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微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究
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微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究
论文目录
摘要
第1-8 页
Abstract
第8-16 页
第1章 绪论
第16-50 页
· 微机电系统的重大意义
第16-22 页
· 论文背景及微机电系统概述
第16-17 页
· 微机电系统的特点及应用前景
第17-19 页
· 微机电系统的主要技术及材料
第19-22 页
· MEMS封装关键技术
第22-28 页
· MEMS封装的特点
第22-24 页
· MEMS封装的难易等级及分类
第24-25 页
· MEMS封装的环境因素
第25-27 页
· MEMS封装的基本功能
第27-28 页
· 键合技术
第28-35 页
· 键合技术的分类及原理
第29-31 页
· 阳极键合技术的发展
第31-35 页
· 阳极键合用微晶玻璃
第35-46 页
· 微晶玻璃的定义与分类
第36-40 页
· 微晶玻璃的发展历史及在材料科学中的作用
第40-42 页
· 微晶玻璃的制备工艺
第42-43 页
· 微晶玻璃的研究现状与应用前景
第43-46 页
· 研究内容及目的意义
第46-50 页
· 研究内容
第46-47 页
· 研究目标
第47 页
· 研究目的及意义
第47-48 页
· 技术路线
第48 页
· 实验工艺流程
第48-50 页
第2章 与金属材料键合用LAZS系微晶玻璃的研究
第50-76 页
· LAZS系微晶玻璃组成与其结构性能之间的关系
第50-56 页
· 基础玻璃成分设计及样品制备
第50-51 页
· 性能与结构测试
第51 页
· DTA分析
第51-52 页
· XRD衍射图谱分析
第52-53 页
· 热膨胀系数的结果分析
第53-55 页
· 抗折强度的测定
第55-56 页
· LAZS系微晶玻璃的热处理制度
第56-64 页
· 热处理温度对LAZS系微晶玻璃结构与性能的影响
第56-61 页
· 热处理时间对LAZS系微晶玻璃结构与性能的影响
第61-64 页
· 优选LAZS系微晶玻璃的组成、结构与性能关系
第64-74 页
· 基础玻璃的组成及制备
第64-65 页
· 热处理制度的确定及微晶玻璃的制备
第65-66 页
· 微晶玻璃结构性能的测试与分析
第66-74 页
· 本章小结
第74-76 页
第3章 与硅片键合用LAS系微晶玻璃的研究
第76-104 页
· LAS系微晶玻璃的结构与热膨胀性
第76-78 页
· LAS系微晶玻璃的结构
第76-77 页
· LAS系微晶玻璃的热膨胀性
第77-78 页
· LAS微晶玻璃的组成与析晶性能
第78-90 页
· LAS基础玻璃组成与制备
第78-80 页
· LAS基础玻璃的析晶动力学
第80-84 页
· 晶核剂对微晶玻璃析晶性能的影响
第84-88 页
· 组成对微晶玻璃热膨胀性能的影响
第88-90 页
· 优选LAS微晶玻璃的组成、结构与性能关系
第90-102 页
· 合适基础玻璃的组成与制备
第90-91 页
· 微晶玻璃的核化与晶化
第91-92 页
· 结构与性能测试分析
第92-96 页
· 热处理制度对LAS微晶玻璃电学性能的影响
第96-102 页
· 本章小结
第102-104 页
第4章 阳极键合影响因素及其结构性能的表征
第104-146 页
· 阳极键合实验装置
第104-106 页
· 自制阳极键合实验装置的设计
第104 页
· 真空环境阳极键合装置的配备
第104-105 页
· 基片材料表面和键合界面分析与测试装置
第105-106 页
· 阳极键合基片的表面处理与表面质量检测
第106-112 页
· 样品的切割与表面磨抛处理
第106-107 页
· 基片的清洗与干燥
第107-108 页
· 离子或等离子体刻蚀表面处理
第108 页
· 不同表面处理对阳极键合质量影响的比较
第108-109 页
· 原子力显微镜测试
第109-111 页
· 预键合
第111 页
· 键合前基片表面预处理的影响
第111-112 页
· 影响阳极键合质量的主要因素
第112-118 页
· 玻璃种类对阳极键合质量的影响
第112-115 页
· 硅基片准备工艺对阳极键合质量的影响
第115 页
· 阳极键合工艺参数对键合质t的影晌
第115-116 页
· 键合装置对键合质量的影响
第116-117 页
· 阳极键合技术的应用
第117-118 页
· 提高及评价键合强度的方法
第118-123 页
· 提高键合强度的方法
第118-119 页
· 键合强度评价方法
第119-123 页
· 键合基片界面处的微缺陷
第123-124 页
· 阳极键合界面微观结构及性能测试
第124-125 页
· 超景深显微镜观测
第124 页
· 键合强度测试
第124-125 页
· 气密性测试
第125 页
· 硅片/硼酸盐玻璃阳极键合对照实验
第125 页
· 不锈钢/微晶玻璃阳极键合的影响因素
第125-129 页
· 键合温度对阳极键合的影响
第126-128 页
· 键合电压对阳极键合的影响
第128 页
· 键合时间对阳极键合的影响
第128-129 页
· 硅片/微晶玻璃低温阳极键合研究与探索
第129-144 页
· 硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响
第130-134 页
· 键合工艺参数对键合质量的影响
第134-136 页
· 低温阳极键合的探索
第136-144 页
· 本章小结
第144-146 页
第5章 总结与展望
第146-150 页
· 结论
第146-147 页
· 键合存在问题及其改善方法
第147-149 页
· 选择合适的键合电压
第147-148 页
· 控制键合温度
第148 页
· 适当改变键合时所采用电极的形状
第148 页
· 改善键合样品表面的状态
第148-149 页
· 改善样品的键合环境
第149 页
· 后续工作
第149-150 页
参考文献
第150-159 页
致谢
第159-160 页
附录博士期间发表的部分论文及成果
第160-163 页
本篇论文共
163
页,
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。
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