飞秒激光对半导体材料和金属材料的烧蚀研究

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飞秒激光对半导体材料和金属材料的烧蚀研究

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飞秒激光对半导体材料和金属材料的烧蚀研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
第一章绪论	第11-37页
1.1 飞秒激光烧蚀	第11-17页
1.1.1 飞秒激光简介	第11-12页
1.1.2 飞秒激光烧蚀以及烧蚀过程简介	第12-14页
1.1.3 飞秒激光对不同材料的烧蚀机制	第14-16页
1.1.4 飞秒激光的应用及发展方向	第16-17页
1.2 飞秒激光脉冲整形技术	第17-27页
1.2.1 飞秒脉冲整形技术及原理介绍	第17-19页
1.2.2 整形脉冲的测量方法	第19-25页
1.2.3 整形脉冲在烧蚀过程中的应用	第25-27页
1.3 各种实验参量对飞秒激光烧蚀的影响的研究	第27-31页
1.3.1 气体环境和压强对烧蚀的影响	第27-28页
1.3.2 双脉冲能量通量对烧蚀的影响	第28-30页
1.3.3 双脉冲延迟时间对烧蚀的影响	第30-31页
1.4 激光烧蚀成孔研究进展	第31-35页
1.5 本文结构	第35-37页
第二章实验系统	第37-43页
2.1 飞秒激光系统	第37-38页
2.2 飞秒激光整形系统	第38-40页
2.3 飞秒激光烧蚀系统	第40-41页
2.4 光谱采集系统	第41页
2.5 形貌表征系统	第41-43页
第三章飞秒双脉冲激光对硅材料的烧蚀	第43-63页
3.1 前言	第43-44页
3.2 实验方法和技术	第44-45页
3.3 实验结果及讨论	第45-61页
3.3.1 大气和真空条件下，荧光信号强度随延迟时间的变化	第45-49页
3.3.2 大气和真空条件下，烧蚀形貌随延迟时间的变化	第49-53页
3.3.3 荧光信号强度随环境气压的变化	第53-58页
3.3.4 烧蚀形貌随环境气压的变化	第58-61页
3.4 本章小结	第61-63页
第四章飞秒激光对金属材料的烧蚀成孔	第63-87页
4.1 前言	第63-64页
4.2 实验方法和技术	第64-65页
4.3 实验结果和讨论	第65-85页
4.3.1 空气条件下激光焦点与样品表面相对位置对铝烧蚀成孔的影响	第65-72页
4.3.2 激光脉冲能量通量对金属铝烧蚀成孔的影响	第72-74页
4.3.3 背景气压对金属铜烧蚀的影响	第74-79页
4.3.4 不同整形脉冲作用下的烧蚀效率	第79-82页
4.3.5 不同整形脉冲作用下的烧蚀形貌	第82-85页
4.4 本章小结	第85-87页
第五章结论与展望	第87-89页
5.1 结论	第87-88页
5.2 展望	第88-89页
参考文献	第89-101页
作者简介	第101-103页
攻读博士学位期间取得的成果	第103-104页
致谢	第104页

本篇论文共104页，点击这进入下载页面。

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