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微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法
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微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法
论文目录
 
中文摘要第1-4 页
英文摘要第4-6 页
第一章 绪论第6-24 页
　　· 微机电系统概述第6-13 页
　　· 微机电系统运动检测技术的研究进展第13-20 页
　　· 激光多普勒技术及其在微机电系统检测中的应用第20-22 页
　　· 论文的研究目的和主要任务第22-24 页
第二章 硅微机械谐振器第24-51 页
　　· 硅微机械谐振器的工作原理第24-37 页
　　· 谐振器结构设计第37-43 页
　　· 谐振器的工艺流程和加工结果第43-49 页
　　· 谐振器初步测试实验第49-51 页
第三章 激光多普勒运动检测实验系统第51-78 页
　　· 总体结构第51-52 页
　　· 激光多普勒检测光学系统第52-60 页
　　· 谐振器位置调整方法第60-62 页
　　· 信号处理电路设计第62-68 页
　　· 多普勒信号的特点与数据处理程序设计第68-78 页
第四章 误差分析第78-92 页
　　· 多普勒信号频率增宽和谐振器高阶振动模态对测量的影响第78-80 页
　　· 光学系统误差第80-83 页
　　· 谐振器位置安装误差第83-90 页
　　· 其他测量误差第90-92 页
第五章 实验与分析第92-115 页
　　· 直流电动机转轴匀速转动测量实验第92-98 页
　　· 加速度计校准仪振动测量实验第98-101 页
　　· 微机电系统谐振器振动测量实验第101-109 页
　　· 谐振器b、d 的比对测量实验第109-115 页
第六章 结论与展望第115-117 页
参考文献第117-124 页
已发表论文情况第124-125 页
致谢第125 页

本篇论文共125页，点击这进入下载页面。
 
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