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单晶硅纳米结构的TEM内原位拉伸实验研究
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单晶硅纳米结构的TEM内原位拉伸实验研究
论文目录
摘要
第1-8页
Abstract
第8-11页
第一章 引言
第11-30页
1.1 纳米力学中的尺度效应
第11-14页
1.2 纳米结构材料力学性质的实验测量方法
第14-25页
1.3 单晶硅材料纳米结构的力学性质的实验研究
第25-28页
1.4 本研究工作目的及内容概要
第28-30页
第二章 原位拉伸实验装置设计
第30-42页
2.1 应用MEMS 芯片的原位TEM 实验设计思想
第30-32页
2.2 样品杆的设计
第32-35页
2.3 MEMS 力学测试芯片的设计
第35-41页
2.4 小结
第41-42页
第三章 原位拉伸实验装置的制备
第42-65页
3.1 样品杆
第42-46页
3.2 MEMS 力学测试芯片
第46-64页
3.3 小结
第64-65页
第四章 TEM 内原位拉伸实验
第65-85页
4.1 实验装置
第65-68页
4.2 TEM 实验
第68-83页
4.3 小结
第83-85页
第五章 总结与讨论
第85-87页
1. MEMS 力学测试芯片的设计与工艺研究
第85页
2. 设计制备带电极的透射电镜样品杆
第85-86页
3. 对单晶硅纳米悬梁的拉伸实验
第86-87页
参考文献
第87-93页
附录 金硅键合实验及结果分析
第93-105页
攻读博士学位期间已发表(录用)的论文
第105-107页
致谢
第107页
本篇论文共
107
页,
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。
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