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软X射线全息平焦场光栅的研制

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软X射线全息平焦场光栅的研制

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-9页
目录	第9-12页
第一章绪论	第12-24页
· 引言	第12页
· 软x射线平焦场光栅谱仪	第12-19页
· 软x射线平焦场光栅谱仪的国内外应用现状	第13-17页
· 平场光谱仪的像散矫正	第17页
· 平场光谱仪的标定	第17-18页
· 平场光谱仪的超分辨率重构技术	第18-19页
· 软x射线平焦场光栅的发展现状	第19-21页
· 选题意义与内容安排	第21-24页
第二章软x射线平焦场光栅的优化设计	第24-44页
· 引言	第24页
· 软x射线平焦场光栅的优化设计理论	第24-30页
· 凹面消像差光栅的像差理论	第24-26页
· 曝光光路设计	第26-28页
· 光线追迹	第28-30页
· 应用于0.8-6 nm的软×射线平焦场光栅设计	第30-43页
· 线密度优化	第31-37页
· 制作光路优化	第37-41页
· 光栅槽型结构设计	第41-43页
· 本章小结	第43-44页
第三章软x射线平场光谱仪的光谱分辨率研究	第44-64页
· 引言	第44页
· 光谱分辨率的表征方式	第44-49页
· 分区光栅	第49-55页
· 软x射线平焦场光栅成像特性	第49-51页
· 考虑光栅衍射效率的光线追迹模型	第51-52页
· 分区光栅的设计	第52-55页
· 软x射线平焦场光栅的条纹弯曲及其光谱成像弯曲	第55-61页
· 软x射线平焦场光栅的条纹弯曲现象	第55-57页
· 条纹弯曲对光谱分辨率的影响	第57-58页
· 光栅条纹弯曲的调整及其对光谱分辨率的改善	第58-61页
· 利用柱面反射镜制作的分区光栅	第61-62页
· 本章小结	第62-64页
第四章全息平焦场光栅的制作	第64-94页
· 引言	第64页
· 曝光光路搭建误差分析	第64-70页
· 全息平焦场光栅的制作工艺	第70-82页
· 光栅条纹对比度调整	第71-75页
· 曝光中的调制	第75-77页
· 光刻胶掩模占宽比的调整	第77-78页
· 全息平焦场光栅的刻蚀	第78-82页
· 变间距光栅的线密度测量	第82-91页
· 基于位相片的变间距光栅线密度测量系统	第82-84页
· 线密度测量系统误差分析	第84-89页
· 软x射线全息平焦场光栅的线密度分布测量	第89-91页
· 采用的柱面反射镜的记录光路	第91-93页
· 本章小结	第93-94页
第五章近场全息曝光制作全息平焦场的相关问题研究	第94-106页
· 引言	第94页
· 近场全息制作变间距光栅	第94-101页
· 近场全息中的线密度转移	第95-97页
· 近场全息中线密度转移误差的修正	第97-98页
· 用于近场全息的变间距掩模版设计	第98-101页
· 电子束光刻制作光栅掩模的相关分析	第101-105页
· 本章小结	第105-106页
第六章总结与展望	第106-108页
· 论文的工作总结	第106-107页
· 论文的主要创新点	第107页
· 展望	第107-108页
参考文献	第108-116页
致谢	第116-117页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果	第117-118页

本篇论文共118页，点击这进入下载页面。

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