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流化床内硅烷裂解制备粒状多晶硅过程的研究:硅颗粒增长的数值模拟与粉尘的热处理实验
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流化床内硅烷裂解制备粒状多晶硅过程的研究:硅颗粒增长的数值模拟与粉尘的热处理实验
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-11页
符号说明
第11-15页
第一章 绪论
第15-38页
1.1 引言
第15-17页
1.2 硅烷流化床法制备多晶硅的工艺
第17-21页
1.2.1 主要工艺
第17-18页
1.2.2 技术挑战
第18-19页
1.2.3 工业应用
第19-21页
1.3 硅烷流化床法制备多晶硅的研究进展
第21-27页
1.3.1 基础研究
第21-24页
1.3.2 实验研究
第24-25页
1.3.3 动力学研究
第25-27页
1.3.4 模拟研究
第27页
1.4 流化床内气-固两相流动的模拟研究
第27-36页
1.4.1 流化床反应器概述
第27-30页
1.4.2 两相现象模型
第30-31页
1.4.3 计算流体力学模型
第31-34页
1.4.4 粒群衡算模型
第34-36页
1.5 论文研究目的和主要内容
第36-38页
1.5.1 研究目的
第36页
1.5.2 研究内容
第36-37页
1.5.3 研究思路
第37-38页
第二章 三维流化床反应器内气-固两相流动的模拟研究
第38-76页
2.1 前言
第38页
2.2 三维流化床反应器几何模型的建立
第38-43页
2.2.1 几何模型与网格划分
第38-41页
2.2.2 网格无关性测试
第41-43页
2.3 欧拉-颗粒流模型的建立
第43-48页
2.3.1 欧拉-欧拉模型
第46页
2.3.2 KTGF颗粒流理论
第46-47页
2.3.3 曳力模型
第47页
2.3.4 RNG k-ε 湍流模型
第47-48页
2.3.5 传热模型
第48页
2.4 实验室级流化体系的流动模拟
第48-56页
2.4.1 模型设置与初始条件
第48-49页
2.4.2 Tejero-Ezpeleta流化体系
第49-55页
2.4.3 Hsu流化体系
第55-56页
2.5 工业级流化体系的流动模拟
第56-74页
2.5.1 补充模型
第56-59页
2.5.2 模型参数分析结果
第59-67页
2.5.3 多分散流化体系的模拟
第67-74页
2.6 本章小结
第74-76页
第三章 流化床内硅烷裂解过程中颗粒增长的模拟研究
第76-103页
3.1 前言
第76页
3.2 CFD-PBM耦合模型的建立
第76-80页
3.2.1 欧拉-颗粒流模型
第76-77页
3.2.2 组分输运模型
第77-78页
3.2.3 PBM模型
第78-80页
3.3 耦合策略与模拟条件
第80-81页
3.4 不同过程对颗粒增长的影响
第81-90页
3.4.1 聚并作用的影响
第81-83页
3.4.2 增长机理的影响
第83-85页
3.4.3 气相组分的分布
第85-88页
3.4.4 操作条件的影响
第88-90页
3.5 不同硅烷裂解动力学模型的应用分析
第90-102页
3.5.1 补充模型
第90-92页
3.5.2 基于Hsu体系的模拟条件
第92-94页
3.5.3 模拟结果与分析
第94-102页
3.6 本章小结
第102-103页
第四章 硅烷均相裂解实验及硅粉尘的热处理研究
第103-118页
4.1 前言
第103页
4.2 实验方法
第103-105页
4.2.1 实验装置
第103-104页
4.2.2 实验流程
第104-105页
4.2.3 表征方法
第105页
4.3 实验结果与讨论
第105-116页
4.3.1 样品粉尘的制备与表征
第105-108页
4.3.2 烧结条件对晶度的影响
第108-110页
4.3.3 烧结条件对Si-H结构的影响
第110-113页
4.3.4 烧结条件对形貌的影响
第113-116页
4.4 本章小结
第116-118页
第五章 全文总结与展望
第118-121页
5.1 全文主要内容与结论
第118-119页
5.2 论文创新点
第119-120页
5.3 工作展望
第120-121页
参考文献
第121-135页
致谢
第135-136页
攻读博士学位期间发表和撰写的论文
第136-137页
攻读博士学位期间参加和投稿的会议
第137-139页
本篇论文共
139
页,
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