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基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究
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基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究
论文目录
摘要
第1-4 页
Abstract
第4-9 页
第一章 绪论
第9-19 页
· 微表面三维形貌检测的意义
第9-10 页
· 微表面三维形貌的测量方法
第10-15 页
· 机械探针式测量方法
第11 页
· 光学探针式测量方法
第11-13 页
· 扫描探针显微镜
第13-14 页
· 扫描电子显微镜
第14 页
· 其它光学轮廓检测方法
第14-15 页
· 本文中采用的分光路干涉显结构
第15-16 页
· 各种形貌测量方法的特点以及目前发展状况
第16 页
· 本文的主要工作与论文各章内容
第16-19 页
第二章 测试原理及整体设计方案
第19-45 页
· 相移干涉法的基本原理
第20-23 页
· 相位去包裹算法的原理
第23-27 页
· 一维相位去包裹的数学模型
第24-26 页
· 二维去包裹运算的数学模型
第26-27 页
· 相移干涉系统的实现及仪器总体设计
第27-43 页
· 光源的选择和照明光路的设计
第31-33 页
· 干涉显微镜的结构设计
第33-36 页
· 机械结构设计
第36-40 页
· 压电陶瓷微位移调整系统
第40-42 页
· 图像采集及处理软件设计
第42-43 页
· 本章小结
第43-45 页
第三章 测试系统的光学结构设计
第45-59 页
· 干涉成像系统的光学参数及结构确定
第45-52 页
· 图像传感器 CCD 的选择
第45-46 页
· 系统放大倍率确定
第46 页
· 显微系统数值孔径的确定
第46-47 页
· 干涉物镜结构选择
第47-48 页
· 工作距离及焦距的确定
第48-50 页
· 干涉物镜视场的确定
第50 页
· 显微系统的象差要求及结构形式确定
第50-51 页
· 干涉成像系统的景深
第51-52 页
· 照明系统及其参数确定
第52-56 页
· 对照明系统的要求
第52 页
· 照明方式及结构的选择
第52-54 页
· 照明系统象差的要求
第54 页
· 照明光源的设计
第54-56 页
· 仪器光学系统布局设计
第56-57 页
· 干涉条纹分析及调整
第57-58 页
· 本章小结
第58-59 页
第四章 相位提取算法及解包裹算法研究
第59-84 页
· 相位提取算法的研究
第60-67 页
· 定步长相位提取算法
第60-62 页
· 任意步距相位提取算法
第62-63 页
· 相位提取算法的误差分析
第63-67 页
· 相位解包裹算法的研究
第67-77 页
· 路径跟踪算法
第70-73 页
· 路径无关算法
第73-77 页
· 本文提出的改进算法
第77-82 页
· 本章小结
第82-84 页
第五章 微位移系统及系统软件设计
第84-97 页
· 微位移控制系统
第84-91 页
· 微位移驱动器
第85-88 页
· 微位移活动平台
第88 页
· 位移传感器
第88-90 页
· 压电陶瓷驱动电源
第90-91 页
· 系统软件设计
第91-96 页
· 本章小结
第96-97 页
第六章 试验结果及系统误差分析
第97-116 页
· 系统的测量范围
第97-100 页
· 横向测量范围
第97-98 页
· 垂直测量范围
第98-99 页
· 系统的斜率测量范围
第99-100 页
· 系统测量分辨率
第100-101 页
· 横向分辨率
第100 页
· 垂直分辨率
第100-101 页
· 实际测量结果与数据分析
第101-112 页
· 系统软件精度测试
第101-104 页
· 不同相位提取算法之间的比较
第104-106 页
· 相位解包裹算法的实验比较
第106-112 页
· 应用本系统进行实际测量实例
第112-115 页
· 对光纤连接器端面的测量
第112-113 页
· 对平面表面划痕的测量
第113-115 页
· 系统重复性测试
第115 页
· 本章小结
第115-116 页
第七章 结论与展望
第116-118 页
参考文献
第118-127 页
攻读博士学位期间的发表的学术论文与科研成果
第127-128 页
致谢
第128 页
本篇论文共
128
页,
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