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光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究

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光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究
论文目录
 
中文摘要第1-4 页
Abstract第4-10 页
第一章 绪论第10-27 页
  · 引言第10 页
  · 地震勘探仪器的发展背景第10-11 页
  · 地震检波器概况第11-13 页
    · 地震检波器的类型第11-12 页
    · 我国地震检波器研究进展第12 页
    · 新型地震检波器的发展动向第12-13 页
  · 光波导传感器第13-16 页
    · 光波导传感器的优点第13-14 页
    · 光波导传感器的分类第14 页
    · 光波导传感器的工作原理第14-15 页
    · 光波导加速度传感器第15-16 页
  · MEMS传感器第16-19 页
    · MEMS传感器概述第16-18 页
    · MEMS加速度传感器的分类与工作原理第18-19 页
  · MOEMS传感器第19-20 页
  · 国内外MEMS/MOEMS加速度传感器发展历史及研究现状第20-22 页
  · FPGA 的发展和应用第22-24 页
    · 概述第22-23 页
    · FPGA的分类第23 页
    · FPGA的设计实现第23-24 页
  · 本文主要研究工作第24-27 页
第二章 光电集成加速度地震检波器的工作原理及工艺研究第27-57 页
  · 引言第27 页
  · 干涉原理第27-28 页
  · 传感原理第28-31 页
    · 应力应变效应第28-30 页
    · 温度应变效应第30-31 页
  · 加速度地震检波器工作原理第31-43 页
    · 加速度地震检波器静动态分析第31-36 页
      · 简谐振子质量块第32-33 页
      · 简谐振子十字梁形变分析第33-35 页
      · 相位变化分析第35-36 页
    · 加速度地震检波器动态分析第36-39 页
    · 加速度计相位灵敏度第39-42 页
    · 加速度计量程第42-43 页
  · M-Z光波导干涉仪工作原理第43-48 页
    · 介质光波导第43-44 页
    · 有效折射率法第44-46 页
    · Y分支波导与波导转向镜第46-48 页
  · 简谐振子的工艺研究第48-51 页
    · 简谐振子制作工艺流程第48-49 页
    · 简谐振子的制作第49-50 页
      · 清洗第49 页
      · 热氧化SiO_2薄膜第49 页
      · 光刻第49-50 页
      · HF 酸腐蚀SiO_2 薄膜第50 页
      · 各向异性溶液腐蚀硅第50 页
    · 简谐振子的制作结果第50-51 页
  · 波导干涉仪的工艺研究第51-56 页
    · 波导干涉仪制作工艺流程第51-53 页
    · 分支波导的制作第53-54 页
    · 波导反射镜的制作第54 页
    · 波导干涉仪的制作结果第54-56 页
  · 小结第56-57 页
第三章 声光波导相位调制器的工作原理与实验研究第57-81 页
  · 引言第57 页
  · 声光效应调制原理第57-65 页
    · 弹性波的波方程第58-59 页
    · 声表面波(SAW)第59-61 页
    · 叉指换能器的工作原理第61-65 页
  · ZnO薄膜第65-66 页
  · 波导光的调制第66-67 页
  · 声光相位调制器的设计第67-70 页
  · 声光相位调制器的工艺研究第70-73 页
    · 声光相位调制器制作工艺流程第70-71 页
    · ZnO薄膜的制作第71-73 页
    · 叉指换能器的制作第73 页
  · 声光相位调制器的制作结果第73-80 页
    · ZnO薄膜的厚度第73 页
    · ZnO薄膜的结晶状态第73-75 页
    · ZnO薄膜的表面形貌第75-76 页
    · ZnO薄膜的择优取向性第76-78 页
      · 不同衬底温度的影响第76-77 页
      · 不同退火温度的影响第77-78 页
    · IDT 的性能测试第78-80 页
      · IDT 的微观结构第78-79 页
      · IDT 的厚度第79-80 页
  · 小结第80-81 页
第四章 半导体激光光源调制与信号处理系统的研究第81-102 页
  · 引言第81 页
  · 信号处理电路工作原理第81-86 页
    · 外差相位解调法第82 页
    · 零差相位解调法第82-86 页
      · 无源零差相位解调法第82-83 页
      · 有源零差相位解调法第83-85 页
      · 相位载波零差解调法第85-86 页
  · 激光光源调制与信号处理系统工作原理第86-90 页
  · 数字信号处理系统设计第90-101 页
    · 数字信号处理系统的结构第90-91 页
    · 通用模块的规范化设计第91-93 页
    · 滤波器模块LPF的设计第93-100 页
      · 基于MATLAB 的FIR 滤波器设计第95-96 页
      · 分布式算法介绍第96-99 页
      · DA算法的FPGA实现第99-100 页
    · 解调模块的综合结果第100-101 页
  · 小结第101-102 页
第五章 光电集成加速度地震检波器的实验研究第102-106 页
  · 引言第102 页
  · 信号处理电路的测试第102-103 页
  · 系统测试第103-105 页
  · 小结第105-106 页
第六章 总结与展望第106-108 页
  · 论文完成的主要工作第106-107 页
  · 工作中的主要创新点第107 页
  · 工作的下一步展望与计划第107-108 页
参考文献第108-118 页
发表论文和参加科研情况说明第118-120 页
致谢第120 页

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