线性调谐微机械陀螺驱动和检测技术的研究

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线性调谐微机械陀螺驱动和检测技术的研究

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线性调谐微机械陀螺驱动和检测技术的研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-8页
ABSTRACT	第8-11页
目次	第11-14页
1 绪论	第14-40页
1.1 微机械陀螺概述	第14页
1.2 微机械陀螺工作原理	第14-18页
1.3 微机械陀螺性能指标	第18-21页
1.3.1 灵敏度	第19页
1.3.2 分辨率	第19页
1.3.3 零偏稳定性	第19-20页
1.3.4 带宽	第20-21页
1.4 微机械陀螺研究进展	第21-35页
1.4.1 微机械陀螺机械结构设计	第21-27页
1.4.2 微机械陀螺驱动技术	第27-29页
1.4.3 微机械陀螺检测技术	第29-31页
1.4.4 微机械陀螺模态匹配技术	第31-34页
1.4.5 微机械陀螺在浙大	第34-35页
1.5 论文研究内容	第35-40页
1.5.1 微机械陀螺尚存在的问题	第35-37页
1.5.2 本论文研究内容	第37-38页
1.5.3 论文章节安排	第38-40页
2 微机械陀螺振动特性	第40-60页
2.1 静电致动	第40-41页
2.2 振动检测	第41-43页
2.2.1 位移检测	第42-43页
2.2.2 速度检测	第43页
2.3 抑制电学耦合设计	第43-49页
2.3.1 位移检测型去耦合电路	第44-45页
2.3.2 速度检测型去耦合电路	第45-49页
2.4 谐振特性辨识	第49-52页
2.5 实验测试	第52-59页
2.5.1 辨识技术测试	第52-56页
2.5.2 速度检测型电路去耦合测试	第56-59页
2.6 小结	第59-60页
3 微机械陀螺驱动技术	第60-86页
3.1 PLL-AGC驱动优化	第60-71页
3.1.1 理论分析	第60-65页
3.1.2 数值仿真	第65-71页
3.2 恒频驱动技术	第71-77页
3.2.1 基于位移反馈的恒频驱动	第71-75页
3.2.2 非谐振恒频驱动	第75-76页
3.2.3 基于调谐结构的恒频驱动	第76-77页
3.3 实验测试	第77-85页
3.3.1 PLL-AGC优化测试	第77-81页
3.3.2 恒频驱动测试	第81-85页
3.4 小结	第85-86页
4 微机械陀螺检测技术	第86-108页
4.1 力平衡检测系统解析分析	第86-92页
4.2 模态匹配下的化简	第92-95页
4.3 数值仿真	第95-98页
4.3.1 稳定性	第96-97页
4.3.2 暂态响应	第97-98页
4.3.3 带宽	第98页
4.4 无转台标定技术	第98-99页
4.5 实验测试	第99-107页
4.5.1 正交分离测试	第101-102页
4.5.2 线性度测试	第102-103页
4.5.3 阶跃响应测试	第103-104页
4.5.4 带宽测试	第104页
4.5.5 无转台标定测试	第104-106页
4.5.6 零偏稳定性测试	第106-107页
4.6 小结	第107-108页
5 微机械陀螺静电调谐技术	第108-124页
5.1 模态自动匹配	第108-113页
5.1.1 模态初始自动匹配	第108-112页
5.1.2 实时模态匹配	第112-113页
5.2 弹性系数调制的放大效应	第113-118页
5.2.1 谐振效应放大	第113-115页
5.2.2 陀螺效应放大	第115-116页
5.2.3 数值仿真	第116-118页
5.3 实验测试	第118-122页
5.3.1 模态匹配能力测试	第118-119页
5.3.2 模态初始自动匹配测试	第119-121页
5.3.3 陀螺效应放大测试	第121-122页
5.4 小结	第122-124页
6 微机械陀螺温度性能测试	第124-134页
6.1 微机械陀螺器件温度特性测试	第124-127页
6.1.1 弹性系数温度特性测试	第125-126页
6.1.2 阻尼系数温度特性测试	第126-127页
6.2 微机械陀螺常温性能测试	第127-130页
6.2.1 速度检测型电路PLL-AGC驱动控制	第127-129页
6.2.2 模态初始匹配陀螺力平衡控制	第129-130页
6.3 微机械陀螺大温度区间性能测试	第130-133页
6.3.1 驱动模态控制测试	第130-132页
6.3.2 检测模态控制测试	第132-133页
6.4 小结	第133-134页
7 总结与展望	第134-138页
7.1 总结	第134-135页
7.2 展望	第135-138页
参考文献	第138-148页
作者简历及在学期间所取得的科研成果	第148-149页

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