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基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究

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基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
Abstract第4-9 页
第一章 绪论第9-19 页
  · 微表面三维形貌检测的意义第9-10 页
  · 微表面三维形貌的测量方法第10-15 页
    · 机械探针式测量方法第11 页
    · 光学探针式测量方法第11-13 页
    · 扫描探针显微镜第13-14 页
    · 扫描电子显微镜第14 页
    · 其它光学轮廓检测方法第14-15 页
  · 本文中采用的分光路干涉显结构第15-16 页
  · 各种形貌测量方法的特点以及目前发展状况第16 页
  · 本文的主要工作与论文各章内容第16-19 页
第二章 测试原理及整体设计方案第19-45 页
  · 相移干涉法的基本原理第20-23 页
  · 相位去包裹算法的原理第23-27 页
    · 一维相位去包裹的数学模型第24-26 页
    · 二维去包裹运算的数学模型第26-27 页
  · 相移干涉系统的实现及仪器总体设计第27-43 页
    · 光源的选择和照明光路的设计第31-33 页
    · 干涉显微镜的结构设计第33-36 页
    · 机械结构设计第36-40 页
    · 压电陶瓷微位移调整系统第40-42 页
    · 图像采集及处理软件设计第42-43 页
  · 本章小结第43-45 页
第三章 测试系统的光学结构设计第45-59 页
  · 干涉成像系统的光学参数及结构确定第45-52 页
    · 图像传感器 CCD 的选择第45-46 页
    · 系统放大倍率确定第46 页
    · 显微系统数值孔径的确定第46-47 页
    · 干涉物镜结构选择第47-48 页
    · 工作距离及焦距的确定第48-50 页
    · 干涉物镜视场的确定第50 页
    · 显微系统的象差要求及结构形式确定第50-51 页
    · 干涉成像系统的景深第51-52 页
  · 照明系统及其参数确定第52-56 页
    · 对照明系统的要求第52 页
    · 照明方式及结构的选择第52-54 页
    · 照明系统象差的要求第54 页
    · 照明光源的设计第54-56 页
  · 仪器光学系统布局设计第56-57 页
  · 干涉条纹分析及调整第57-58 页
  · 本章小结第58-59 页
第四章 相位提取算法及解包裹算法研究第59-84 页
  · 相位提取算法的研究第60-67 页
    · 定步长相位提取算法第60-62 页
    · 任意步距相位提取算法第62-63 页
    · 相位提取算法的误差分析第63-67 页
  · 相位解包裹算法的研究第67-77 页
    · 路径跟踪算法第70-73 页
    · 路径无关算法第73-77 页
  · 本文提出的改进算法第77-82 页
  · 本章小结第82-84 页
第五章 微位移系统及系统软件设计第84-97 页
  · 微位移控制系统第84-91 页
    · 微位移驱动器第85-88 页
    · 微位移活动平台第88 页
    · 位移传感器第88-90 页
    · 压电陶瓷驱动电源第90-91 页
  · 系统软件设计第91-96 页
  · 本章小结第96-97 页
第六章 试验结果及系统误差分析第97-116 页
  · 系统的测量范围第97-100 页
    · 横向测量范围第97-98 页
    · 垂直测量范围第98-99 页
    · 系统的斜率测量范围第99-100 页
  · 系统测量分辨率第100-101 页
    · 横向分辨率第100 页
    · 垂直分辨率第100-101 页
  · 实际测量结果与数据分析第101-112 页
    · 系统软件精度测试第101-104 页
    · 不同相位提取算法之间的比较第104-106 页
    · 相位解包裹算法的实验比较第106-112 页
  · 应用本系统进行实际测量实例第112-115 页
    · 对光纤连接器端面的测量第112-113 页
    · 对平面表面划痕的测量第113-115 页
    · 系统重复性测试第115 页
  · 本章小结第115-116 页
第七章 结论与展望第116-118 页
参考文献第118-127 页
攻读博士学位期间的发表的学术论文与科研成果第127-128 页
致谢第128 页

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