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非晶InGaZnO薄膜晶体管的模型及特性研究

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非晶InGaZnO薄膜晶体管的模型及特性研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第11-22页
    1.1 研究背景第11-15页
    1.2 AOS TFTs模型研究现状第15-19页
    1.3 研究目的及意义第19-20页
    1.4 论文框架第20-21页
    1.5 本章小结第21-22页
第二章 a-IGZO TFTs的导电机理及二维模型第22-39页
    2.1 a-IGZO薄膜的电学特性第22-25页
        2.1.1 a-IGZO的电子能带结构第22-23页
        2.1.2 a-IGZO的带隙缺陷态和导电机理第23-25页
    2.2 a-IGZO TFTs的二维模型第25-30页
        2.2.1 器件结构及带隙缺陷态密度模型第26-28页
        2.2.2 结果与讨论第28-30页
    2.3 DG a-IGZO TFTs的二维模型第30-38页
        2.3.1 沟道层厚度对器件性能的影响第31-36页
        2.3.2 界面态对器件性能的影响第36-38页
    2.4 本章小结第38-39页
第三章 a-IGZO TFTs的亚阈值区低频噪声模型第39-52页
    3.1 经典低频噪声模型第39-40页
    3.2 亚阈值区低频噪声模型第40-44页
        3.2.1 电流噪声功率谱密度第40-44页
        3.2.2 亚阈值区漏极电流及跨导表达式第44页
    3.3 结果及讨论第44-51页
    3.4 本章小结第51-52页
第四章 包含温度效应的a-IGZO TFTs漏极电流模型第52-68页
    4.1 引言第52-54页
    4.2 a-IGZO载流子迁移率的温度特性第54-58页
        4.2.1 基于渗流导电机制的载流子迁移率第54-56页
        4.2.2 结果和讨论第56-58页
    4.3 包含温度效应的漏极电流第58-62页
    4.4 结果及讨论第62-66页
    4.5 本章小结第66-68页
第五章 同步对称DG a-IGZO TFTs的直流模型第68-79页
    5.1 引言第68页
    5.2 器件漏极电流模型第68-74页
        5.2.1 沟道电势计算第68-72页
        5.2.2 漏极电流模型第72-74页
    5.3 结果及讨论第74-78页
    5.4 本章小结第78-79页
第六章 非对称DG a-IGZO TFTs的直流模型第79-111页
    6.1 引言第79-80页
    6.2 沟道电势模型第80-87页
        6.2.1 沟道电势分布计算第80-83页
        6.2.2 结果及讨论第83-87页
    6.3 基于沟道电势的漏极电流表达式第87-92页
        6.3.1 漏极电流表达式的推导第87-90页
        6.3.2 结果及讨论第90-92页
    6.4 基于阈值电压定义的直流模型及参数提取第92-110页
        6.4.1 阈值电压定义及直流模型第93-97页
        6.4.2 参数提取和确定第97-103页
        6.4.3 结果与讨论第103-110页
    6.5 本章小结第110-111页
结论第111-113页
参考文献第113-131页
攻读博士学位期间取得的研究成果第131-132页
致谢第132-133页
附件第133页

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