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ZnO微米线异质结发光器件的制备及研究

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ZnO微米线异质结发光器件的制备及研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-35页
  1.1 ZnO 的基本性质第11-26页
    1.1.1 ZnO 晶体结构第11-12页
    1.1.2 ZnO 能带结构第12-15页
    1.1.3 ZnO 电学特性第15-20页
    1.1.4 ZnO 光学特性第20-26页
  1.2 ZnO 材料的进展与应用第26-32页
    1.2.1 透明导电薄膜第26-28页
    1.2.2 气敏传感器第28页
    1.2.3 紫外探测器第28-29页
    1.2.4 发光器件第29-32页
  1.3 本论文主要研究内容第32-35页
第二章 制备 ZnO 薄膜以及表征的方法第35-57页
  2.1 ZnO 薄膜的主要制备技术第35-50页
    2.1.1 真空蒸发镀膜(Vacuum vapor plating)第35-36页
    2.1.2 原子层沉积(ALD)第36-37页
    2.1.3 脉冲激光沉积法(PLD: Pulsed Laser Deposition)第37-38页
    2.1.4 分子束外延法(MBE: Molecule Beam Epitaxy)第38-40页
    2.1.5 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第40-48页
    2.1.6 磁控溅射方法(Magnetron-sputtering)第48-50页
  2.2 ZnO 薄膜及器件的表征技术简介第50-57页
    2.2.1 X 射线衍射(XRD)第51-53页
    2.2.2 原子力显微镜(AFM)第53-54页
    2.2.3 扫描电子显微镜(SEM)第54-55页
    2.2.4 光致发光(PL)第55页
    2.2.5 电致发光(EL)第55-57页
第三章 ZnO 微米线的制备与表征第57-75页
  3.1 ZnO 微米线制备方法第57-59页
    3.1.1 水热法第57-58页
    3.1.2 化学气相沉积第58-59页
  3.2 ZnO 微米线样品形貌结构及表征第59-67页
  3.3 制作 ZnO 微米线发光器件实验方法第67-72页
  3.4 本章小结第72-75页
第四章 ZnO 微米线与 p 型 Si 异质结发光器件的制备与研究第75-85页
  4.1 基于 ZnO 材料与 Si 的研究意义第75页
  4.2 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件的制备第75-77页
  4.3 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件性能研究第77-84页
    4.3.1 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件 I-V 测试第77-78页
    4.3.2 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件电致发光研究第78-84页
  4.4 本章小结第84-85页
第五章 ZnO 微米线/SiO2/Si 异质结发光器件的制备与研究第85-93页
  5.1 ZnO 材料与 Si 异质结发光器件中载流子阻挡层的研究意义第85-86页
  5.2 n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件的制备第86页
  5.3 n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件性能研究第86-92页
    5.3.1 n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件 I-V 测试第86-87页
    5.3.2 n 型ZnO 微米线/ SiO_2/p 型Si 异质结发光器件电致发光研究第87-90页
    5.3.3 n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件能带分析第90-92页
  5.4 本章小结第92-93页
第六章 电泵浦 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结激光器的研究第93-103页
  6.1 电泵浦 ZnO 微米线基激光器研究的意义第93页
  6.2 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结激光器性能研究第93-101页
    6.2.1 I-V 测试第93-94页
    6.2.2 正向偏压下 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结电致发光特性研究第94-96页
    6.2.3 反向偏压下 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结电致发光特性研究第96-98页
    6.2.4 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件能带分析第98-101页
  6.3 本章小结第101-103页
结论第103-105页
参考文献第105-115页
攻读博士学位期间的论文成果第115-116页
致谢第116页

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