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半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制
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半导体制造中组合设备的建模、优化调度与控制
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-15页
第一章 绪论
第15-23页
1.1 选题背景及研究意义
第15-17页
1.1.1 选题背景
第15-16页
1.1.2 研究意义
第16-17页
1.2 组合设备的调度研究综述
第17-21页
1.2.1 组合设备的结构
第17-18页
1.2.2 晶圆流模式
第18页
1.2.3 组合设备的调度与控制
第18-21页
1.3 本课题的研究内容
第21-23页
1.3.1 课题来源
第21页
1.3.2 研究内容
第21-23页
第二章 Petri网简介
第23-32页
2.1 引言
第23-24页
2.2 Petri网的基本概念
第24-25页
2.3 面向进程的Petri网
第25-27页
2.4 面向资源的Petri网
第27-31页
2.5 小结
第31-32页
第三章 具有驻留时间约束和活动时间波动的单臂组合设备的调度
第32-67页
3.1 引言
第32-33页
3.2 Petri网建模
第33-37页
3.2.1 生产流程建模
第33-35页
3.2.2 活动时间建模
第35-37页
3.3 实时控制规则
第37-45页
3.4 晶圆驻留时间延迟上界分析
第45-54页
3.5 可调度性条件与调度算法
第54-62页
3.6 实例分析
第62-66页
3.7 小结
第66-67页
第四章 具有重入和驻留时间约束的双臂组合设备调度
第67-90页
4.1 引言
第67-69页
4.2 Petri网建模
第69-74页
4.2.1 组合设备的Petri网建模
第69-72页
4.2.2 对活动时间建模
第72-74页
4.3 单晶圆周期调度策略
第74-77页
4.4 组合设备的运行分析
第77-79页
4.5 可调度性条件与调度算法
第79-87页
4.6 实例分析
第87-89页
4.7 小结
第89-90页
第五章 单臂组合设备的故障响应策略
第90-109页
5.1 引言
第90页
5.2 Petri网建模
第90-95页
5.3 具有晶圆驻留时间约束的单臂组合设备的可调度条件
第95-98页
5.4 故障响应策略
第98-106页
5.5 实例分析
第106-108页
5.6 小结
第108-109页
结论
第109-112页
总结
第109-110页
未来工作的展望
第110-112页
参考文献
第112-123页
攻读学位期间发表的论文
第123-130页
致谢
第130-131页
本篇论文共
131
页,
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