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微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究

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微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究
论文目录
 
摘要第1-8 页
Abstract第8-16 页
第1章 绪论第16-50 页
  · 微机电系统的重大意义第16-22 页
    · 论文背景及微机电系统概述第16-17 页
    · 微机电系统的特点及应用前景第17-19 页
    · 微机电系统的主要技术及材料第19-22 页
  · MEMS封装关键技术第22-28 页
    · MEMS封装的特点第22-24 页
    · MEMS封装的难易等级及分类第24-25 页
    · MEMS封装的环境因素第25-27 页
    · MEMS封装的基本功能第27-28 页
  · 键合技术第28-35 页
    · 键合技术的分类及原理第29-31 页
    · 阳极键合技术的发展第31-35 页
  · 阳极键合用微晶玻璃第35-46 页
    · 微晶玻璃的定义与分类第36-40 页
    · 微晶玻璃的发展历史及在材料科学中的作用第40-42 页
    · 微晶玻璃的制备工艺第42-43 页
    · 微晶玻璃的研究现状与应用前景第43-46 页
  · 研究内容及目的意义第46-50 页
    · 研究内容第46-47 页
    · 研究目标第47 页
    · 研究目的及意义第47-48 页
    · 技术路线第48 页
    · 实验工艺流程第48-50 页
第2章 与金属材料键合用LAZS系微晶玻璃的研究第50-76 页
  · LAZS系微晶玻璃组成与其结构性能之间的关系第50-56 页
    · 基础玻璃成分设计及样品制备第50-51 页
    · 性能与结构测试第51 页
    · DTA分析第51-52 页
    · XRD衍射图谱分析第52-53 页
    · 热膨胀系数的结果分析第53-55 页
    · 抗折强度的测定第55-56 页
  · LAZS系微晶玻璃的热处理制度第56-64 页
    · 热处理温度对LAZS系微晶玻璃结构与性能的影响第56-61 页
    · 热处理时间对LAZS系微晶玻璃结构与性能的影响第61-64 页
  · 优选LAZS系微晶玻璃的组成、结构与性能关系第64-74 页
    · 基础玻璃的组成及制备第64-65 页
    · 热处理制度的确定及微晶玻璃的制备第65-66 页
    · 微晶玻璃结构性能的测试与分析第66-74 页
  · 本章小结第74-76 页
第3章 与硅片键合用LAS系微晶玻璃的研究第76-104 页
  · LAS系微晶玻璃的结构与热膨胀性第76-78 页
    · LAS系微晶玻璃的结构第76-77 页
    · LAS系微晶玻璃的热膨胀性第77-78 页
  · LAS微晶玻璃的组成与析晶性能第78-90 页
    · LAS基础玻璃组成与制备第78-80 页
    · LAS基础玻璃的析晶动力学第80-84 页
    · 晶核剂对微晶玻璃析晶性能的影响第84-88 页
    · 组成对微晶玻璃热膨胀性能的影响第88-90 页
  · 优选LAS微晶玻璃的组成、结构与性能关系第90-102 页
    · 合适基础玻璃的组成与制备第90-91 页
    · 微晶玻璃的核化与晶化第91-92 页
    · 结构与性能测试分析第92-96 页
    · 热处理制度对LAS微晶玻璃电学性能的影响第96-102 页
  · 本章小结第102-104 页
第4章 阳极键合影响因素及其结构性能的表征第104-146 页
  · 阳极键合实验装置第104-106 页
    · 自制阳极键合实验装置的设计第104 页
    · 真空环境阳极键合装置的配备第104-105 页
    · 基片材料表面和键合界面分析与测试装置第105-106 页
  · 阳极键合基片的表面处理与表面质量检测第106-112 页
    · 样品的切割与表面磨抛处理第106-107 页
    · 基片的清洗与干燥第107-108 页
    · 离子或等离子体刻蚀表面处理第108 页
    · 不同表面处理对阳极键合质量影响的比较第108-109 页
    · 原子力显微镜测试第109-111 页
    · 预键合第111 页
    · 键合前基片表面预处理的影响第111-112 页
  · 影响阳极键合质量的主要因素第112-118 页
    · 玻璃种类对阳极键合质量的影响第112-115 页
    · 硅基片准备工艺对阳极键合质量的影响第115 页
    · 阳极键合工艺参数对键合质t的影晌第115-116 页
    · 键合装置对键合质量的影响第116-117 页
    · 阳极键合技术的应用第117-118 页
  · 提高及评价键合强度的方法第118-123 页
    · 提高键合强度的方法第118-119 页
    · 键合强度评价方法第119-123 页
  · 键合基片界面处的微缺陷第123-124 页
  · 阳极键合界面微观结构及性能测试第124-125 页
    · 超景深显微镜观测第124 页
    · 键合强度测试第124-125 页
    · 气密性测试第125 页
  · 硅片/硼酸盐玻璃阳极键合对照实验第125 页
  · 不锈钢/微晶玻璃阳极键合的影响因素第125-129 页
    · 键合温度对阳极键合的影响第126-128 页
    · 键合电压对阳极键合的影响第128 页
    · 键合时间对阳极键合的影响第128-129 页
  · 硅片/微晶玻璃低温阳极键合研究与探索第129-144 页
    · 硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响第130-134 页
    · 键合工艺参数对键合质量的影响第134-136 页
    · 低温阳极键合的探索第136-144 页
  · 本章小结第144-146 页
第5章 总结与展望第146-150 页
  · 结论第146-147 页
  · 键合存在问题及其改善方法第147-149 页
    · 选择合适的键合电压第147-148 页
    · 控制键合温度第148 页
    · 适当改变键合时所采用电极的形状第148 页
    · 改善键合样品表面的状态第148-149 页
    · 改善样品的键合环境第149 页
  · 后续工作第149-150 页
参考文献第150-159 页
致谢第159-160 页
附录博士期间发表的部分论文及成果第160-163 页

本篇论文共163页,点击这进入下载页面
 
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