论文目录 | |
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-16页 |
| 1.2 光刻对准技术发展现状 | 第16-28页 |
| 1.2.1 基于图像分析的对准测量方法 | 第16-23页 |
| 1.2.2 基于光强信号分析的对准测量方法 | 第23-28页 |
| 1.3 本领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第28-31页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 基于光栅标记多衍射级次同步混叠干涉的对准测量方法研究 | 第33-60页 |
| 2.1 引言 | 第33-34页 |
| 2.2 经典的基于光栅标记对准测量原理分析 | 第34-38页 |
| 2.2.1 光栅标记对准测量基本原理 | 第34-38页 |
| 2.3 基于多衍射级次同步混叠干涉的光栅标记对准测量方法 | 第38-58页 |
| 2.3.1 光栅标记多衍射级次同步混叠干涉的对准测量系统 | 第39-42页 |
| 2.3.2 对准测量系统理论模型 | 第42-46页 |
| 2.3.3 多衍射级次对准测量逐级精化理论 | 第46-50页 |
| 2.3.4 测量信号仿真分析 | 第50-52页 |
| 2.3.5 光学系统中误差对测量结果的影响 | 第52-56页 |
| 2.3.6 基于归一化补偿原则的共光路对准测量改进方法 | 第56-58页 |
| 2.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第3章 多级次对准测量相位信息提取方法研究 | 第60-80页 |
| 3.1 引言 | 第60-61页 |
| 3.2 基于数字锁相放大探测的多级次对准测量相位信息提取方法 | 第61-69页 |
| 3.2.1 传统锁相探测方法中滤波器的限制 | 第61-63页 |
| 3.2.2 基于多级次相位信息完全解耦对准扫描条件的改进锁相探测方法 | 第63-69页 |
| 3.3 多级次对准测量相位信息提取方法中误差建模与分析 | 第69-78页 |
| 3.3.1 第一类噪声误差建模与分析 | 第70-72页 |
| 3.3.2 第二类噪声误差建模与分析 | 第72-74页 |
| 3.3.3 第三类噪声误差建模与分析 | 第74-76页 |
| 3.3.4 非理想扫描采样条件引入误差建模与分析 | 第76-78页 |
| 3.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第4章 扫描信号强度模板多参数匹配的标记捕获方法 | 第80-95页 |
| 4.1 引言 | 第80页 |
| 4.2 传统标记捕获测量方法分析 | 第80-84页 |
| 4.3 基于扫描信号强度参数拟合模板匹配的标记捕获原理 | 第84-93页 |
| 4.3.1 匹配模板建立 | 第84-87页 |
| 4.3.2 通过匹配度量函数实现模板匹配计算 | 第87-92页 |
| 4.3.3 模板匹配可靠性分析 | 第92-93页 |
| 4.4 幅值受包络曲线调制对准测量结果矫正 | 第93-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 测量系统设计与实验 | 第95-115页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 基于同步多级次光栅干涉测量的对准测量系统 | 第95-101页 |
| 5.2.1 测量实验系统组成 | 第95-97页 |
| 5.2.2 同步多级次光栅准干涉对准测量单元 | 第97-99页 |
| 5.2.3 扫描位移单元 | 第99-100页 |
| 5.2.4 标记捕获测量和对准偏差解算单元 | 第100-101页 |
| 5.3 测量系统特性测试与实验 | 第101-110页 |
| 5.3.1 光栅对准标记结构参数校准 | 第101-102页 |
| 5.3.2 基于模板匹配的对准标记位置捕获测量实验与分析 | 第102-105页 |
| 5.3.3 双光路探测功率稳定性与一致性测试 | 第105-106页 |
| 5.3.4 多级次信号混叠干涉实验与频谱分析 | 第106-108页 |
| 5.3.5 多级次对准测量相位测量提取实验 | 第108-110页 |
| 5.4 基于多级次同步混叠干涉的光栅标记对准测量实验 | 第110-114页 |
| 5.4.1 单一位置重复性测量实验与各级次测量特性分析 | 第110-112页 |
| 5.4.2 多个位置对准测量对比实验 | 第112-114页 |
| 5.5 本章小结 | 第114-115页 |
| 结论 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-127页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 个人简历 | 第130页 |
