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基于共测量轨迹的快速外差激光干涉仪动态校准关键技术

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基于共测量轨迹的快速外差激光干涉仪动态校准关键技术
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第1章 绪论第12-31页
  1.1 课题背景及研究目的和意义第12-14页
  1.2 外差激光干涉仪动态位移测量校准研究现状第14-28页
    1.2.1 外差激光干涉仪动态位移测量校准的现有方法第14-17页
    1.2.2 校准中的关键误差项第17-20页
    1.2.3 校准中的阿贝和空气折射率差异误差第20-21页
    1.2.4 校准中测量光轴的平行性调节第21-27页
    1.2.5 干涉仪动态位移测量的数据延迟误差第27-28页
  1.3 外差激光干涉仪动态位移测量校准存在的关键问题第28-29页
  1.4 本文主要研究内容第29-31页
第2章 基于共测量轨迹的快速外差激光干涉仪动态位移测量校准方法研究第31-66页
  2.1 引言第31页
  2.2 校准中的阿贝和空气折射率差异误差第31-41页
    2.2.1 干涉仪位移测量原理第31-34页
    2.2.2 阿贝和空气折射率差异误差分析第34-41页
  2.3 共测量轨迹校准方法及其具体实现第41-54页
    2.3.1 共测量轨迹校准方法第41-43页
    2.3.2 共测量轨迹校准方法的标准干涉仪第43-54页
  2.4 共测量轨迹校准方法的校准模型第54-64页
    2.4.1 位移校准模型第54-57页
    2.4.2 空气折射率差异误差模型第57-64页
  2.5 本章小结第64-66页
第3章 校准中测量光轴的平行性调节技术研究第66-91页
  3.1 引言第66-67页
  3.2 光轴平行性要求达到的调节目标第67-68页
  3.3 光束方向的检测方法第68-80页
    3.3.1 双光斑位置探测的光束方向测量方法第68-74页
    3.3.2 双光斑位置探测单元的参数校准第74-76页
    3.3.3 双光斑位置探测单元在校准中的应用第76-80页
  3.4 光束方向的调节方法第80-89页
    3.4.1 双光楔光束方向的调节模型第80-84页
    3.4.2 光束方向的无耦合调节第84-89页
  3.5 本章小结第89-91页
第4章 动态位移校准中数据延迟误差校准方法研究第91-102页
  4.1 引言第91页
  4.2 干涉仪位移测量的数据延迟误差第91-92页
  4.3 干涉仪数据延迟误差校准模型第92-99页
  4.4 干涉仪数据延迟误差校准方法第99-101页
  4.5 本章小结第101-102页
第5章 动态位移测量校准实验研究第102-121页
  5.1 引言第102页
  5.2 校准系统的总体结构第102-103页
  5.3 校准系统的实验研究第103-119页
    5.3.1 双光斑位置探测单元的校准实验第103-109页
    5.3.2 测量光束的方向调节实验第109页
    5.3.3 空气折射率差异误差模型测试实验第109-113页
    5.3.4 位移校准模型测试实验第113-119页
  5.4 本章小结第119-121页
结论第121-124页
参考文献第124-132页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第132-135页
致谢第135-136页
个人简历第136页

本篇论文共136页,点击这进入下载页面
 
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