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Ⅲ族氮化物紫光和近紫外LED的制备与研究

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Ⅲ族氮化物紫光和近紫外LED的制备与研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
TABLE OF CONTENTS第11-14页
图目录第14-17页
主要符号表第17-18页
1 绪论第18-39页
  1.1 研究背景与意义第18-23页
  1.2 紫外LED的研究进展与存在问题第23-37页
    1.2.1 GaN材料研究的三个突破第23-26页
    1.2.2 Ⅲ族氮化物材料的基本性质第26-29页
    1.2.3 紫外LED的研究进展第29-30页
    1.2.4 紫外LED研制的难点第30-37页
  1.3 本文主要研究思路与内容第37-39页
2 GaN薄膜生长设备和表征手段第39-52页
  2.1 金属有机化学气相沉积法(MOCVD)介绍第39-44页
    2.1.1 原材料输运管道和分配系统第39-41页
    2.1.2 反应室第41-43页
    2.1.3 尾气处理系统第43-44页
    2.1.4 控制系统第44页
    2.1.5 原位监测系统第44页
  2.2 本文使用的MOCVD生长系统简介第44-46页
  2.3 GaN薄膜和器件研究中的主要表征手段第46-52页
    2.3.1 光致发光测试(PL)第46-47页
    2.3.2 X射线衍射(XRD)第47-48页
    2.3.3 原子力显微镜(AFM)第48-49页
    2.3.4 拉曼光谱(Raman spectrum)第49-50页
    2.3.5 扫描电子显微镜(SEM)第50-51页
    2.3.6 其他表征手段第51-52页
3 紫光LED的制备及电子阻挡层的研究第52-68页
  3.1 前言第52-53页
  3.2 紫光LED的制备第53-54页
  3.3 紫光LED电子阻挡层的设计第54-55页
  3.4 利用APSYS模拟不同电子阻挡层的紫光LED第55-59页
    3.4.1 APSYS模拟紫光LED的能带图第55-56页
    3.4.2 APSYS模拟紫光LED的Ⅰ-Ⅴ特性第56-57页
    3.4.3 APSYS模拟紫光LED的电致发光第57-58页
    3.4.4 APSYS模拟紫光LED的内量子效率第58-59页
  3.5 紫光LED电子阻挡层的实验第59-66页
    3.5.1 带有不同电子阻挡层的紫光LED的制备第59-60页
    3.5.2 紫光LED的晶体质量第60-61页
    3.5.3 紫光LED的Ⅰ-Ⅴ特性第61-62页
    3.5.4 紫光LED的电致发光第62-63页
    3.5.5 紫光LED芯片的电流分布第63-64页
    3.5.6 不同注入电流下的紫光LED的光输出功率第64-65页
    3.5.7 紫光LED的外量子效率第65-66页
  3.6 小结第66-68页
4 紫外LED的制备及光提取效率的研究第68-90页
  4.1 前言第68-69页
  4.2 紫外LED的制备第69-70页
  4.3 纳米压印PSS衬底对紫外LED亮度的提高第70-76页
    4.3.1 PSS衬底制备紫外LED第70-71页
    4.3.2 PSS衬底的表面形貌第71-72页
    4.3.3 不同PSS衬底制作的紫外LED外延结构的晶体质量第72-73页
    4.3.4 不同PSS衬底制作的紫外LED外延结构的发光性能第73-76页
  4.4 p-GaN微米柱的制备及对紫外LED的亮度提升第76-88页
    4.4.1 带有p-GaN微米柱的紫外LED的制备第76-77页
    4.4.2 紫外LED的表面形貌第77-79页
    4.4.3 紫外LED的发光性能第79-81页
    4.4.4 p-GaN微米柱对出光效率提升的模拟计算第81-85页
    4.4.5 微米柱对紫外LED光输出功率提升的原因分析第85-86页
    4.4.6 p-GaN微米柱对电学性能的影响第86-88页
  4.5 小结第88-90页
5 带有DBR的紫外LED制备研究第90-114页
  5.1 前言第90-92页
  5.2 蓝宝石衬AlGaN/GaN DBR的紫外LED第92-101页
    5.2.1 蓝宝石衬底生长AlGaN/GaN DBR第92-97页
    5.2.2 二步生长法制备带有AlGaN/GaN DBR的紫外LED第97-101页
  5.3 SiC衬底制备带有AlGaN/GaN DBR的紫外LED第101-112页
    5.3.1 SiC衬底生长AlGaN/GaN DBR第101-108页
    5.3.2 SiC衬底生长带有AlGaN/GaN DBR的紫外LED第108-112页
  5.4 小结第112-114页
6 结论与展望第114-118页
  6.1 结论与创新点第114-116页
  6.2 创新点摘要第116-117页
  6.3 展望第117-118页
参考文献第118-129页
攻读博士学位期间科研项目及科研成果第129-130页
致谢第130-131页
作者简介第131页

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