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基于飞秒激光抽运—探测技术的纳米薄膜热输运特性研究

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基于飞秒激光抽运—探测技术的纳米薄膜热输运特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
第1章 引言第10-37页
  · 研究背景第10-13页
    · 微电子/光电子器件领域第10-11页
    · 热电材料领域第11-12页
    · 激光微加工领域第12-13页
  · 研究现状第13-35页
    · 金属薄膜瞬态非平衡传热问题的研究第13-19页
    · 薄膜材料热物性测量方法的研究第19-26页
    · 薄膜材料热物性的研究第26-30页
    · 界面热阻的研究第30-35页
  · 研究的主要内容第35-37页
第2章 测量原理及热传导模型第37-60页
  · 测量原理第37-38页
  · 金属非平衡热输运的研究第38-47页
    · 抛物两步模型第38-41页
    · 反射率与温度关系第41-43页
    · Al膜非平衡过程傅里叶模型与抛物两步模型对比第43-46页
    · 参数敏感度分析第46-47页
  · 多层膜结构的热传导模型第47-59页
    · 频域响应的信号分析第48-53页
    · 柱坐标下傅里叶热传导模型第53-56页
    · 相位角的修正第56-58页
    · 敏感度分析方法第58-59页
  · 本章小结第59-60页
第3章 飞秒激光抽运-探测系统第60-82页
  · 单波长抽运-探测实验系统的搭建第60-66页
    · 主要仪器第62-66页
  · 双波长实验台的搭建第66-72页
    · 主要设备与模块第68-72页
  · 系统的调试第72-78页
    · 激光波长的测量第72-73页
    · 光路调试第73-77页
    · 激光脉冲宽度的测量第77-78页
  · 影响实验信号的因素分析第78-80页
  · 本章小结第80-82页
第4章 纳米金属薄膜热物性的测量第82-99页
  · 样品的制备第82-85页
  · 电子-声子耦合系数的测量第85-93页
    · Ni膜与Al膜实验结果第86-89页
    · Au膜的实验结果第89-93页
  · 纳米金属薄膜热导率的测量第93-98页
  · 本章小结第98-99页
第5章 界面热阻的测量第99-109页
  · 金属/半导体材料界面热阻的测量第99-104页
    · Al膜第99-102页
    · Ni膜第102-103页
    · Au膜第103-104页
  · 超薄膜的界面热阻测量第104-108页
    · Al/HfO_2/Si膜第104-108页
  · 本章小结第108-109页
第6章 结论与展望第109-111页
  · 结论第109-110页
  · 创新点第110页
  · 展望第110-111页
主要符号表第111-113页
参考文献第113-127页
作者简历第127-128页
攻读博士学位期间发表的论文第128-129页
致谢第129页

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