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高光效硅衬底GaN基大功率绿光LED研制

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高光效硅衬底GaN基大功率绿光LED研制
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
第1章 引言第12-29页
  1.1 Ga N基LED简介第12-16页
    1.1.1 Ga N基LED的发展历史第12-14页
    1.1.2 Ga N基LED的发展现状第14-16页
    1.1.3 Ga N基LED的发展目标第16页
  1.2 Si衬底Ga N基LED简介第16-19页
    1.2.1 Si衬底Ga N基LED的优势第16-17页
    1.2.2 Si衬底Ga N基LED的挑战第17-18页
    1.2.3 Si衬底Ga N基LED的发展历程第18-19页
  1.3 Ga In N发光二极管量子效率衰退简介第19-26页
    1.3.1 LED量子效率第19页
    1.3.2 量子效率衰退现象第19-20页
    1.3.3 量子效率衰退机制简介第20-26页
      1.3.3.1 与缺陷有关的非辐射复合机制第22-23页
      1.3.3.2 俄歇复合第23-24页
      1.3.3.3 载流子解局域化第24页
      1.3.3.4 载流子泄露第24-26页
    1.3.4 量子效率衰退的解决方案第26页
  1.4 高功率绿光LED简介第26-28页
  1.5 本论文的结构安排第28-29页
第2章 Ga N高速生长时的C污染及其光致发光特性研究第29-40页
  2.1 引言第29-30页
  2.2 实验第30页
  2.3 结果与讨论第30-39页
    2.3.1 生长速率与MO源利用率之间的关系第30-33页
    2.3.2 生长速率对结构特性以及表面形貌的影响第33-34页
    2.3.3 生长速率对外延层中并入的杂质元素浓度的影响第34-36页
    2.3.4 生长速率对Ga N光学性质的影响第36-39页
  2.4 本章小结第39-40页
第3章 p-Al Ga N陡峭掺杂对Ga N基LED性能提升的研究第40-52页
  3.1 引言第40-41页
  3.2 实验第41-42页
  3.3 结果与讨论第42-50页
    3.3.1 样品间p-Al Ga N掺杂形貌的变化第42-43页
    3.3.2 p-Al Ga N掺杂形貌的变化对器件常温光电性能的影响第43-46页
    3.3.3 p-Al Ga N掺杂形貌的变化对器件低温光电性能的影响第46-50页
  3.4 本章小结第50-52页
第4章 Ga N基LED电压随温度变化特性研究第52-61页
  4.1 引言第52页
  4.2 Ga In N LED器件电压随温度变化的理论基础第52-54页
  4.3 实验第54-55页
  4.4 结果与讨论第55-60页
    4.4.1 不同有源区结构,波长等性质对正向电压随温度变化特性影响第55-57页
    4.4.2 p-Al Ga N掺杂形貌对电压随温度变化特性影响第57-60页
  4.5 本章小结第60-61页
第5章 具备高光效Si衬底绿光LED外延生长优化研究第61-88页
  5.1 N层掺杂浓度对器件光电性能的影响第61-69页
    5.1.1 具有超薄缓冲层以及N层的外延结构设计第61-62页
    5.1.2 N层整体掺杂浓度器件光电性能影响第62-66页
    5.1.3 N末层掺杂浓度器件光电性能影响第66-69页
  5.2 阱前插入层参数变化对器件光电性能影响第69-76页
    5.2.1 低温Ga N层厚度对器件光电性能的影响第70-72页
    5.2.2 In Ga N/Ga N超晶格In组份对器件光电性能影响第72-74页
    5.2.3 插入层中蓝光量子阱的阱厚对器件光电性能的影响第74-76页
  5.3 绿光量子阱的阱厚对器件光电性能的影响第76-79页
  5.4 插入层以及量子阱的掺杂对器件光电性能的影响第79-83页
  5.5 绿光垒结构对器件光电性能的影响第83-85页
  5.6 Si衬底大功率绿光LED最新进展第85-87页
  5.7 本章小结第87-88页
第6章 p-Al Ga N厚度对含有大型V形坑的绿光LED漏电性能以及量子效率的影响第88-98页
  6.1 前言第88-89页
  6.2 实验第89-90页
  6.3 结果与讨论第90-97页
    6.3.1 p-Al Ga N厚度增加对含有大型V形坑器件漏电流影响第90-93页
    6.3.2 p-Al Ga N厚度增加对器件EQ E的影响第93-97页
  6.4 小结第97-98页
第7章 结论和展望第98-100页
致谢第100-101页
参考文献第101-113页
攻读学位期间的研究成果第113页

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