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半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制

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半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-15页
第一章 绪论第15-23页
  1.1 选题背景及研究意义第15-17页
    1.1.1 选题背景第15-16页
    1.1.2 研究意义第16-17页
  1.2 组合设备的调度研究综述第17-21页
    1.2.1 组合设备的结构第17-18页
    1.2.2 晶圆流模式第18页
    1.2.3 组合设备的调度与控制第18-21页
  1.3 本课题的研究内容第21-23页
    1.3.1 课题来源第21页
    1.3.2 研究内容第21-23页
第二章 Petri网简介第23-32页
  2.1 引言第23-24页
  2.2 Petri网的基本概念第24-25页
  2.3 面向进程的Petri网第25-27页
  2.4 面向资源的Petri网第27-31页
  2.5 小结第31-32页
第三章 具有驻留时间约束和活动时间波动的单臂组合设备的调度第32-67页
  3.1 引言第32-33页
  3.2 Petri网建模第33-37页
    3.2.1 生产流程建模第33-35页
    3.2.2 活动时间建模第35-37页
  3.3 实时控制规则第37-45页
  3.4 晶圆驻留时间延迟上界分析第45-54页
  3.5 可调度性条件与调度算法第54-62页
  3.6 实例分析第62-66页
  3.7 小结第66-67页
第四章 具有重入和驻留时间约束的双臂组合设备调度第67-90页
  4.1 引言第67-69页
  4.2 Petri网建模第69-74页
    4.2.1 组合设备的Petri网建模第69-72页
    4.2.2 对活动时间建模第72-74页
  4.3 单晶圆周期调度策略第74-77页
  4.4 组合设备的运行分析第77-79页
  4.5 可调度性条件与调度算法第79-87页
  4.6 实例分析第87-89页
  4.7 小结第89-90页
第五章 单臂组合设备的故障响应策略第90-109页
  5.1 引言第90页
  5.2 Petri网建模第90-95页
  5.3 具有晶圆驻留时间约束的单臂组合设备的可调度条件第95-98页
  5.4 故障响应策略第98-106页
  5.5 实例分析第106-108页
  5.6 小结第108-109页
结论第109-112页
总结第109-110页
未来工作的展望第110-112页
参考文献第112-123页
攻读学位期间发表的论文第123-130页
致谢第130-131页

本篇论文共131页,点击这进入下载页面
 
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