教育论文网

石墨衬底半导体ZnO和SiC材料生长研究

硕士博士毕业论文站内搜索    
分类1:教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文半导体技术论文一般性问题论文材料论文化合物半导体论文
分类2:教育论文网→数理科学和化学论文→化学论文无机化学论文非金属元素及其化合物论文第Ⅳ族非金属元素(碳和硅)及其化合物论文碳C论文
石墨衬底半导体ZnO和SiC材料生长研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-10页
TABLE OF CONTENTS第10-13页
图目录第13-16页
表目录第16-17页
主要符号表第17-18页
1 绪论第18-32页
  1.1 石墨的性质、应用、研究进展及存在的主要问题第19-22页
    1.1.1 石墨的基本特性第19-20页
    1.1.2 石墨的应用领域第20-21页
    1.1.3 石墨的研究进展及存在的主要问题第21-22页
  1.2 ZnO的性质、应用、研究进展及存在的主要问题第22-26页
    1.2.1 ZnO的基本特性第22-24页
    1.2.2 ZnO的应用领域第24-25页
    1.2.3 ZnO的研究进展及存在的主要问题第25-26页
  1.3 SiC的性质、应用、研究进展及存在的主要问题第26-29页
    1.3.1 SiC的基本特性第26-28页
    1.3.2 SiC的应用领域第28页
    1.3.3 SiC的研究进展及存在的主要问题第28-29页
  1.4 本论文的选题意义及主要研究内容第29-32页
2 本论文采用的制备方法和表征技术第32-39页
  2.1 主要制备方法第32-35页
    2.1.1 超声喷雾热解法第32页
    2.1.2 水热法第32页
    2.1.3 电子束蒸发法第32-33页
    2.1.4 磁控溅射法第33页
    2.1.5 热丝化学气相沉积法第33-34页
    2.1.6 真空蒸发法第34页
    2.1.7 退火第34-35页
  2.2 表征技术第35-39页
    2.2.1 X射线衍射第35-36页
    2.2.2 扫描电子显微镜第36页
    2.2.3 透射电子显微镜第36页
    2.2.4 光致发光谱第36-37页
    2.2.5 紫外-可见-近红外分光光度计第37页
    2.2.6 傅立叶变换红外光谱第37-38页
    2.2.7 拉曼光谱第38-39页
3 石墨衬底上ZnO薄膜的制备及表征第39-56页
  3.1 引言第39-40页
  3.2 石墨衬底的表征第40-45页
    3.2.1 石墨衬底的结构特性第40-42页
    3.2.2 石墨衬底的光学特性第42-45页
  3.3 ZnO薄膜的生长和优化第45-55页
    3.3.1 超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及其生长机理第45-48页
    3.3.2 ZnO薄膜的结构特性第48页
    3.3.3 生长温度对ZnO薄膜表面形貌的影响第48-49页
    3.3.4 生长时间对ZnO薄膜表面形貌的影响第49-50页
    3.3.5 衬底温度对ZnO薄膜光致发光特性的影响第50-51页
    3.3.6 生长时间对ZnO薄膜光致发光特性的影响第51-52页
    3.3.7 ZnO薄膜SERS增强衬底的制备及其性能第52-55页
  3.4 本章小结第55-56页
4 石墨衬底上ZnO纳米棒的制备及表征第56-66页
  4.1 引言第56-57页
  4.2 ZnO纳米棒的生长和优化第57-65页
    4.2.1 水热法制备ZnO纳米棒及其生长机理第57-59页
    4.2.2 ZnO籽晶的晶体质量和表面形貌第59-60页
    4.2.3 生长时间对ZnO纳米棒表面形貌的影响第60-61页
    4.2.4 ZnO纳米棒的晶体质量第61-62页
    4.2.5 ZnO纳米棒的光学质量第62-65页
  4.3 本章小结第65-66页
5 ZnO/SiO_2/石墨复合结构的制备及其性能第66-79页
  5.1 引言第66-67页
  5.2 ZnO/SiO_2/石墨复合结构的制备及优化第67-71页
    5.2.1 电子束蒸发法制备SiO_2薄膜及其表征第67-69页
    5.2.2 磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征第69-71页
  5.3 ZnO/SiO_2/石墨结构器件的性能表征第71-78页
    5.3.1 ZnO/SiO_2/石墨结构器件的I-V特性第71-74页
    5.3.2 ZnO/SiO_2/石墨结构器件的导热特性第74-76页
    5.3.3 ZnO/SiO_2/石墨结构器件的C-V特性第76-78页
  5.4 本章小结第78-79页
6 石墨衬底上β-SiC薄膜的制备及其性能研究第79-94页
  6.1 引言第79-80页
  6.2 β-SiC简介第80-82页
  6.3 β-SiC薄膜的制备及优化第82-92页
    6.3.1 热丝化学气相沉积法制备β-SiC薄膜及其生长机理第82-85页
    6.3.2 退火对β-SiC薄膜成膜质量的影响第85-86页
    6.3.3 β-SiC基MOS器件的制备工艺流程第86-88页
    6.3.4 SiO_2/β-SiC/石墨复合结构的表征第88-91页
    6.3.5 β-SiC基MOS器件的I-V特性第91-92页
  6.4 本章小结第92-94页
7 结论与展望第94-99页
  7.1 结论与创新点第94-96页
  7.2 创新点摘要第96-97页
  7.3 展望第97-99页
参考文献第99-111页
攻读博士学位期间科研项目及科研成果第111-113页
致谢第113-114页
作者简介第114页

本篇论文共114页,点击这进入下载页面
 
更多论文
石墨衬底半导体ZnO和SiC材料生长研
组织公正氛围对正式规则与非正式规
SiO2/SiC界面过渡区及其
组织公正氛围对正式与非正式制度关
TiO2纳米半导体材料的制
企业社会责任的社会认知——来自杭
负面信息沟通中负面程度对发送者沟
Ⅲ族氮化物紫光和近紫外LED的制备与
工行江西分行投资银行业务发展战略
Ⅲ族氮化物的极化效应及其在光电子
中国银行吉林省分行信贷经理综合激
基于相位跟踪反馈机理的超精密定位
吉林白山方大集团名牌战略模式研究
挣值管理视角的企业战略转型绩效综
气体放电引发氧碘化学激光脉冲化及
员工导向的企业伦理行为对员工组织
档案容灾体系架构与实现研究
恒际公司职业经理人制度改进研究
国内外科学计量学的比较研究
RFID技术在一汽大众公司冲压自制件
华众公司绩效考核体系改进方案研究
公共图书馆服务体系的信息资源建设
基于平衡计分卡的XJ公司全员绩效考
基于高光谱影像的抗噪模型及解混算
A公司销售人员绩效考核体系研究
吉林九台农村商业银行金融市场业务
基于肌电信号的仿人型假手及其抓取
东北证券C营业部投资顾问业务发展策
基于不确定性数学的学习理论与方法
A生物制药公司竞争战略研究
基于语义集成的客户知识挖掘研究
A银行吉林省分行核心员工薪酬管理的
白城电力镇赉变压器有限责任公司发
参考制导的快速磁共振成像和场不均
金顶投资集团企业发展战略研究
基于代价敏感学习的手写邮编和地址
同煤集团塔山煤矿企业信息化建设项
近重复文本图像匹配研究
HWP长春公司客服员工工作倦怠问题研
一汽车桥公司绩效管理改进方案研究
磁共振成像中若干图像处理方法研究
长春帝斯曼公司实施企业资源计划(
基于非衍射波和合成孔径的三维超声
营口市第三纺织有限公司绩效考核体
动态手势识别中的时空特征表示和字
DD再担保公司风险管理研究
X公司发展战略研究
机器视觉检测中的图像复原方法研究
服务型小企业创业战略选择研究
基于人体模型构建的无标识运动捕捉
JKS公司设计人员职业能力提升策略研
信息系统使用对房地产企业团队绩效
大唐长春第三热电厂绩效管理体系改
黑龙江省A银行示范网点项目薪酬体系
L10相FePt及相关薄膜体
邮储银行呼兰支行员工满意度提升对
变频高频地波雷达海态反演技术的研
通钢集团吉林市焊管公司发展战略研
SYDT公司人力资源管理研究
超高速OTDM光通信系统关键技术研究
绿城集团风险管理研究
高速光通信全光关键技术研究
天富期货有限公司信息技术应用管理
SY企业绩效考核指标体系设计研究
双层毫微微小区网络性能的研究与优
S公司薪酬方案优化研究
异构无线网络中联合无线资源管理技
腾达公司人力资源管理问题的对策研
双向中继网络的无线资源管理研究
中泰合资企业跨国外派员工工作—家
基于ERP环境的一汽解放变速箱分公司
多天线蜂窝系统干扰管理技术的研究
基于企业文化理念的员工管理体系研
分布式系统的时间化通信行为模型
上市公司高管薪酬影响因素研究
中机北方机械有限公司发展战略研究
喷泉码编译码实现及其性能优化的研
金路达公司PE业务发展战略研究
基于FFS模式液晶面板的三维立体显示
东北证券营销中心培训管理体系优化
邮政储蓄银行阿城支行员工培训体系
无铅微互连焊点力学性能及疲劳与电
东北再担保公司全面风险管理研究
新型大模场直径弯曲不敏感单模及少
沈阳机床集团发展战略研究
励扬装饰工程有限公司竞争战略管理
基于手工造纸的云南少数民族历史档
A公司驻外销售人员对本公司归属感提
科技论文网络版权保护研究
P银行员工绩效考核的对策研究
 
石墨衬底论文 ZnO纳米结构论文 SiC薄膜论文 MOS器件论文
版权申明:目录由用户cty**提供,www.51papers.com仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved