面向片上光互连的高速光集成芯片研究

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面向片上光互连的高速光集成芯片研究

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面向片上光互连的高速光集成芯片研究

论文目录
致谢	第1-7页
摘要	第7-9页
ABSTRACT	第9-13页
1 绪论	第13-25页
1.1 光集成技术发展与现状	第13-18页
1.2 片上光互连	第18-22页
1.3 本论文的主要内容及创新点	第22-25页
1.3.1 本论文的章节安排	第22-23页
1.3.2 本论文的主要创新点	第23-25页
2 光波导基本理论与数值计算方法	第25-43页
2.1 光波导电磁理论概述	第25-27页
2.2 平板波导	第27-30页
2.3 条形波导	第30-35页
2.3.1 等效折射率方法	第31-33页
2.3.2 Macatili方法	第33-35页
2.4 光波导的数值计算	第35-41页
2.4.1 光束传播方法(BPM)	第35-37页
2.4.2 时域有限差分法(FDTD)	第37-41页
2.5 边界条件	第41-42页
2.6 本章小结	第42-43页
3 硅基阵列波导光栅	第43-71页
3.1 阵列波导光栅基本原理	第43-46页
3.2 AWG研究进展	第46-51页
3.3 设计方法与特性分析	第51-54页
3.4 制作工艺流程	第54-56页
3.5 测试平台	第56-62页
3.6 阵列波导光栅的研制	第62-69页
3.6.1 微弯型	第62-64页
3.6.2 光子晶体反射型	第64-67页
3.6.3 布拉格光栅型	第67-69页
3.7 本章小结	第69-71页
4 混合集成电吸收调制器	第71-101页
4.1 光调制器概述	第71-78页
4.1.1 Ⅲ-Ⅴ制器	第72-73页
4.1.2 纯硅调制器	第73-75页
4.1.3 锗调制器	第75-76页
4.1.4 新材料集成光调制	第76-77页
4.1.5 Ⅲ-Ⅴ/Si混合集成调制器	第77-78页
4.2 电吸收调制器设计	第78-84页
4.3 混合集成制作工艺	第84-93页
4.4 性能测试	第93-98页
4.4.1 小信号测试	第93-97页
4.4.2 高速测试	第97-98页
4.5 本章小结	第98-101页
5 片上光互连芯片研究	第101-111页
5.1 混合集成调制器阵列	第101-105页
5.2 混合集成探测器阵列	第105-106页
5.3 片上光互连系统	第106-109页
5.4 本章小结	第109-111页
6 总结与展望	第111-113页
参考文献	第113-123页
作者简介	第123页
攻读博士学位期间发表的学术论文	第123-125页

本篇论文共125页，点击这进入下载页面。

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