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流化床内硅烷裂解制备粒状多晶硅过程的研究:硅颗粒增长的数值模拟与粉尘的热处理实验

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流化床内硅烷裂解制备粒状多晶硅过程的研究:硅颗粒增长的数值模拟与粉尘的热处理实验
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-11页
符号说明第11-15页
第一章 绪论第15-38页
  1.1 引言第15-17页
  1.2 硅烷流化床法制备多晶硅的工艺第17-21页
    1.2.1 主要工艺第17-18页
    1.2.2 技术挑战第18-19页
    1.2.3 工业应用第19-21页
  1.3 硅烷流化床法制备多晶硅的研究进展第21-27页
    1.3.1 基础研究第21-24页
    1.3.2 实验研究第24-25页
    1.3.3 动力学研究第25-27页
    1.3.4 模拟研究第27页
  1.4 流化床内气-固两相流动的模拟研究第27-36页
    1.4.1 流化床反应器概述第27-30页
    1.4.2 两相现象模型第30-31页
    1.4.3 计算流体力学模型第31-34页
    1.4.4 粒群衡算模型第34-36页
  1.5 论文研究目的和主要内容第36-38页
    1.5.1 研究目的第36页
    1.5.2 研究内容第36-37页
    1.5.3 研究思路第37-38页
第二章 三维流化床反应器内气-固两相流动的模拟研究第38-76页
  2.1 前言第38页
  2.2 三维流化床反应器几何模型的建立第38-43页
    2.2.1 几何模型与网格划分第38-41页
    2.2.2 网格无关性测试第41-43页
  2.3 欧拉-颗粒流模型的建立第43-48页
    2.3.1 欧拉-欧拉模型第46页
    2.3.2 KTGF颗粒流理论第46-47页
    2.3.3 曳力模型第47页
    2.3.4 RNG k-ε 湍流模型第47-48页
    2.3.5 传热模型第48页
  2.4 实验室级流化体系的流动模拟第48-56页
    2.4.1 模型设置与初始条件第48-49页
    2.4.2 Tejero-Ezpeleta流化体系第49-55页
    2.4.3 Hsu流化体系第55-56页
  2.5 工业级流化体系的流动模拟第56-74页
    2.5.1 补充模型第56-59页
    2.5.2 模型参数分析结果第59-67页
    2.5.3 多分散流化体系的模拟第67-74页
  2.6 本章小结第74-76页
第三章 流化床内硅烷裂解过程中颗粒增长的模拟研究第76-103页
  3.1 前言第76页
  3.2 CFD-PBM耦合模型的建立第76-80页
    3.2.1 欧拉-颗粒流模型第76-77页
    3.2.2 组分输运模型第77-78页
    3.2.3 PBM模型第78-80页
  3.3 耦合策略与模拟条件第80-81页
  3.4 不同过程对颗粒增长的影响第81-90页
    3.4.1 聚并作用的影响第81-83页
    3.4.2 增长机理的影响第83-85页
    3.4.3 气相组分的分布第85-88页
    3.4.4 操作条件的影响第88-90页
  3.5 不同硅烷裂解动力学模型的应用分析第90-102页
    3.5.1 补充模型第90-92页
    3.5.2 基于Hsu体系的模拟条件第92-94页
    3.5.3 模拟结果与分析第94-102页
  3.6 本章小结第102-103页
第四章 硅烷均相裂解实验及硅粉尘的热处理研究第103-118页
  4.1 前言第103页
  4.2 实验方法第103-105页
    4.2.1 实验装置第103-104页
    4.2.2 实验流程第104-105页
    4.2.3 表征方法第105页
  4.3 实验结果与讨论第105-116页
    4.3.1 样品粉尘的制备与表征第105-108页
    4.3.2 烧结条件对晶度的影响第108-110页
    4.3.3 烧结条件对Si-H结构的影响第110-113页
    4.3.4 烧结条件对形貌的影响第113-116页
  4.4 本章小结第116-118页
第五章 全文总结与展望第118-121页
  5.1 全文主要内容与结论第118-119页
  5.2 论文创新点第119-120页
  5.3 工作展望第120-121页
参考文献第121-135页
致谢第135-136页
攻读博士学位期间发表和撰写的论文第136-137页
攻读博士学位期间参加和投稿的会议第137-139页

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