讨论第99-106页
  · 本章小结第106-108页
第七章 总结第108-112页
参考文献第112-126页
致谢第126-130页
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果第130-131页

本篇论文共131页,点击这进入下载页面
 
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