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基于飞秒激光抽运—探测技术的纳米薄膜热输运特性研究
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基于飞秒激光抽运—探测技术的纳米薄膜热输运特性研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-8页
目录
第8-10页
第1章 引言
第10-37页
· 研究背景
第10-13页
· 微电子/光电子器件领域
第10-11页
· 热电材料领域
第11-12页
· 激光微加工领域
第12-13页
· 研究现状
第13-35页
· 金属薄膜瞬态非平衡传热问题的研究
第13-19页
· 薄膜材料热物性测量方法的研究
第19-26页
· 薄膜材料热物性的研究
第26-30页
· 界面热阻的研究
第30-35页
· 研究的主要内容
第35-37页
第2章 测量原理及热传导模型
第37-60页
· 测量原理
第37-38页
· 金属非平衡热输运的研究
第38-47页
· 抛物两步模型
第38-41页
· 反射率与温度关系
第41-43页
· Al膜非平衡过程傅里叶模型与抛物两步模型对比
第43-46页
· 参数敏感度分析
第46-47页
· 多层膜结构的热传导模型
第47-59页
· 频域响应的信号分析
第48-53页
· 柱坐标下傅里叶热传导模型
第53-56页
· 相位角的修正
第56-58页
· 敏感度分析方法
第58-59页
· 本章小结
第59-60页
第3章 飞秒激光抽运-探测系统
第60-82页
· 单波长抽运-探测实验系统的搭建
第60-66页
· 主要仪器
第62-66页
· 双波长实验台的搭建
第66-72页
· 主要设备与模块
第68-72页
· 系统的调试
第72-78页
· 激光波长的测量
第72-73页
· 光路调试
第73-77页
· 激光脉冲宽度的测量
第77-78页
· 影响实验信号的因素分析
第78-80页
· 本章小结
第80-82页
第4章 纳米金属薄膜热物性的测量
第82-99页
· 样品的制备
第82-85页
· 电子-声子耦合系数的测量
第85-93页
· Ni膜与Al膜实验结果
第86-89页
· Au膜的实验结果
第89-93页
· 纳米金属薄膜热导率的测量
第93-98页
· 本章小结
第98-99页
第5章 界面热阻的测量
第99-109页
· 金属/半导体材料界面热阻的测量
第99-104页
· Al膜
第99-102页
· Ni膜
第102-103页
· Au膜
第103-104页
· 超薄膜的界面热阻测量
第104-108页
· Al/HfO_2/Si膜
第104-108页
· 本章小结
第108-109页
第6章 结论与展望
第109-111页
· 结论
第109-110页
· 创新点
第110页
· 展望
第110-111页
主要符号表
第111-113页
参考文献
第113-127页
作者简历
第127-128页
攻读博士学位期间发表的论文
第128-129页
致谢
第129页
本篇论文共
129
页,
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