非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究

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非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究

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非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-12页
1 绪论	第12-34页
1.1 选题背景及意义	第12页
1.2 MEMS技术概述	第12-15页
1.2.1 MEMS技术概念及特点	第12-13页
1.2.2 MEMS技术在引信中的应用	第13-15页
1.3 MEMS惯性开关研究现状	第15-25页
1.3.1 单向和多向敏感开关	第16-19页
1.3.2 高g值和低g值开关	第19-21页
1.3.3 增强开关接触效果方法	第21-25页
1.4 MEMS结构动态测试方法研究现状	第25-30页
1.4.1 周期运动测试方法	第26-28页
1.4.2 瞬态运动测试方法	第28-30页
1.5 MEMS惯性开关在引信环境下应用的关键问题	第30-31页
1.6 本文的研究目的和研究内容	第31-34页
2 MEMS惯性开关的理论建模与设计方法	第34-58页
2.1 开关工作原理与基本模型	第34-37页
2.1.1 单向敏感开关模型	第34-35页
2.1.2 多向敏感开关模型	第35-37页
2.2 冲击下开关性能的理论分析与建模	第37-46页
2.2.1 闭合阈值模型	第37-41页
2.2.2 系统响应模型	第41-43页
2.2.3 柔性接触过程动力学模型	第43-46页
2.3 多轴向弹性性能分析	第46-49页
2.4 开关中的气膜阻尼特性分析	第49-54页
2.4.1 典型结构的压膜阻尼	第50-52页
2.4.2 开关中压膜阻尼的影响因素分析	第52-54页
2.5 MEMS万向惯性开关设计方法	第54-56页
2.5.1 开关系统结构设计内容	第54-55页
2.5.2 开关系统结构设计流程	第55-56页
2.6 本章小结	第56-58页
3 MEMS万向惯性开关结构优化设计与动态特性分析	第58-91页
3.1 MEMS万向惯性开关应用环境与设计目标	第58-63页
3.1.1 引信环境力分析	第58-62页
3.1.2 总体设计目标	第62-63页
3.2 MEMS万向惯性开关结构设计	第63-72页
3.2.1 传感模块设计与分析	第63-66页
3.2.2 通电模块设计与分析	第66-68页
3.2.3 控制模块设计与分析	第68-70页
3.2.4 开关整体结构设计方案	第70-71页
3.2.5 工艺模拟	第71-72页
3.3 冲击下MEMS万向惯性开关的动态特性分析	第72-90页
3.3.1 各向响应特性分析	第73-76页
3.3.2 各向阈值特性分析	第76-80页
3.3.3 各向接触特性分析	第80-84页
3.3.4 抗高过载特性分析	第84-86页
3.3.5 开关对冲击加速度的适应性分析	第86-90页
3.4 本章小结	第90-91页
4 MEMS万向惯性开关动态特性试验及工艺误差分析	第91-118页
4.1 开关制作流程及封装	第91-93页
4.2 冲击试验装置及方案	第93-94页
4.3 MEMS万向惯性开关动态性能测试	第94-102页
4.3.1 闭合阈值和敏感角度范围	第94-99页
4.3.2 各向响应时间和接触时间	第99-100页
4.3.3 抗高过载特性验证	第100-102页
4.4 冲击加速度特性对开关性能的影响测试	第102-108页
4.4.1 开关对冲击加速度的适应性验证	第102-106页
4.4.2 开关干扰信号分析及试验验证	第106-108页
4.5 MEMS万向惯性开关工艺误差与性能分析	第108-117页
4.5.1 尺寸测量及工艺误差分析	第108-110页
4.5.2 误差产生机理研究及减小工艺误差方法	第110-112页
4.5.3 工艺误差对开关性能的影响	第112-117页
4.6 本章小结	第117-118页
5 高冲击环境下MEMS惯性开关闭合过程的可视化测试方法研究	第118-136页
5.1 MEMS惯性开关的可视化测试要求	第118-120页
5.2 高速光学测量系统平台搭建	第120-123页
5.2.1 基本试验装置	第120-121页
5.2.2 关键问题	第121-123页
5.3 MEMS惯性开关动态闭合过程的可视化测试	第123-128页
5.3.1 柔性电极增强接触性能验证	第123-126页
5.3.2 止挡柱位移约束性能验证	第126-128页
5.3.3 刚性与柔性接触过程比较分析	第128页
5.4 MEMS惯性开关运动轨迹的特征提取	第128-132页
5.4.1 传统边缘提取算法	第129-130页
5.4.2 亚像素边缘提取算法	第130-132页
5.5 测试结果讨论与分析	第132-135页
5.5.1 电测量与仿真结果比较分析	第132-133页
5.5.2 高速光学测量与仿真结果比较分析	第133-135页
5.6 本章小结	第135-136页
6 总结与展望	第136-139页
6.1 全文工作总结	第136-137页
6.2 论文创新点	第137-138页
6.3 工作展望	第138-139页
致谢	第139-140页
参考文献	第140-151页
附录	第151-152页

本篇论文共152页，点击这进入下载页面。

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